کیمیکل فلٹر
بہت سے کارخانوں میں صنعتی ماحول میں سنکنرن اور بدبو کی آلودگی کا مسئلہ۔ یہ کسی ایک عنصر کی وجہ سے نہیں ہے اور کسی ایک حل سے حل نہیں کیا جاسکتا۔
SEMl معیاری F21-95 ایئربور مالیکیولر آلودگی (AMC) کی سطحوں کے حوالے سے مائیکرو الیکٹرانک کلین رومز کی درجہ بندی کا طریقہ فراہم کرتا ہے۔ یہ گیس فیز کنٹیمیننٹ کے لیے ہے، جو ذرات کی آلودگی کے لیے وفاقی معیار 209E کے مطابق ہے۔ SEM سٹینڈرڈ F21-95 گیس فیز کنٹیمیننٹ کے زمرے اور ہر زمرے کے لیے قابل اجازت حراستی کی سطح کی بنیاد پر کلین روم کی درجہ بندی کرتا ہے۔
گیس فیز آلودگیوں کی چار اقسام:
1. تیزاب (زمرہ A):
سنکنرن گیسیں جو کیمیاوی طور پر تیزاب کے طور پر رد عمل ظاہر کرتی ہیں (ایک برقی قبول کرنے والا)
2. بیسز (زمرہ B): ناقص قیس جو کیمیائی طور پر بنیادوں کے طور پر رد عمل ظاہر کرتے ہیں (ایک الیکٹران ڈونر)
3. Condensables (زمرہ C): وہ آلودگی جن کا ابلتا نقطہ عام طور پر کمرے کے درجہ حرارت سے اوپر ہوتا ہے اور ویفر کی سطح پر گاڑھا ہونے کے قابل ہوتا ہے۔
4. ڈوپینٹس (زمرہ D):
سیمی کنڈکٹر مواد کی برقی خصوصیات کو تبدیل کرنے والے آلودگی۔
SEMl F21-95 کی درجہ بندی حرف 'M' سے کی جاتی ہے، اس کے بعد زمرہ کا تعین کنندہ، پھر قابل اجازت آلودگی کا ارتکاز جزوی طور پر فی ٹریلین (ppt)۔ Folexample، MA-10 کی درجہ بندی کی تشریح کی جاتی ہے جس میں کمرے کی ہوا میں تمام تیزابی گیسوں کی زیادہ سے زیادہ قابل اجازت ارتکاز 10 ppt ہے۔
ایئر بورن سالماتی آلودگیوں کی درجہ بندی
| مواد کا زمرہ |
1 ppt |
10 ppt |
100 ppt |
1,000 ppt |
10,000 ppt |
| تیزاب |
ایم اے-1 |
ایم اے 10 |
ایم اے 100 |
MA-1000 |
MA-10,000 |
| اڈے |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
MB-1000 |
MB-10,000 |
| کنڈینس ایبلز |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10,000 |
| ڈوپینٹس |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10,000 |
'SEMlF21-95: صاف ماحول میں فضائی آلودگی کی سطح کی درجہ بندی'۔ 1ppb=1,000 ppt، اور 1ppm=1,000,000 ppt۔
قابل اجازت AMC (ہوا سے چلنے والے مالیکیولر آلودگیوں) کا ارتکاز کلین روم کی کلاس، استعمال شدہ عمل اور استعمال کیے جانے والے سامان پر منحصر ہے۔
0.25 um کے عمل کے لیے متوقع AMC حدود
| عمل کا مرحلہ |
MAX بیٹھنے کا وقت |
MA(ppt) |
MB (ppt) |
ایم سی (پی پی ٹی) |
ایم ڈی (پی پی ٹی) |
| پری گیٹ آکسیڈیشن |
4 گھنٹے |
13,000 |
13,000 |
1,000 |
0.1 |
| سالیسیڈیشن |
1 گھنٹے |
180 |
13,000 |
35,000 |
1,000 |
| رابطہ فارمیشن |
24 گھنٹے |
5 |
13,000 |
2,000 |
100,000 |
| DUV فوٹوگرافی |
2 گھنٹے |
10,000 |
1,000 |
100,000 |
10,000 |
کلین روم میں عام آلودگی اور ارتکاز
| زمرہ |
آلودہ کرنے والے |
Concentrationrangr، ppt کم اونچائی |
تیزاب |
ہائیڈروکلورک ایسڈ |
20,000 |
400,000 |
| ہائیڈرو فلورک ایسڈ |
40,000 |
250,000 |
| نائٹرک ایسڈ |
20,000 |
250,000 |
| سلفیورک ایسڈ |
10,000 |
300,000 |
| فاسفورک ایسڈ |
10,000 |
400,000 |
| ایسیٹک ایسڈ |
10,000 |
250,000 |
| نائٹروجن ڈائی آکسائیڈ |
30,000 |
300,000 |
| سلفر ڈائی آکسائیڈ |
10,000 |
150,000 |
اڈے |
امونیا |
10,000 |
200,000 |
| NMP |
20,000 |
300,000 |
کنڈینس ایبلز |
ایسیٹون |
20,000 |
500,000 |
| Toluene |
10,000 |
250,000 |
ڈوپینٹس |
بورک ایسڈ |
این ڈی |
200,000 |
| فاسفورس |
این ڈی |
5,000 |
| ارسین |
این ڈی |
50,000 |
بدبو اور گیس کے آلودگیوں کو کنٹرول کرنے کے لیے چار اہم تکنیکیں: ماسکنگ، دہن، وینٹیلیشن اور ہٹانا۔ میڈیا چھرے گیس کی آلودگیوں کو جذب اور آکسیڈیشن کے ذریعے کنٹرول کرنے کے لیے استعمال کیے جاتے ہیں۔ کیمیائی فلٹر کو جذب اور جذب کرنے والے اصولوں کے ذریعے سالماتی آلودگیوں کو ہٹایا جا سکتا ہے۔
ذرات کے مواد کو ختم کر کے ہوا کو صاف کرنے کے لیے، گیسی اور بخارات کے مرکب پارٹیکولیٹ فلٹرز ناپسندیدہ گیسوں اور بخارات پر کارآمد نہیں ہوتے۔
جب گیسی یا مائع مالیکیول کسی جذب کرنے والے کی سطح تک پہنچ جاتے ہیں اور بغیر کسی کیمیائی عمل کے باقی رہتے ہیں تو اس رجحان کو جسمانی جذب یا فزیسورپشن کہا جاتا ہے۔
غیر علاج شدہ کاربن کے ذریعے کم جذب کرنے کی صلاحیت کی بعض گیسوں کو بہتر بنانے کے لیے کاربن کو دوسرے کیمیکلز کے ساتھ رنگ دیا جا سکتا ہے۔
مخصوص گیسوں کو ختم کرنے کا دوسرا طریقہ ان کو پکڑنا اور ان کے ساتھ رد عمل ظاہر کرنا ہے۔ اس عمل کو کیمیسورپشن کہتے ہیں۔
بہت سے جذب کرنے والے مواد دستیاب ہیں؛ ان میں سے ہر ایک مخصوص بخارات سے خصوصی تعلق رکھتا ہے۔
سطح کا رقبہ اس وقت بڑھتا ہے جب کاربن کے طول و عرض چھوٹے ہوتے جا رہے ہیں۔ ذرات کا سائز بہت چھوٹا ہو سکتا ہے، حالانکہ یہ صرف کاربن ڈسٹ بن جاتا ہے۔ lt ہوا کے بھاپ میں جانے، یا مضبوطی سے پیک کرنے سے ہائی پریشر گرنے کے مسائل بھی پیدا ہوتے ہیں۔ زیادہ سے زیادہ سائز کا تعین تجربہ کے ذریعے کیا جانا چاہیے۔
سالماتی آلودگی کے نظام میں، ابتدائی آلودگی کو ہٹانے کی کارکردگی کا انحصار وزن، کاربن پارٹیکل سائز، اور کاربن کی سرگرمی، کل سطح کا رقبہ اور سطح کی کیمسٹری ابتدائی کارکردگی کے تعین کے لیے دو اہم پیرامیٹرز پر نہیں ہوتا ہے۔
اگر فضائی آلودگی بہت مرطوب ہو (جیسے بارش کے دن)، نمی کو کاربن کی صلاحیت کے لیے ہدف بنائے گئے آلودہ گیسوں کے ساتھ مسابقتی طور پر جذب کیا جا سکتا ہے، تاہم اگر رد عمل اسکیمیزورب ہو جائے تو نمی ردعمل میں تیزی سے اضافہ کر سکتی ہے۔
جب درجہ حرارت بلند ہو رہا ہو تو درجہ حرارت جذب کی شرح کو بھی متاثر کر سکتا ہے۔ آلودگیوں کو کاربن کی طرف راغب کرنا مشکل ہے۔
