ไส้กรองสารเคมี

ปัญหาการกัดกร่อนและกลิ่นปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรมในโรงงานหลายแห่ง มันไม่ได้เกิดจากปัจจัยเดียวและไม่สามารถแก้ไขได้ด้วยวิธีแก้ไขปัญหาเดียว

มาตรฐาน SEMl F21-95 จัดให้มีวิธีการจำแนกประเภทคลีนรูมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โดยคำนึงถึงระดับการปนเปื้อนโมเลกุลของอากาศ (AMC) ใช้สำหรับสารปนเปื้อนในเฟสก๊าซ ซึ่งคล้ายคลึงกับมาตรฐานของรัฐบาลกลาง 209E สำหรับการปนเปื้อนของอนุภาค มาตรฐาน SEM F21-95 จัดประเภทห้องสะอาดตามประเภทของสารปนเปื้อนในเฟสของก๊าซ และระดับความเข้มข้นที่อนุญาตสำหรับแต่ละหมวดหมู่

สารปนเปื้อนในเฟสก๊าซสี่ประเภท:

1.กรด(ประเภท A):

ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนซึ่งทำปฏิกิริยาทางเคมีเป็นกรด (ตัวรับอิเล็กตรอน)

2.ฐาน(ประเภท B): qasses ที่มีฤทธิ์กัดกร่อนซึ่งทำปฏิกิริยาทางเคมีเป็นเบส (ผู้บริจาคอิเล็กตรอน)

3.สารควบแน่น (ประเภท C): สารปนเปื้อนซึ่งมีจุดเดือดสูงกว่าอุณหภูมิห้องและสามารถควบแน่นบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ได้

4.สารเจือปน (หมวด D):

สารปนเปื้อนที่ปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้าของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์

การจำแนกประเภท SEMl F21-95 มีการระบุด้วยตัวอักษร 'M' ตามด้วยตัวกำหนดหมวดหมู่ จากนั้นจึงระบุความเข้มข้นของสารปนเปื้อนที่อนุญาตในส่วนต่อล้านล้าน (ppt) ตัวอย่างโฟลตัวอย่าง ซึ่งเป็นการจำแนกประเภท MA-10 ตีความว่ามีความเข้มข้นสูงสุดที่อนุญาตที่ 10 ppt ของก๊าซกรดทั้งหมดในอากาศในห้อง

การจำแนกประเภทของสารปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ

หมวดหมู่วัสดุ	1 หน้า	10 หน้า	100 หน้า	1,000 หน้า	10,000 หน้า
กรด	มธ.-1	MA-10	MA-100	MA-1000	MA-10,000
ฐาน	เอ็มบี-1	เอ็มบี-10	เอ็มบี-100	MB-1000	MB-10,000
คอนเดนเซอร์	เอ็มซี-1	เอ็มซี-10	MC-100	MC-1000	เอ็มซี-10,000
สารเจือปน	เอ็มดี-1	เอ็มดี-10	เอ็มดี-100	เอ็มดี-1000	เอ็มดี-10,000

'SEMlF21-95:การจำแนกระดับสารปนเปื้อนระดับโมเลกุลในอากาศในสภาพแวดล้อมที่สะอาด'.1 ppb=1,000 ppt และ 1ppm=1,000,000 ppt

ความเข้มข้นของ AMC (สารปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ) ที่อนุญาตจะขึ้นอยู่กับประเภทของห้องคลีนรูม กระบวนการที่ใช้ และอุปกรณ์ที่ใช้

ขีดจำกัด AMC ที่คาดการณ์ไว้สำหรับกระบวนการ 0.25 um

ขั้นตอนกระบวนการ	เวลานั่งสูงสุด	ปริญญาโท(ppt)	เมกะไบต์ (ppt)	เอ็มซี (ppt)	พญ. (ppt)
ก่อนการเกิดออกซิเดชัน	4 ชม	13,000	13,000	1,000	0.1
น้ำลายไหล	1 ชม	180	13,000	35,000	1,000
ช่องทางการติดต่อ	24 ชม	5	13,000	2,000	100,000
การถ่ายภาพ DUV	2 ชม	10,000	1,000	100,000	10,000

สารปนเปื้อนและความเข้มข้นโดยทั่วไปในห้องคลีนรูม

หมวดหมู่	สารปนเปื้อน	ความเข้มข้น,ppt                   ต่ำ สูง
กรด	กรดไฮโดรคลอริก	20,000	400,000
	กรดไฮโดรฟลูออริก	40,000	250,000
	กรดไนตริก	20,000	250,000
	กรดซัลฟูริก	10,000	300,000
	กรดฟอสฟอริก	10,000	400,000
	กรดอะซิติก	10,000	250,000
	ไนโตรเจนไดออกไซด์	30,000	300,000
	ซัลเฟอร์ไดออกไซด์	10,000	150,000
ฐาน	แอมโมเนีย	10,000	200,000
	เอ็นเอ็มพี	20,000	300,000
คอนเดนเซอร์	อะซิโตน	20,000	500,000
	โทลูอีน	10,000	250,000
สารเจือปน	กรดบอริก	ND	200,000
	สารเรืองแสง	ND	5,000
	อาร์ซีน	ND	50,000

เทคนิคหลักสี่ประการในการควบคุมกลิ่นและการปนเปื้อนของก๊าซ: การมาสก์ การเผาไหม้ การระบายอากาศ และการกำจัด เม็ดสื่อใช้เพื่อควบคุมการปนเปื้อนของก๊าซโดยการดูดซับไอออนและออกซิเดชัน ตัวกรองสารเคมีสามารถกำจัดสิ่งปนเปื้อนระดับโมเลกุลออกได้โดยหลักการดูดซับและดูดซับ

เพื่อฟอกอากาศโดยการกำจัดวัสดุที่เป็นอนุภาค สารประกอบที่เป็นก๊าซและไอ ตัวกรองอนุภาคไม่ได้มีประสิทธิภาพกับก๊าซและไอที่ไม่พึงประสงค์

เมื่อโมเลกุลของก๊าซหรือของเหลวไปถึงพื้นผิวของตัวดูดซับและยังคงอยู่โดยไม่มีปฏิกิริยาเคมีใดๆ ปรากฏการณ์นี้เรียกว่าการดูดซับทางกายภาพหรือการดูดซับทางกายภาพ

คาร์บอนสามารถนำไปชุบด้วยสารเคมีอื่นๆ เพื่อปรับปรุงก๊าซบางชนิดที่มีความสามารถในการดูดซับต่ำด้วยคาร์บอนที่ไม่ผ่านการบำบัด สารเคมีเหล่านี้ทำปฏิกิริยากับก๊าซเพื่อลดความเข้มข้นของสารปนเปื้อน

อีกวิธีหนึ่งในการกำจัดก๊าซบางชนิดคือการจับและทำปฏิกิริยากับก๊าซเหล่านั้น กระบวนการนี้เรียกว่าการดูดซึมทางเคมี

มีวัสดุดูดซับหลายชนิด แต่ละวัสดุมีคุณสมบัติพิเศษกับไอระเหยบางชนิด

พื้นที่ผิวเพิ่มขึ้นเมื่อขนาดของคาร์บอนมีขนาดเล็กลง ขนาดอนุภาคอาจมีขนาดเล็กมากแม้ว่าจะกลายเป็นฝุ่นคาร์บอนก็ตาม แต่ยังสร้างปัญหาในการหลบหนีเข้าไปในไอน้ำในอากาศ หรือการอัดแน่นจนทำให้เกิดแรงดันตกคร่อมสูง ขนาดที่เหมาะสมจะต้องถูกกำหนดโดยการทดลอง

ในระบบการปนเปื้อนระดับโมเลกุล ประสิทธิภาพการกำจัดสิ่งปนเปื้อนเริ่มต้นไม่ได้ขึ้นอยู่กับน้ำหนัก ขนาดอนุภาคคาร์บอน และกิจกรรมของคาร์บอน พื้นที่ผิวทั้งหมดและเคมีของพื้นผิวเป็นพารามิเตอร์ที่สำคัญสองตัวในการพิจารณาประสิทธิภาพเริ่มต้น

หากมลพิษทางอากาศมีความชื้นมาก (เช่นในวันที่ฝนตก) ความชื้นนั้นสามารถดูดซับได้อย่างแข่งขันกับก๊าซที่ปนเปื้อนเป้าหมายสำหรับความจุคาร์บอน อย่างไรก็ตาม หากปฏิกิริยาถูกดูดซับด้วยสารเคมี ความชื้นสามารถเพิ่มปฏิกิริยาได้อย่างรวดเร็ว

อุณหภูมิยังอาจส่งผลต่ออัตราการดูดซับเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น การดึงดูดสารปนเปื้อนเข้าสู่คาร์บอนทำได้ยากขึ้น