کیمیائی فلٹر
متعدد فیکٹریوں میں صنعتی ماحول میں سنکنرن اور بدبو آلودگی کا مسئلہ۔ یہ کسی ایک عنصر کی وجہ سے نہیں ہے اور کسی ایک حل کے ذریعہ حل نہیں کیا جاسکتا ہے۔
SEML اسٹینڈرڈ F21-95 مائکرو الیکٹرانک کلین رومز کی درجہ بندی کرنے کا ایک طریقہ فراہم کرتا ہے جس کی وجہ سے ایئر بور سالماتی آلودگی (AMC) کی سطح تک جاسکے۔ یہ گیس فاسکونٹیمینٹس کے لئے ہے ، جو ذرہ آلودگی کے لئے فیڈرل اسٹینڈرڈ 209 ای کے مطابق ہے۔ سیم اسٹینڈرڈ ایف 21-95 گیس فاسکونٹیمیننٹ کے زمرے کی بنیاد پر کلین روم کی درجہ بندی کرتا ہے ، اور ہر زمرے کے لئے قابل اجازت حراستی کی سطح۔
گیس فیز آلودگیوں کی چار اقسام:
1.acids (زمرہ A):
سنکنرن گیسیں جو کیمیائی طور پر تیزابیت کے طور پر رد عمل ظاہر کرتی ہیں (ایک الیکٹرانکسیپٹر)
2. بیس (زمرہ B): سنکنرن Qasses جو اڈوں کے طور پر کیمیائی طور پر رد عمل ظاہر کرتے ہیں (ایک الیکٹران ڈونر)
3. کونڈینسیبل (زمرہ سی): ان آلودگی جن کا ابلتا نقطہ عام طور پر کمرے کے درجہ حرارت سے اوپر ہوتا ہے اور ویفر سطح پر گاڑھانے کے قابل ہوتا ہے۔
4.Dopants (زمرہ D):
آلودگی جو سیمیکمڈکٹر مواد کی برقی خصوصیات میں ترمیم کرتے ہیں۔
SEML F21-95 کی درجہ بندی کی نشاندہی خط 'M ' کے ذریعہ کی گئی ہے ، اس کے بعد زمرہ ڈیزائنیٹر ، پھر جزوی طور پر قابل اجازت آلودگی حراستی فی ٹریلیون (پی پی ٹی) میں ہے۔ فولیکسیمپل ، ایم اے 10 آئی ایس کی تعبیر کی درجہ بندی جس میں کمرے کی ہوا میں 10 پی پی ٹی کے تمام گیسوں کی زیادہ سے زیادہ اجازت ہے۔
ہوا سے پیدا ہونے والے سالماتی آلودگیوں کی درجہ بندی
| مادی زمرہ |
1 پی پی ٹی |
10 پی پی ٹی |
100 پی پی ٹی |
1،000 پی پی ٹی |
10،000 پی پی ٹی |
| تیزاب |
ایم اے 1 |
ایم اے 10 |
ایم اے -100 |
ایم اے -1000 |
ایم اے 10،000 |
| اڈے |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
MB-1000 |
MB-10،000 |
| کنڈاسیبلز |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10،000 |
| ڈوپینٹس |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10،000 |
S SEMLF21-95: صفائی ماحول میں ہوا سے پیدا ہونے والے سالماتی آلودگی کی سطح کی درجہ بندی '۔ 1 پی پی بی = 1،000 پی پی ٹی ، اور 1 پی پی ایم = 1،000،000 پی پی ٹی۔
قابل اجازت AMC (ہوا سے پیدا ہونے والے مالیکیولر آلودگی) حراستی کا انحصار کلین روم کی کلاس ، استعمال شدہ عمل اور استعمال شدہ سامان پر ہوتا ہے۔
0.25 UM عمل کے لئے متوقع AMC کی حدود
| عمل مرحلہ |
زیادہ سے زیادہ بیٹھنے کا وقت |
ایم اے (پی پی ٹی) |
ایم بی (پی پی ٹی) |
ایم سی (پی پی ٹی) |
ایم ڈی (پی پی ٹی) |
| پری گیٹ آکسیڈیشن |
4 بجے |
13،000 |
13،000 |
1،000 |
0.1 |
| سالیسیڈیشن |
1 بجے |
180 |
13،000 |
35،000 |
1،000 |
| رابطہ کی تشکیل |
24 بجے |
5 |
13،000 |
2،000 |
100،000 |
| Duv Photorithagraphy |
2 بجے |
10،000 |
1،000 |
100،000 |
10،000 |
کلین روم میں عام آلودگی اور حراستی
| زمرہ |
آلودگی |
حراستی ، پی پی ٹی کم اونچا |
تیزاب |
ہائیڈروکلورک ایسڈ |
20،000 |
400，000 |
| ہائیڈرو فلورک ایسڈ |
40،000 |
250،000 |
| نائٹرک ایسڈ |
20،000 |
250،000 |
| سلفورک ایسڈ |
10،000 |
300،000 |
| فاسفورک ایسڈ |
10،000 |
400،000 |
| ایسٹک ایسڈ |
10،000 |
250،000 |
| نائٹروجن ڈائی آکسائیڈ |
30،000 |
300،000 |
| سلفر ڈائی آکسائیڈ |
10،000 |
150،000 |
اڈے |
امونیا |
10،000 |
200،000 |
| این ایم پی |
20،000 |
300،000 |
کنڈاسیبلز |
ایسٹون |
20،000 |
500،000 |
| toluene |
10،000 |
250،000 |
ڈوپینٹس |
بورک ایسڈ |
این ڈی |
200،000 |
| فاسفور اوس |
این ڈی |
5،000 |
| آرسائن |
این ڈی |
50،000 |
بدبو اور گیس کے آلودگیوں کو کنٹرول کرنے کے لئے چار اہم تکنیک: ماسکنگ ، دہن ،. وینٹیلیشن اور ہٹانا۔ میڈیا چھریاں ADSORP-Than اور آکسیکرن کے ذریعہ گیس آلودگیوں کو کنٹرول کرنے کے لئے استعمال کی جاتی ہیں۔ کیمیکل فلٹر کو اشتہار اور جذب کرنے والے اصولوں کے ذریعہ انو آلودگیوں کو ہٹایا جاسکتا ہے۔
ذرہ مواد کو ختم کرکے ہوا کو پاک کرنے کے لئے ، گیس اور بخارات کے کمپاؤنڈ پارٹیکولیٹ فلٹرز ناپسندیدہ گیسوں اور بخارات پر موثر نہیں ہیں۔
جب گیس یا مائع کے انو کسی اڈسوربینٹ کی سطح پر پہنچ جاتے ہیں اور کیمیائی رد عمل کے بغیر ہی رہتے ہیں تو ، اس رجحان کو جسمانی جذب یا فزیسورپشن کہا جاتا ہے۔
کاربن کو غیر علاج شدہ کاربن کے ذریعہ کم اڈسورپٹیو صلاحیت کی کچھ گیسوں کو بہتر بنانے کے ل other دوسرے کیمیکلوں کے ساتھ رنگین کیا جاسکتا ہے۔ یہ کیمیکل آلودگی حراستی کو کم کرنے کے لئے گیسوں کے ساتھ رد عمل کا اظہار کرتے ہیں۔
مخصوص گیسوں کو حذف کرنے کا ایک اور طریقہ یہ ہے کہ ان کے ساتھ اس کا رد عمل اور اس کا رد عمل ظاہر کیا جائے۔ اس عمل کو chemisorption کہا جاتا ہے۔
بہت سارے جذباتی مواد دستیاب ہیں۔ ان میں سے ہر ایک کو یقینی طور پر مخصوص واقفوں سے خصوصی وابستگی کے ساتھ۔
سطح کے رقبے میں اضافہ ہوا جب کاربن کے طول و عرض چھوٹے ہوتے جارہے ہیں۔ ذرات بہت چھوٹا ہوسکتا ہے ، حالانکہ یہ صرف کاربن دھول بن جاتا ہے۔ ایل ٹی بھی ہوا کے بھاپ میں اسکیپنگ کے مسائل پیدا کرتا ہے ، یا سخت دباؤ کی وجہ سے مضبوطی سے پیک کرنے سے۔ تجربہ کے ذریعہ زیادہ سے زیادہ سائز کا تعین کیا جائے۔
سالماتی آلودگی والے نظام میں ، ابتدائی آلودگی سے ہٹانے کی کارکردگی کا انحصار نہیں ہوتا ہے ، ابتدائی کارکردگی کا تعین کرنے کے لئے ویٹ ، کاربن ذرہ سائز ، اور کاربن کی سرگرمی ، سطح کی کل رقبہ اور سطح کی کیمسٹری آریٹو اہم پیرامیٹرز۔
اگر فضائی آلودگی بہت مرطوب ہے (جیسے بارش کے دن) ، نمی کو کاربن کی گنجائش کے ل targeted ٹارگٹڈ آلودہ گیسوں کے ساتھ مسابقتی طور پر جذب کیا جاسکتا ہے ، تاہم۔ رد عمل اسکیمیسوربڈ ، نمی تیزی سے رد عمل میں اضافہ کر سکتی ہے۔
درجہ حرارت بھی جذب کی شرح کو متاثر کرسکتا ہے جب درجہ حرارت حاصل ہوتا ہے۔ آلودگیوں کو کاربن کی طرف راغب کرنا مشکل ہے۔
