化學過濾器
許多工廠的工業環境有腐蝕和異味污染的問題。它不是單一因素造成的，也不是單一解決方案所能解決的。
SEML 標準 F21-95 提供了一種根據空氣分子污染 (AMC) 等級對微電子無塵室進行分類的方法。這是針對氣相污染物的，類似於顆粒污染的聯邦標準 209E。 SEM 標準 F21-95 根據氣相污染物的類別以及每個類別的允許濃度等級對無塵室進行分類。
氣相污染物分為四大類：
1.酸類（A類）：
發生化學反應的腐蝕性氣體為酸（電子受體）
2.鹼（B類）：作為鹼（電子供體）發生化學反應的腐蝕性物質
3.冷凝物（C 類）：沸點通常高於室溫且能夠在晶圓表面冷凝的污染物。
4.摻雜劑（D類）：
改變半導體材料電氣性能的污染物。
SEMl F21-95 分類由字母「M」標識，後面跟著類別指示符，然後是萬億分之一 (ppt) 的允許污染物濃度。例如，MA-10 分類被解釋為室內空氣中所有酸性氣體的最大允許濃度為 10 ppt。
空氣中分子污染物的分類
| 材質類別 |
1 個PPT |
10 份 |
100 份 |
1,000 個百分點 |
10,000 份 |
| 酸 |
MA-1 |
MA-10 |
MA-100 |
MA-1000 |
MA-10,000 |
| 基地 |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
MB-1000 |
MB-10,000 |
| 可冷凝物 |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10,000 |
| 摻雜劑 |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10,000 |
「SEMlF21-95：清潔環境中空氣分子污染物水準的分類」。 1 ppb=1,000 ppt，1ppm=1,000,000 ppt。
允許的 AMC（空氣分子污染物）濃度取決於無塵室的等級、所使用的製程以及所使用的設備。
0.25 um 製程的預計 AMC 限制
| 工藝步驟 |
最長靜坐時間 |
碩士(ppt) |
MB（PPT） |
主持人（PPT） |
醫學博士（PPT） |
| 預柵極氧化 |
4小時 |
13,000 |
13,000 |
1,000 |
0.1 |
| 水楊化 |
1小時 |
180 |
13,000 |
35,000 |
1,000 |
| 接觸形成 |
24小時 |
5 |
13,000 |
2,000 |
100,000 |
| 深紫外光刻 |
2小時 |
10,000 |
1,000 |
100,000 |
10,000 |
無塵室內的典型污染物和濃度
| 類別 |
污染物 |
濃度範圍,ppt 低 高 |
酸 |
鹽酸 |
20,000 |
400，000 |
| 氫氟酸 |
40,000 |
250,000 |
| 硝酸 |
20,000 |
250,000 |
| 硫酸 |
10,000 |
30萬 |
| 磷酸 |
10,000 |
40萬 |
| 醋酸 |
10,000 |
250,000 |
| 二氧化氮 |
30,000 |
30萬 |
| 二氧化硫 |
10,000 |
150,000 |
基地 |
氨 |
10,000 |
20萬 |
| 硝基苯磺酸 |
20,000 |
30萬 |
可冷凝物 |
丙酮 |
20,000 |
50萬 |
| 甲苯 |
10,000 |
250,000 |
摻雜劑 |
硼酸 |
ND |
20萬 |
| 磷 |
ND |
5,000 |
| 胂 |
ND |
50,000 |
控制氣味和氣體污染物的技術主要有四種：遮蔽、燃燒、通風和去除。介質顆粒透過吸附和氧化來控制氣體污染物。化學過濾器可以透過吸附和吸收原理去除分子污染物。
通過去除顆粒物質、氣態和蒸氣化合物來淨化空氣顆粒過濾器對不良氣體和蒸氣沒有效果。
當氣體或液體分子到達吸附劑表面並保持不發生任何化學反應時，這種現象稱為物理吸附或物理吸附。
碳可以用其他化學物質浸漬，以改善未經處理的碳對某些低吸附能力的氣體。這些化學物質與氣體發生反應，以降低污染物濃度。
另一種刪除特定氣體的方法是捕獲它們並與之反應。這個過程稱為化學吸附。
有許多吸附材料可供選擇；每種材料對某些蒸氣都有特殊的親和力。
當碳的尺寸變小時，表面積增加。顆粒尺寸可以非常小，即使它只是碳塵。它也會產生逸入空氣蒸氣或緊密堆積導致高壓降的問題。最佳尺寸必須透過實驗確定。
在分子污染物系統中，初始污染物去除效率不依賴重量、碳顆粒尺寸和碳活性，總表面積和表面化學是決定初始效率的兩個重要參數。
如果空氣污染非常潮濕（例如下雨天），水分可以與目標污染氣體競爭吸附碳容量，但是如果反應是化學吸附的，水分會迅速增強反應。
溫度也會影響吸附速率，溫度越高，污染物就越難被碳吸引。
