ผู้ผลิตอุปกรณ์คลีนรูมครบวงจรสำหรับเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

半导体制造

การแก้ปัญหาความท้าทายที่สำคัญในการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์

การสูญเสียผลผลิต: อนุภาคในอากาศเป็นศัตรูอันดับ 1 ของผลผลิตเวเฟอร์ เรามีการกรองเกรด ISO Class 1
ไวต่อการสั่นสะเทือน: พัดลมแบบดั้งเดิมจะสั่นสะเทือนและสร้างความเสียหายให้กับการพิมพ์หินที่มีความแม่นยำ มอเตอร์แบบสมดุลของเรารับประกันการสั่นสะเทือนต่ำเป็นพิเศษ
ความเสี่ยงจาก ESD: ไฟฟ้าสถิตทำลายชิป เราให้บริการพ่นสีและวัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิต (ESD) สำหรับอุปกรณ์ทั้งหมด
 
 

โซลูชันอากาศคลีนรูมของเซมิคอนดักเตอร์: FFU & EFU สำหรับ Wafer Fab | ฟู่ฟาน

เพิ่มผลผลิตเวเฟอร์ของคุณด้วยระบบการกรองที่ปราศจาก AMC และระบบการสั่นสะเทือนต่ำเป็นพิเศษของ FFU เรานำเสนอโซลูชันห้องสะอาดที่เข้ากันได้กับมาตรฐาน ISO Class 1 ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการพิมพ์หินด้วยแสง การกัดกรด และกระบวนการฟิล์มบาง

อุปกรณ์ครบวงจรสำหรับทุกโซน
ฝ้าเพดานและระบบหมุนเวียนอากาศ
 
ทำไมต้องเต๋อเฉิงซิน?
  • การควบคุมอัจฉริยะ: ความสามารถในการควบคุมกลุ่มขนาดใหญ่ (ตรวจสอบโหนดมากกว่า 10,000+ รายการ)
  • อากาศพลศาสตร์: พัดลมและมอเตอร์ได้รับการปรับแต่งร่วมกันภายในบริษัทเพื่อให้การสั่นสะเทือนน้อยที่สุด (สำคัญสำหรับการพิมพ์หิน)
 
HVAC และระบบกรองล่วงหน้า
 

ทำไมต้องเต๋อเฉิงซิน?

  • อุปทานเต็มรูปแบบ: เราผลิตสเปกตรัมตัวกรองทั้งหมด—ตั้งแต่ G3 ถึง U17—รับประกันความเข้ากันได้และการซื้อการบำรุงรักษาแบบครบวงจร
 
รายการการคลุมบุคลากรและวัสดุ
 

ทำไมต้องเต๋อเฉิงซิน?

  • การปรับแต่งให้พอดี: แผนผังห้องแต่งตัวแต่ละห้องแตกต่างกัน ในฐานะผู้ผลิตต้นทาง เราปรับแต่งขนาดของ Air Showers และตู้เสื้อผ้าเพื่อ  เพิ่มการใช้พื้นที่ของคุณให้เกิดประโยชน์สูงสุด เพื่อให้มั่นใจว่าบุคลากรจะไหลเวียนได้อย่างราบรื่น
  • การออกแบบที่เน้นผู้ใช้เป็นศูนย์กลาง: ตั้งแต่  ระบบนำทางด้วยเสียงอัจฉริยะ  ในห้องอาบน้ำแบบใช้ลมไปจนถึงเค้าโครงตู้ตามหลักสรีระศาสตร์ อุปกรณ์ของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อปรับปรุงกระบวนการติดเสื้อคลุม ลดเวลาการเข้าบุคลากร และลดอัตราข้อผิดพลาดให้เหลือน้อยที่สุด
 
สายการผลิตและการควบคุม ESD ในพื้นที่
 

 ทำไมต้องเต๋อเฉิงซิน?

  •  การป้องกันในพื้นที่แบบบูรณาการ:  เรามีชุดเครื่องมือที่สมบูรณ์แบบสำหรับการควบคุมสภาพแวดล้อมระดับจุลภาค
  •  การควบคุมแบบคงที่:  ของเรา  FFU ที่สร้างประจุไอออน  ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อลดความเสี่ยง ESD ที่แหล่งกำเนิด ซึ่งแตกต่างจากยูนิตกรองพัดลมมาตรฐาน
  • ตู้อเนกประสงค์: ไม่ว่าคุณจะต้องการ  ม้านั่งทำความสะอาด  สำหรับการประกอบหรือ  บูธโมดูลาร์  (อะคริลิค/เหล็ก/พีวีซี) สำหรับอุปกรณ์ขนาดใหญ่ เราผลิตตัวเครื่องและระบบการกรองทั้งหมด
  • พอดี: เราปรับแต่งทิศทางการไหลของอากาศ (แนวตั้ง/แนวนอน) และขนาดเพื่อให้เหมาะกับกระบวนการเฉพาะของคุณ เพื่อให้มั่นใจว่าทุกตารางนิ้วของสายการผลิตของคุณจะได้รับการปกป้อง

 

 
เหตุใดจึงเลือกผู้ผลิตจริงกับผู้ประกอบ
 
คุณสมบัติ Deshengxin (แหล่งที่มาของโรงงาน) ช่างประกอบธรรมดา
คอร์มอเตอร์ ผลิตเอง (ภายในบริษัท)   ปรับแต่งเพื่อหลักอากาศพลศาสตร์ที่ดีที่สุด มอเตอร์ทั่วไปที่ ว่าจ้างจากภายนอก   เสี่ยงต่อความไม่ตรงกัน
กลุ่มผลิตภัณฑ์ ห่วงโซ่อุตสาหกรรมเต็มรูปแบบ  FFU, ฝักบัวลม, ตัวกรอง, แผ่นโลหะ ตัวกรองการซื้อ แบบจำกัด/แบบผสม   ที่นี่ แฟน ๆ ที่นั่น
การควบคุมต้นทุน ราคาโรงงานโดยตรง   ไม่มีพ่อค้าคนกลาง ราคาที่สูงขึ้น   อัตรากำไรเพิ่มจากซัพพลายเออร์
เวลานำ รวดเร็วและควบคุมได้   เราควบคุมวัตถุดิบ ไม่แน่นอน   ขึ้นอยู่กับซัพพลายเออร์รายย่อยของพวกเขา
หลังการขาย การสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน   เรารู้จักสกรูทุกตัวในเครื่องจักรของเรา ตอบสนองช้า   ต้องติดต่อกับโรงงานเดิม
 
การควบคุมที่แม่นยำสำหรับสภาพแวดล้อมที่ละเอียดอ่อน
 
1. ความสามารถและความเสถียร ในการปรับขนาดขนาดใหญ่
ระบบของเราสร้างขึ้นบนโปรโตคอลการสื่อสารที่แข็งแกร่ง (Modbus/TCP/IP) รองรับเครือข่ายที่เสถียรมากกว่า 10,000 โหนด ไม่ว่าจะเป็นห้องปฏิบัติการขนาดเล็กหรือโรงงานขนาดใหญ่ ระบบจะขยายได้อย่างราบรื่นโดยไม่มีสัญญาณแฝง
2. Visualized Layout Mapping
บอกลาโค้ดที่ซับซ้อนได้เลย เรานำเข้าเค้าโครงตารางเพดานคลีนรูมของคุณไปยังซอฟต์แวร์ เพื่อสร้างแผนที่ภาพ คุณสามารถตรวจสอบสถานะ (เปิด/ปิด/ความเร็ว) ของตำแหน่ง FFU ทุกตำแหน่งได้โดยตรงบนหน้าจอ
3. การจัดการการไหลเวียนของอากาศและพลังงานที่แม่นยำ
ปลดล็อกการประหยัดในการปฏิบัติงาน คุณสามารถตั้งค่ากลยุทธ์การควบคุมโซน (เช่น 'โหมดการผลิต' เทียบกับ 'โหมดกลางคืน/สแตนด์บาย') เพื่อลด RPM ในระหว่างนอกเวลาทำงาน ซึ่งช่วยลดค่าไฟฟ้าได้อย่างมาก
4.
การบำรุงรักษาการวินิจฉัยข้อผิดพลาดอัจฉริยะทำได้ง่าย หาก FFU เดี่ยวล้มเหลว ระบบจะส่งสัญญาณแจ้งเตือนทันทีและระบุพิกัดที่แน่นอนบนแผนที่ ซึ่งช่วยลดการตรวจสอบด้วยตนเองและลดการหยุดทำงานลงอย่างมาก
5. อินเทอร์เฟซที่ปรับแต่งได้
ทั่วโลกพร้อมแล้ว เนื่องจากเราพัฒนาซอร์สโค้ดภายในบริษัท เราจึงสามารถปรับแต่งอินเทอร์เฟซซอฟต์แวร์ให้เป็นภาษาท้องถิ่นของคุณได้ สิ่งนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าผู้ปฏิบัติงานนอกสถานที่ของคุณสามารถจัดการระบบได้อย่างเป็นธรรมชาติ ขจัดอุปสรรคด้านภาษาและลดข้อผิดพลาดในการปฏิบัติงาน
ระบบควบคุมกลุ่มอัจฉริยะ
การจัดการ FFU กว่า 10,000+ รายการ ในโรงงานขนาดใหญ่เป็นเรื่องง่ายด้วย Deshengxin ระบบควบคุมที่เป็นเอกสิทธิ์ของเราช่วยให้สามารถตรวจสอบแบบเรียลไทม์ แจ้งเตือนข้อผิดพลาด และปรับความเร็วได้จากพีซีเครื่องเดียวหรือเทอร์มินัลมือถือ
'หัวใจ' ของห้องคลีนรูม
มอเตอร์ EC/DC เรา ของ ได้รับการทดสอบการทำงานต่อเนื่องนานกว่า 40,000+ ชั่วโมง ซึ่งประหยัดพลังงานได้ 30% เมื่อเทียบกับมอเตอร์ AC แบบเดิม ซึ่งช่วยลดต้นทุนได้มหาศาลสำหรับโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ที่ทำงานทุกวันตลอด 24 ชั่วโมง
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค: เกรดเซมิคอนดักเตอร์เทียบกับ FFU มาตรฐาน
 
คุณสมบัติ  FFU มาตรฐาน DSX FFU เซมิคอนดักเตอร์เกรด
สื่อกรอง ใยแก้ว PTFE / ULPA (U15-U17)
ปล่อยก๊าซออกมา ระดับมาตรฐาน วัสดุโบรอนต่ำ / ไม่มีการปล่อยก๊าซ
การสั่นสะเทือน < 1.0 มม./วินาที < 0.5 มม./วินาที (ไดนามิกบาลานซ์)
ระบบควบคุม การควบคุมความเร็วแบบแมนนวล การควบคุมกลุ่มอัจฉริยะ Modbus/TCP
แอปพลิเคชัน อุตสาหกรรมทั่วไป Wafer Fab, การบรรจุ, การทดสอบ

พร้อมที่จะสร้างห้องคลีนรูมระดับ ISO ของคุณแล้วหรือยัง?
ไม่ว่าคุณจะต้องการ Air Shower เดี่ยวหรือ 10,000 FFU สำหรับโรงงานใหม่ Deshengxin คือพันธมิตรที่เชื่อถือได้ของคุณ


 
 คำถามทั่วไปเกี่ยวกับห้องปลอดเชื้อเซมิคอนดักเตอร์
 
  • อุปกรณ์ทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม (SiC, GaN) เผชิญกับข้อจำกัดด้านพื้นที่ที่รุนแรง FFU มาตรฐานที่ 250–350 มม. ไม่สามารถพอดีกับระยะห่างแนวตั้งที่จำกัดของเครื่องมือขั้นสูงเหล่านี้ได้ บทความนี้จะแนะนำ EFU บางเฉียบ 70 มม. ของ DSX ซึ่งออกแบบทางวิศวกรรมมาโดยเฉพาะสำหรับการบูรณาการอุปกรณ์ที่มีพื้นที่จำกัด ด้วยความหนาในการปฏิบัติงานรวม ~100 มม. ประสิทธิภาพการกรอง ULPA สูงถึง 99.9995% (@0.12μm) และการผลิตแบบครบวงจร โซลูชันนี้ช่วยให้ผู้ผลิตอุปกรณ์ทำความสะอาดสามารถเพิ่มพื้นที่ภายในสูงสุดโดยไม่กระทบต่อประสิทธิภาพของห้องปลอดเชื้อ
     
  • Wujiang Deshengxin เป็นผู้ผลิต FFU เซมิคอนดักเตอร์มืออาชีพในประเทศจีน โดยจัดหาหน่วยกรองพัดลมประสิทธิภาพสูงสำหรับห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ EC FFU ของเรามีคุณสมบัติประหยัดพลังงาน 30-50% ประสิทธิภาพการกรอง 99.995% และการปฏิบัติตามมาตรฐาน ISO 14644 OEM และ ODM ใช้ได้ ติดต่อเราสำหรับโซลูชันห้องคลีนรูมที่เชื่อถือได้

     
  • Deshengxin EC FFU (หน่วยกรองพัดลม) นำเสนอเทคโนโลยีมอเตอร์ DC ในตัว ซึ่งประหยัดพลังงานได้ 30-50% ประสิทธิภาพการกรอง HEPA/ULPA สูงถึง 99.9995% การออกแบบซ้ำซ้อนแบบโมดูลาร์ และการควบคุม Modbus/BACnet อัจฉริยะ เหมาะสำหรับห้องคลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ ISO Class 1-5, โรงงาน biopharma GMP และการผลิตแบตเตอรี่ลิเธียม ขนาดที่กำหนดเอง โครงสร้างที่ปลอดภัยจาก ESD และการรวมตัวกรองสารเคมีพร้อมใช้งาน
  • เนื่องจากการจัดส่งอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลกมีมูลค่าถึง 36.55 พันล้านดอลลาร์ในไตรมาสที่ 1 ปี 2569 เพิ่มขึ้น 14% เมื่อเทียบเป็นรายปี โดยได้แรงหนุนจากการลงทุนที่เกี่ยวข้องกับ AI ความต้องการโครงสร้างพื้นฐานห้องสะอาดขั้นสูงยังคงเพิ่มสูงขึ้นอย่างต่อเนื่อง Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ซึ่งมีรูปแบบการผลิตแบบครบวงจรซึ่งครอบคลุม FFUs, แอร์ฝักบัว, พาสบ็อกซ์, ตัวกรอง HEPA, ม้านั่งทำความสะอาด และห้องคลีนรูมแบบแยกส่วน มอบโซลูชันการควบคุมการปนเปื้อนตามมาตรฐาน ISO ซึ่งออกแบบมาสำหรับโรงงานเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง และสายการผลิตที่มีความแม่นยำสูง

     
  • เนื่องจากโหนดการผลิตเซมิคอนดักเตอร์หดตัว ความต้องการอุปกรณ์คลีนรูมที่มีความแม่นยำ การสั่นสะเทือนต่ำ และประหยัดพื้นที่จึงเพิ่มสูงขึ้น การค้นหาซัพพลายเออร์ที่เชื่อถือได้ซึ่งสามารถตอบสนองความคลาดเคลื่อนที่ยอมรับได้สูงเหล่านี้พร้อมทั้งลดต้นทุนถือเป็นความท้าทายที่สำคัญ ด้วยความเชี่ยวชาญกว่า 20 ปี Wujiang Deshengxin (DSX) Purification ยืนหยัดในฐานะผู้ผลิตชั้นนำด้านโซลูชันห้องคลีนรูมแบบกำหนดเอง ด้วยการรักษาการผลิตมอเตอร์ ระบบควบคุม และตัวกรองภายใน 100% DSX จึงมอบอุปกรณ์ประสิทธิภาพสูงและคุ้มต้นทุนที่ปรับแต่งสำหรับสภาพแวดล้อมไมโครเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อนและการสั่งซื้อจำนวนมากจำนวนมาก
     
  • เนื่องจากเครื่องมือเซมิคอนดักเตอร์และการออกแบบห้องคลีนรูมแบบแยกส่วนมีขนาดกะทัดรัดมากขึ้น หน่วยกรองพัดลมแบบเดิมจึงมักเผชิญกับความท้าทายในการกวาดล้างความสูงในระหว่างการรวมอุปกรณ์ (การใช้งาน EFU) บทความนี้จะแนะนำแพลตฟอร์ม DSX Ultra Thin FFU ซึ่งมีโปรไฟล์ความลึกรวม 70 มม. ซึ่งออกแบบมาเพื่อเพดานแบบ low-plenum สภาพแวดล้อมขนาดเล็ก และการกรองแบบติดตั้งด้วยเครื่องมือ การอภิปรายครอบคลุมถึงวิธีที่การพัฒนามอเตอร์และระบบควบคุมแบบบูรณาการในแนวตั้งของ DSX ช่วยให้มีฟอร์มแฟคเตอร์ที่ลดลง โดยไม่กระทบต่อความสม่ำเสมอของการไหลของอากาศหรือความน่าเชื่อถือในระยะยาว สถานการณ์การใช้งานประกอบด้วย EFEM สำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์ การปรับปรุงสต็อกเกอร์ และโมดูลการผลิตที่มีความแม่นยำขั้นสูง ซึ่งพื้นที่แนวตั้งทุกๆ มิลลิเมตรมีความสำคัญ
  • ทั้งหมด 4 หน้า ไปที่หน้า
  • ไป
 
บทความทางเทคนิค
  • การกำหนดเวลาที่เหมาะสมที่สุดในการเปลี่ยนตัวกรอง HEPA หรือ ULPA ในห้องปลอดเชื้อไม่ควรขึ้นอยู่กับกำหนดการปฏิทิน แต่ขึ้นอยู่กับการตรวจสอบตามเงื่อนไขโดยใช้ความแตกต่างของแรงดัน (วัดใน Pascals, Pa) การเปลี่ยนตัวกรองเร็วเกินไปจะทำให้เสียงบประมาณ ในขณะที่การเปลี่ยนช้าเกินไปจะส่งผลต่อความเร็วลมและผลผลิต ขั้นตอนมาตรฐานเกี่ยวข้องกับการบันทึก 'ความต้านทานเริ่มต้น' (แรงดันตก) เมื่อมีการติดตั้งตัวกรองใหม่ที่มีการไหลเวียนของอากาศที่เหมาะสม (เช่น 0.45 ม./วินาที) โดยทั่วไปควรเปลี่ยนตัวกรองเมื่อความแตกต่างของแรงดันถึงสองเท่า (2x) ของความต้านทานเริ่มต้น หรือทันทีหากชุดกรองพัดลม (FFU) ไม่สามารถรักษาความเร็วลมที่ต้องการได้อีกต่อไป แม้จะใช้พลังงานสูงสุดก็ตาม Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ในฐานะผู้ผลิตห่วงโซ่อุตสาหกรรมเต็มรูปแบบ รับประกันข้อกำหนดความต้านทานเริ่มต้นที่สม่ำเสมอ ทำให้การบำรุงรักษาเชิงคาดการณ์มีความแม่นยำ
  • การปนเปื้อนระดับโมเลกุลในอากาศ (AMC) ก่อให้เกิดภัยคุกคามร้ายแรงต่อโหนดการผลิตเวเฟอร์ขั้นสูง (ต่ำกว่า 10 นาโนเมตร) ทำให้เกิดข้อบกพร่อง เช่น การกัดกร่อนของโลหะ (จากกรด) และสารต้านทานแสง 'ทีท็อปปิ้ง' (จากเบส/เอมีน) การควบคุมที่มีประสิทธิภาพจำเป็นต้องรวมตัวกรองสารเคมีเฉพาะเข้ากับหน่วยกรองพัดลมเพดาน (FFU) คู่มือนี้จัดหมวดหมู่ตัวกรองตามสารปนเปื้อนเป้าหมาย: ซีรีส์ MA สำหรับกรด (SOx, HCl), ซีรีส์ MB สำหรับเบส/เอมีน (NH3, สำคัญสำหรับการพิมพ์หิน) และซีรีส์ MV สำหรับสารอินทรีย์/VOCs ความท้าทายที่สำคัญคือตัวกรองสารเคมีเพิ่มความต้านทานอย่างมาก (แรงดันสถิต) Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. แก้ไขปัญหานี้โดยใช้ประโยชน์จากประสบการณ์ในห่วงโซ่อุตสาหกรรมเต็มรูปแบบมากกว่า 20 ปี เพื่อผลิตมอเตอร์ EC/AC แรงบิดสูงของตัวเอง Deshengxin สร้าง FFU แรงดันสูงแบบคงที่ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อรักษาความเร็วการไหลของอากาศที่ต้องการ แม้ว่าจะเต็มไปด้วยสื่อการกรองสารเคมีที่มีความหนาแน่นสูงก็ตาม
  • การวิเคราะห์นี้จะเปรียบเทียบต้นทุนการดำเนินงาน 5 ปีของหน่วยกรองพัดลม AC กับ EC (FFU) ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ สำหรับโรงงานตัวแทนที่ใช้งาน 5,000 FFU อย่างต่อเนื่อง การเปลี่ยนจากมอเตอร์ AC แบบเดิมไปเป็นเทคโนโลยี EC (การแลกเปลี่ยนทางอิเล็กทรอนิกส์) ที่ทันสมัยและมีประสิทธิภาพสูง ส่งผลให้ประหยัดได้มาก จากการประมาณการแบบอนุรักษ์นิยมของการประหยัดไฟ 50 วัตต์ต่อหน่วยและค่าไฟฟ้าที่ 0.10 ดอลลาร์สหรัฐฯ/กิโลวัตต์ชั่วโมง โรงงานแห่งหนึ่งสามารถช่วยประหยัดค่าไฟฟ้าโดยตรงได้มากกว่า 219,000 ดอลลาร์สหรัฐฯ ต่อปีเพียงอย่างเดียว รวมมูลค่ากว่า 1 ล้านดอลลาร์สหรัฐฯ ในระยะเวลาห้าปี การประหยัดที่สำคัญเพิ่มเติมเกิดขึ้นได้จากภาระการทำความเย็น HVAC ที่ลดลง เนื่องจากการปล่อยความร้อนของมอเตอร์ EC น้อยลง Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. เพิ่ม ROI นี้ให้สูงสุดด้วยความได้เปรียบ 'ห่วงโซ่อุตสาหกรรมเต็มรูปแบบ' โดยผลิตมอเตอร์ EC ประสิทธิภาพสูงของตัวเองภายในองค์กรสำหรับ FFU โดยเฉพาะ ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพระดับสูงสุดด้วยต้นทุนล่วงหน้าที่แข่งขันได้
ในฐานะผู้ให้บริการชั้นนำด้านอุปกรณ์คลีนรูมในประเทศจีน เรามีทีมขายมืออาชีพ ซัพพลายเออร์ที่กว้างขวาง การมีตลาดในเชิงลึก และบริการครบวงจรที่เป็นเลิศ

ติดต่อเรา

โทรศัพท์:+86-0512-63212787-808
อีเมล: nancy@shdsx.com
WhatsApp:+86- 13646258112
เพิ่ม:No.18 of East Tongxin Road, TaihuNew Town, Wujiang District, Suzhou City.Jiangsu Province, China

ลิงค์ด่วน

หมวดหมู่สินค้า

ลงทะเบียนเพื่อรับจดหมายข่าวของเรา

ลิขสิทธิ์© 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO.,LTD.สงวนลิขสิทธิ์. แผนผังเว็บไซต์