எடையிடும் அறை அல்லது விநியோகச் சாவடி என்றால் என்ன? எடையிடும் அறை அல்லது விநியோகச் சாவடி என்பது பல்வேறு பொருட்களின் துல்லியமான எடை மற்றும் விநியோகத்திற்கான கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மற்றும் துல்லியமான சூழலை வழங்குவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த மற்றும் மூடப்பட்ட பகுதி. அதன் முக்கிய அம்சங்களான அப்ளிகேஷன்களின் விரிவான விவரம் இங்கே

ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியில், கண்ணுக்குத் தெரியாத மைக்ரோ-அதிர்வுகள் கூட முறை மங்கலாக்குதல் மற்றும் மகசூல் இழப்பை ஏற்படுத்தும். இந்த தொழில்நுட்ப வழிகாட்டி FFUFAN 0.5 mm/s (RMS) க்கும் குறைவான அதிர்வு நிலைகளை எவ்வாறு அடைகிறது என்பதை விளக்குகிறது. ஐஎஸ்ஓ க்ளாஸ் 1 லித்தோகிராஃபி மண்டலங்களுக்கு ஏற்றவாறு மாறும் சமச்சீர் தூண்டிகள், அதிர்ச்சி-உறிஞ்சும் மோட்டார் மவுண்ட்கள் மற்றும் திடமான கட்டமைப்பு வடிவமைப்புகள் உட்பட எங்கள் பொறியியல் அணுகுமுறையை நாங்கள் ஆராய்வோம்.

வான்வழி மூலக்கூறு மாசுபாடு (AMC)-ஆசிட்கள் (MA), பேஸ்கள் (MB), Condensables (MC) மற்றும் Dopants (MD) என வகைப்படுத்தப்பட்டுள்ளது - துணை-10nm குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு ஒரு முக்கியமான அச்சுறுத்தலை ஏற்படுத்துகிறது. இந்த தொழில்நுட்ப வழிகாட்டி பயன்படுத்தி இந்த அசுத்தங்களை எவ்வாறு எதிர்ப்பது என்பதை விவரிக்கிறது  இரட்டை நிலை வடிகட்டுதல் உத்தியைப் . போரான் மாசுபடுவதைத் தடுக்க பாரம்பரிய கண்ணாடி இழையிலிருந்து மாறுவதை நாங்கள் பகுப்பாய்வு செய்கிறோம் மற்றும்  லோ-அவுட்கேசிங் PTFE மீடியாவிற்கு  பங்கை விளக்குகிறோம் . அயன் எக்ஸ்சேஞ்ச் ரசாயன வடிகட்டிகளின்  உணர்திறன் வாய்ந்த லித்தோகிராபி மற்றும் எட்ச்சிங் மண்டலங்களைப் பாதுகாப்பதில்

சுத்தமான அறைகளில் HEPA அல்லது ULPA வடிப்பான்களை மாற்றுவதற்கான உகந்த நேரத்தை தீர்மானிப்பது காலண்டர் அட்டவணையின் அடிப்படையில் இருக்கக்கூடாது, மாறாக அழுத்தம் வேறுபாட்டைப் பயன்படுத்தி நிபந்தனை அடிப்படையிலான கண்காணிப்பு (பாஸ்கல்ஸ், Pa இல் அளவிடப்படுகிறது). வடிப்பான்களை மிக விரைவாக மாற்றுவது பட்ஜெட்டை வீணாக்குகிறது, அதே நேரத்தில் அவற்றை மிகவும் தாமதமாக மாற்றுவது காற்றோட்ட வேகம் மற்றும் உற்பத்தி விளைச்சலை சமரசம் செய்கிறது. புதிய வடிப்பான்கள் சரியான காற்றோட்டத்தில் (எ.கா. 0.45 மீ/வி) நிறுவப்படும் போது 'ஆரம்ப எதிர்ப்பை' (அழுத்தம் குறைதல்) பதிவு செய்வது நிலையான செயல்முறையை உள்ளடக்கியது. அழுத்த வேறுபாடு ஆரம்ப எதிர்ப்பை விட இரண்டு மடங்கு (2x) அடையும் போது அல்லது மின்விசிறி வடிகட்டி அலகு (FFU) அதிகபட்ச சக்தியில் கூட தேவையான காற்றோட்ட வேகத்தை இனி பராமரிக்க முடியாவிட்டால், வடிகட்டிகள் பொதுவாக மாற்றப்பட வேண்டும். Deshengxin ப்யூரிஃபிகேஷன் எக்யூப்மென்ட் கோ., லிமிடெட்., ஒரு முழு-தொழில் சங்கிலி உற்பத்தியாளராக, சீரான ஆரம்ப எதிர்ப்பு விவரக்குறிப்புகளை உறுதிசெய்து, முன்கணிப்பு பராமரிப்பை துல்லியமாக்குகிறது.

வான்வழி மூலக்கூறு மாசுபாடு (AMC) மேம்பட்ட செதில் உற்பத்தி முனைகளில் (துணை-10nm) விளைச்சலுக்கு கடுமையான அச்சுறுத்தலை ஏற்படுத்துகிறது, இது உலோக அரிப்பு (அமிலங்களிலிருந்து) மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கை 'டி-டாப்பிங்' (பேஸ்கள்/அமின்களிலிருந்து) போன்ற குறைபாடுகளை ஏற்படுத்துகிறது. பயனுள்ள கட்டுப்பாட்டுக்கு சிறப்பு இரசாயன வடிகட்டிகளை உச்சவரம்பு மின்விசிறி வடிகட்டி அலகுகளில் (FFUs) ஒருங்கிணைக்க வேண்டும். இந்த வழிகாட்டி இலக்கு மாசுபாட்டின் மூலம் வடிப்பான்களை வகைப்படுத்துகிறது: அமிலங்களுக்கான MA தொடர் (SOx, HCl), MB தொடர்கள்/அமின்கள் (NH3, லித்தோகிராஃபிக்கு முக்கியமானது) மற்றும் ஆர்கானிக்ஸ்/VOCகளுக்கான MV தொடர்கள். ஒரு முக்கியமான சவால் என்னவென்றால், இரசாயன வடிகட்டிகள் குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பைச் சேர்க்கின்றன (நிலையான அழுத்தம்). Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. தனது சொந்த உயர் முறுக்கு EC/AC மோட்டார்களை தயாரிப்பதற்கு 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான முழு-தொழில் சங்கிலி அனுபவத்தைப் பயன்படுத்தி இதைத் தீர்க்கிறது. Deshengxin பொறியாளர்கள் உயர்-நிலை அழுத்த FFUகள் குறிப்பாக அடர்த்தியான இரசாயன வடிகட்டுதல் ஊடகத்துடன் ஏற்றப்பட்டாலும் தேவையான காற்றோட்ட வேகத்தை பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.