Ця стаття містить вичерпний огляд ультратонка технологія EFU (Equipment Fan Filter Unit) для обладнання для виробництва напівпровідників. Він вирішує критичну проблему обмеженого внутрішнього простору в передових напівпровідникових інструментах, куди не можуть поміститися стандартні FFU. Представлено рішення – ультратонкий EFU товщиною 70 мм – із детальним поясненням того, як виробництво з повним ланцюгом постачань забезпечує цей прорив завдяки розробленим на замовлення безщітковим мікровентиляторам EC, міні-складчастим фільтрам HEPA/ULPA власного виробництва та оптимізованій внутрішній геометрії. Охоплено ключові технічні характеристики, контроль забруднення AMC, можливості інтелектуального керування та сценарії застосування для зовнішнього та внутрішнього обладнання.

що таке HEPA FFU, принцип роботи вентиляторного фільтра HEPA, система фільтрації HEPA для чистих приміщень, програма FFU HEPA, вентиляторний фільтр для чистих приміщень, контроль повітряного потоку HEPA, промисловий блок фільтрації повітря

У цій статті порівнюються блоки фільтрів вентиляторів (FFU) і блоки обробки повітря (AHU), пояснюється їхня структура, контроль повітряного потоку та типові застосування в чистих приміщеннях.

Вибір між FFU та витяжкою з ламінарним потоком залежить від ваших цілей чистого повітря. Витяжки з ламінарним потоком забезпечують чіткий односпрямований потік повітря для локальних стерильних завдань, таких як лабораторна робота та обробка фармацевтичних препаратів. FFU — це модульні блоки з можливістю масштабування, розроблені для покриття чистих приміщень великої площі, інтеграції обладнання (EFU) і промислових застосувань, таких як виробництво напівпровідників або літієвих батарей. Хоча FFU може замінити витяжку з ламінарним потоком у деяких інженерних схемах, вона не може зрівнятися з точним стерильним контролем у місці використання спеціальної витяжки. Нерозуміння цього призводить до турбулентності, мертвих зон і збільшення витрат. У цьому посібнику описано тип повітряного потоку, зону покриття, конструкцію системи та відповідність застосуванню, допомагаючи інженерам і покупцям зробити правильний вибір.

Дізнайтеся про критичні вимоги до повітряних фільтрів, сумісних із ISO 5. Цей технічний посібник охоплює обмеження концентрації частинок (макс. 3520 частинок ≥0,5 мкм/м 3 ), необхідність фільтрації H14/U15 і те, як вертикально інтегроване виробництво Deshengxin забезпечує стабільний ламінарний потік повітря та нульові витоки для середовищ класу 100.