KİMYASAL FİLTRE

Birçok fabrikada endüstriyel ortamda korozyon ve koku kirliliği sorunu. tek bir faktörden kaynaklanmaz ve tek bir çözümle çözülemez.

SEMl standardı F21-95, mikroelektronik temiz odaları Havadaki Moleküler Kirlenme (AMC) seviyelerine göre sınıflandırmak için bir yöntem sağlar. Bu, gaz fazındaki kirleticiler için olup, partikül kirliliğine yönelik Federal standart 209E'ye benzer. SEM standardı F21-95, bir temiz odayı gaz fazındaki kirletici maddenin kategorisine ve her kategori için izin verilen konsantrasyon seviyesine göre sınıflandırır.

Gaz fazındaki kirleticilerin dört kategorisi:

1. Asitler (kategori A):

Asitler (bir elektron alıcı) olarak kimyasal olarak reaksiyona giren aşındırıcı gazlar

2.Bazlar (kategori B): Bazlar olarak kimyasal reaksiyona giren aşındırıcı kasalar (elektron donörü)

3.Yoğuşabilen maddeler (kategori C): Kaynama noktaları tipik olarak oda sıcaklığının üzerinde olan ve levha yüzeyinde yoğunlaşabilen kirletici maddeler.

4.Dopantlar (kategori D):

Yarı iletken malzemenin elektriksel özelliklerini değiştiren kirletici maddeler.

SEMl F21-95 sınıflandırması 'M' harfiyle tanımlanır, ardından kategori tanımlayıcı gelir ve ardından trilyon başına kısım (ppt) olarak izin verilen kirletici madde konsantrasyonuyla tanımlanır. Örneğin, MA-10 sınıflandırması, oda havasındaki tüm asit gazlarının izin verilen maksimum konsantrasyonunun 10 ppt olduğu şeklinde yorumlanır.

Havadaki Moleküler Kirleticilerin Sınıflandırılması

Malzeme Kategorisi	1 sayfa	10 sayfa	100 sayfa	1.000 sayfa	10.000 sayfa
Asitler	MA-1	MA-10	MA-100	MA-1000	MA-10.000
Üsler	MB-1	MB-10	MB-100	MB-1000	MB-10.000
Yoğuşabilenler	MC-1	MC-10	MC-100	MC-1000	MC-10.000
Katkı maddeleri	MD-1	MD-10	MD-100	MD-1000	MD-10.000

'SEMlF21-95:Temiz Ortamlarda Havadaki Moleküler Kirletici Düzeylerin Sınıflandırılması'.1 ppb=1.000 ppt ve 1ppm=1.000.000 ppt.

İzin verilen AMC (havadaki moleküler kirletici maddeler) konsantrasyonu, temiz odanın sınıfına, kullanılan işleme ve kullanılan ekipmana bağlıdır.

0,25 um Süreci için öngörülen AMC sınırları

Süreç Adımı	MAX Oturma Süresi	MA(ppt)	MB (ppt)	MC (ppt)	Tıp Doktoru (ppt)
Kapı oksidasyonu öncesi	4 saat	13.000	13.000	1.000	0.1
Salisidasyon	1 saat	180	13.000	35.000	1.000
İletişim Oluşumu	24 saat	5	13.000	2.000	100.000
DUV Fotoritografisi	2 saat	10.000	1.000	100.000	10.000

Temiz Odadaki Tipik Kirleticiler ve Konsantrasyonlar

Kategori	Kirleticiler	Konsantrasyonrangr,ppt                   Düşük Yüksek
Asitler	Hidroklorik asit	20.000	400，000
	Hidroflorik Asit	40.000	250.000
	Nitrik asit	20.000	250.000
	Sülfürik asit	10.000	300.000
	Fosforik asit	10.000	400.000
	Asetik asit	10.000	250.000
	Azot dioksit	30.000	300.000
	Kükürt dioksit	10.000	150.000
Üsler	Amonyak	10.000	200.000
	NMP	20.000	300.000
Yoğuşabilenler	Aseton	20.000	500.000
	Toluen	10.000	250.000
Katkı maddeleri	borik asit	ND	200.000
	fosforlu	ND	5.000
	Arsin	ND	50.000

Koku ve gaz kirleticilerini kontrol etmek için dört ana teknik: maskeleme, yanma, havalandırma ve uzaklaştırma. Medya peletleri, gaz kirleticilerini adsorplama ve oksidasyon yoluyla kontrol etmek için kullanılır. Kimyasal filtre, moleküler kirleticileri adsorbe etme ve absorbe etme prensipleriyle çıkarılabilir.

Partikül maddeleri, gaz ve buhar halindeki bileşikleri ortadan kaldırarak havayı arındırmak için Partikül filtrelerin istenmeyen gaz ve buharlar üzerinde etkisi yoktur.

Gaz veya sıvı moleküller bir adsorbanın yüzeyine ulaştığında ve herhangi bir kimyasal reaksiyona girmeden kaldığında, bu olaya fiziksel adsorpsiyon veya fizisorpsiyon denir.

İşlenmemiş karbon tarafından düşük emme kapasitesine sahip belirli gazların iyileştirilmesi için karbon diğer kimyasallarla emprenye edilebilir. Bu kimyasallar kirletici madde konsantrasyonunu azaltmak için gazlarla reaksiyona girer.

Belirli gazları yok etmenin başka bir yolu da onları yakalayıp onlarla reaksiyona girmektir. Bu işleme kimyasal emilim denir.

Birçok adsorplayıcı malzeme mevcuttur; bunların her biri belirli buharlara özel ilgi gösterir.

Karbonun boyutları küçüldükçe yüzey alanı artar. Parçacık boyutu karbon tozu haline gelse bile çok küçük olabilir. Ayrıca hava buharına kaçma sorunları yaratır veya sıkı bir şekilde paketlenerek yüksek basınç düşüşüne neden olur. Optimum boyut deneylerle belirlenmelidir.

Moleküler kirletici sistemde, başlangıçtaki kirletici giderme verimliliği ağırlığa, karbon parçacık boyutuna ve karbon aktivitesine bağlı değildir. Toplam yüzey alanı ve yüzey kimyası, başlangıç ​​verimliliğini belirleyen iki önemli parametredir.

Hava kirliliği çok nemliyse (yağmurlu bir günde olduğu gibi), karbon kapasitesi için nem, hedeflenen kirli gazlarla rekabetçi bir şekilde adsorbe edilebilir. Ancak reaksiyon kimyasal olarak absorbe edilmezse nem, reaksiyonu hızla artırabilir.

Sıcaklık aynı zamanda sıcaklık yükseldiğinde adsorpsiyon hızını da etkileyebilir. Kirletici maddeleri karbona çekmek daha zordur.