DSX-標誌

半導體電子一站式無塵室設備製造商

半導體製造

解決微電子製造的關鍵挑戰

良率損失： 空氣中的顆粒是晶圓良率的第一大敵人。我們提供 ISO 1 級過濾。
振動敏感： 傳統風扇會振動並損壞精密光刻。我們的平衡馬達可確保超低振動。
ESD 風險： 靜電會損壞晶片。我們為所有設備提供防靜電 (ESD) 噴漆和材料。
 
 

半導體無塵室空氣解決方案：用於晶圓廠的 FFU 和 EFU |福凡

無塵室解決方案中文(1).png
1
預過濾器
2
中效過濾器
3
化學過濾器
4
高效過濾器
5
FFU風機過濾單元
6
化學過濾器
7
HEPA/ULPA 過濾器
8
風扇過濾單元
9
潔淨展位
10
高效過濾盒
11
一次性高效送風單元
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預過濾器
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中效過濾器
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化學過濾器
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高效過濾器
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FFU風機過濾單元
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化學過濾器
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HEPA/ULPA 過濾器
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風扇過濾單元
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潔淨展位
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高效過濾盒
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一次性高效送風單元

利用 FFU 的超低振動和無 AMC 過濾系統提高晶圓產量。我們提供專為光刻、蝕刻和薄膜製程設計的 ISO 1 級相容無塵室解決方案。

  • 光刻零振動標準
    光刻零振動標準
  • 先進的 AMC 過濾（不含硼和磷）
    先進的 AMC 過濾（不含硼和磷）
每個區域的綜合設備
天花板網格和空氣循環系統
 
德盛鑫-FFU-配自製EC電機
得勝鑫系列高效能空氣過濾器，包括用於無塵室淨化的 HEPA（H13、H14）和 ULPA（U15、U16、U17）等級。
得勝鑫用於半導體潔淨室的化學過濾器（AMC 去除）。活性碳和離子交換樹脂介質設計用於中和 VOC、酸和鹼。
為什麼是得勝鑫 ？
  • 智慧控制： 海量群控能力（監控10000+節點）。
  • 空氣動力學： 風扇和馬達在內部一起調整，以最大限度地減少振動（對於光刻至關重要）。
 
暖通空調和預過濾系統
 
得勝鑫暖通空調預過濾系列：G3-G4初效板式過濾器和F5-F9中效袋式/V型過濾器。專為無塵室 MAU 系統而設計。
得勝鑫用於半導體潔淨室的化學過濾器（AMC 去除）。活性碳和離子交換樹脂介質設計用於中和 VOC、酸和鹼。
高溫HEPA過濾器（250°C），搭配紅色矽酮密封膠和SUS304不銹鋼框架。 H13/H14 等級，適用於半導體乾燥爐。

為什麼是得勝鑫 ？

  • 全系列供應： 我們生產從 G3 到 U17 的整個過濾器系列，確保相容性和一站式維護採購。
 
人員及物資服裝入口
 
無塵室入口系統配備 SUS304 不銹鋼風淋室（25m/s 噴射）和自動感應洗手機/烘乾機。
用於存放兔子套裝的不鏽鋼無塵室衣櫃和更衣室的自動鞋底清潔機。無塵家具設計。
動態傳遞窗配備 HEPA 過濾和紫外線消毒燈。電子聯鎖系統可防止物料傳輸過程中的交叉污染。

為什麼是得勝鑫 ？

  • 完美貼合訂製： 每個更衣室的佈局都不同。作為源頭製造商，我們客製化風淋室和衣櫃的尺寸，以 最大限度地提高您的空間利用率，確保人員的無縫流動。
  • 以使用者為中心的設計： 從風淋室中的 智慧語音指導 到符合人體工學的機櫃佈局，我們的設備旨在簡化更衣流程，減少人員進入時間並最大限度地減少錯誤率。
 
生產線和本地 ESD 控制
 
得勝鑫電離 FFU 配備整合式電離器棒，用於半導體光刻製程的主動靜電中和。
得勝鑫層流潔淨工作台（ISO 5 級/100 級）。提供垂直和水平流動配置，用於潔淨室組裝和檢查。
可自訂的無塵室工作站，顯示獨立的 FFU 天花板網格。有多種壁材可供選擇，以適應特定的生產機械。

 為什麼是得勝鑫 ？

  •  綜合本地保護： 我們提供完整的微環境控制工具包。
  •  靜電控制：與標準風扇過濾器單元不同， 我們的 電離 FFU 旨在從源頭消除 E​​SD 風險。
  • 多功能外殼： 無論您需要用於組裝的 潔淨工作台 還是用於大型設備的 模組化工作間 （丙烯酸/鋼/PVC），我們都可以製造整個外殼和過濾系統。
  • 完美貼合： 我們客製化氣流方向（垂直/水平）和尺寸以適合您的特定工藝，確保您生產線的每一英寸都受到保護。

 

 
為什麼選擇真正的製造商而不是組裝商？
 
特徵 得勝鑫 （源工廠） 普通裝配工
核心電機 自行製造（內部），  專為最佳空氣動力學性能而量身定制。 外購  通用電機，有錯配風險。
產品範圍 全產業鏈 FFU、風淋室、過濾器、鈑金。 限量/混合  購買這裡的過濾器，那裡的粉絲。
成本控制 廠商直銷價格，  無中間商加價。 更高的價格  增加了供應商的利潤。
交貨時間 快速且可控  我們控制原料。 不確定  取決於其下級供應商。
售後 終身技術支援  我們了解機器中的每個螺絲。 反應慢  需要聯絡原廠。
 
敏感環境的精確控制
 
1. 海量擴展能力和穩定性
我們的系統基於強大的通訊協定（Modbus/TCP/IP）構建，支援10,000+節點的穩定組網。無論是小型實驗室還是大型工廠，系統都可以無縫擴展，沒有訊號延遲。
2.可視化佈局映射
告別複雜代碼。我們將您的無塵室天花板網格佈局匯入軟體中，建立視覺化地圖。您可以直接在螢幕上檢查每個特定 FFU 位置的狀態（開/關/速度）。
3. 精確的氣流和能源管理
釋放營運成本節約。您可以設定區域控制策略（例如「生產模式」與「夜間/待機模式」）以降低非工作時間的轉速，從而顯著降低電力成本。
4.智慧故障診斷，
維護變得簡單。如果單一FFU發生故障，系統會立即觸發警報並在地圖上精確定位座標。這消除了手動檢查並大大減少了停機時間。
5.可自訂的本地化介面
全球就緒。由於我們內部開發原始程式碼，因此我們可以將軟體介面客製化為您的本地語言。這可確保您的現場操作員可以直觀地管理系統，消除語言障礙並減少操作錯誤。
智慧型群組控制系統
使用 得勝鑫 可以輕鬆管理 10,000 多個 FFU 。 得勝鑫工廠中的我們專有的控制系統可以透過單一PC或行動終端進行即時監控、錯誤警報和速度調整。
FFU視覺化佈局圖
無塵室的“心臟”
我們的 內部 EC/DC 馬達經過了 40,000 多個連續運轉小時的測試，與傳統交流馬達相比可節省 30% 的能源，這對於 24/7 半導體工廠而言，可大幅降低成本。
DSX EC/DC 馬達 est
技術規格：半導體級與標準 FFU
 
特徵  標準FFU DSX FFU 半導體級
過濾介質 玻璃纖維 PTFE / ULPA (U15-U17)
排氣 標準等級 低硼/零釋氣材料
振動 < 1.0 毫米/秒 < 0.5 毫米/秒（動態平衡）
控制系統 手動速度控制 Modbus/TCP智慧群控
應用 一般工業 晶圓廠、封裝、測試
FFU生產

準備好建造您的 ISO 級無塵室了嗎？
無論您的新工廠需要單一風淋室還是 10,000 個 FFU， 得勝鑫都是您值得信賴的合作夥伴。


取得工廠直接報價
 
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作為中國領先的無塵室設備供應商，我們擁有專業的銷售團隊、廣泛的供應商、深厚的市場佔有率和卓越的一站式服務。

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