-
Обладнання для очищення напівпровідників третього покоління (SiC, GaN) стикається з серйозними обмеженнями простору. Стандартні FFU на 250–350 мм просто не можуть поміститися в обмежений вертикальний зазор цих передових інструментів. У цій статті представлено 70-мм ультратонкий EFU DSX, розроблений спеціально для інтеграції обладнання з обмеженим простором. Завдяки загальній робочій товщині ~100 мм, ефективності фільтрації ULPA до 99,9995% (@0,12 мкм) і виробництву з повним ланцюгом поставок це рішення дозволяє виробникам обладнання для прибирання максимізувати внутрішній простір без шкоди для продуктивності чистих приміщень.
-
Wujiang Deshengxin є професійним виробником напівпровідників FFU в Китаї, що постачає високоефективні вентиляторні фільтри для напівпровідникових чистих приміщень. Наш EC FFU забезпечує економію енергії на 30-50%, ефективність фільтрації 99,995% і відповідає стандарту ISO 14644. Доступні OEM та ODM. Зв’яжіться з нами, щоб отримати надійні рішення для чистих приміщень.
-
Deshengxin EC FFU (фільтр вентилятора) має інтегровану технологію двигуна постійного струму, що забезпечує 30-50% економії енергії, ефективність фільтрації HEPA/ULPA до 99,9995%, модульну резервну конструкцію та інтелектуальне керування Modbus/BACnet. Підходить для напівпровідникових чистих приміщень ISO класів 1-5, установ біофармацевтики GMP і виробництва літієвих батарей. Доступні нестандартні розміри, ESD-захищена конструкція та інтеграція хімічного фільтра.
-
Оскільки глобальні поставки напівпровідникового обладнання досягли 36,55 мільярдів доларів у першому кварталі 2026 року, що на 14% більше, ніж у минулому році завдяки інвестиціям у штучний інтелект, попит на передову інфраструктуру чистих приміщень продовжує зростати. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. зі своєю моделлю повного виробничого ланцюга, що охоплює FFU, повітряні душі, пропускні коробки, фільтри HEPA, чисті лавки та модульні чисті кімнати, надає рішення для контролю забруднення, сумісні з ISO, розроблені для фабрик напівпровідникових пластин, вдосконаленого пакування та надточних виробничих ліній.
-
Оскільки вузли виробництва напівпровідників скорочуються, різко зріс попит на точне, маловібраційне та компактне обладнання для чистих приміщень. Знайти надійного постачальника, здатного задовольнити ці екстремальні допуски, утримуючи низькі витрати, є серйозною проблемою. Завдяки більш ніж 20-річному досвіду Wujiang Deshengxin (DSX) Purification є провідним виробником індивідуальних рішень для чистих приміщень. Підтримуючи 100% власне виробництво двигунів, систем керування та фільтрів, DSX постачає високоефективне, економічно ефективне обладнання, адаптоване для складних напівпровідникових мікросередовищ і великих масових замовлень.
-
Оскільки напівпровідникові інструменти та модульні конструкції чистих приміщень стають дедалі компактнішими, традиційні блоки фільтрів вентиляторів часто стикаються з проблемами висоти під час інтеграції обладнання (додатки EFU). У цій статті представлено платформу DSX Ultra Thin FFU із загальною глибиною профілю 70 мм, розроблену для стель із низьким напором повітря, міні-середовища та фільтрації, встановленої на інструменті. Обговорення охоплює те, як розробка вертикально інтегрованого двигуна та системи керування DSX дозволяє зменшити форм-фактор без шкоди для рівномірності повітряного потоку чи довгострокової надійності. Сценарії застосування включають обробку пластин EFEM, модернізацію стокерів і передові точні виробничі модулі, де кожен міліметр вертикального простору є критичним.
