இரசாயன வடிகட்டி
பல தொழிற்சாலைகளில் தொழில்துறை சூழலில் அரிப்பு மற்றும் துர்நாற்றம் மாசுபடுதல் பிரச்சனை. இது ஒரு காரணியால் ஏற்படாது மற்றும் ஒரு தீர்வு மூலம் தீர்க்க முடியாது.
SEMl நிலையான F21-95 மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் கிளீன்ரூம்களை ஏர்போர் மாலிகுலர் மாசுபாட்டின் (AMC) நிலைகளைப் பொறுத்து வகைப்படுத்தும் முறையை வழங்குகிறது. இது துகள் மாசுபாட்டிற்கான ஃபெடரல் தரநிலை 209E க்கு ஒப்பான வாயு கட்ட மாசுபடுத்தல்களுக்கானது. SEM தரநிலை F21-95 வாயு-கட்ட மாசுபாட்டின் வகை மற்றும் ஒவ்வொரு வகைக்கும் அனுமதிக்கக்கூடிய செறிவு நிலை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் ஒரு தூய்மையான அறையை வகைப்படுத்துகிறது.
வாயு-கட்ட அசுத்தங்களின் நான்கு வகைகள்:
1. அமிலங்கள்(வகை A):
அமிலங்களாக இரசாயன வினைபுரியும் அரிக்கும் வாயுக்கள் (எலக்ட்ரானாக்செப்டர்)
2.அடிப்படைகள்(பிரிவு B):வேதியியல் ரீதியாக அடிப்படைகளாக வினைபுரியும் அரிக்கும் காஸ்கள் (ஒரு எலக்ட்ரான் நன்கொடையாளர்)
3.மின்தேக்கிகள் (வகை C):அடுப்பின் கொதிநிலை பொதுவாக அறை வெப்பநிலைக்கு மேல் இருக்கும் மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் ஒடுக்கும் திறன் கொண்ட அசுத்தங்கள்.
4. டோபண்ட்ஸ் (வகை D):
குறைக்கடத்தி பொருளின் மின் பண்புகளை மாற்றியமைக்கும் அசுத்தங்கள்.
SEMl F21-95 வகைப்பாடு 'M' என்ற எழுத்தால் அடையாளம் காணப்பட்டது, அதைத் தொடர்ந்து டிரிலியன் (ppt) என்ற வகைப்பாட்டில் அனுமதிக்கக்கூடிய மாசுபடுத்தும் செறிவு.
வான்வழி மூலக்கூறு அசுத்தங்களின் வகைப்பாடு
| பொருள் வகை |
1 ppt |
10 பிபிடி |
100 பிபிடி |
1,000 பிபிடி |
10,000 பிபிடி |
| அமிலங்கள் |
எம்ஏ-1 |
எம்ஏ-10 |
எம்ஏ-100 |
MA-1000 |
எம்ஏ-10,000 |
| அடிப்படைகள் |
எம்பி-1 |
எம்பி-10 |
எம்பி-100 |
எம்பி-1000 |
எம்பி-10,000 |
| ஒடுக்கக்கூடியவை |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10,000 |
| டோபண்ட்ஸ் |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10,000 |
'SEMlF21-95:சுத்தமான சூழல்களில் காற்று மூலக்கூறு மாசு நிலைகளின் வகைப்பாடு'.1 ppb=1,000 ppt,மற்றும் 1ppm=1,000,000 ppt.
அனுமதிக்கக்கூடிய ஏஎம்சி (காற்றுமூலக்கூறு அசுத்தங்கள்) செறிவு சுத்தம் அறையின் வகுப்பு, பயன்படுத்தப்படும் செயல்முறை மற்றும் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்கள் ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது.
0.25 um செயல்முறைக்கான திட்டமிடப்பட்ட AMC வரம்புகள்
| செயல்முறை படி |
அதிகபட்ச உட்காரும் நேரம் |
MA(ppt) |
MB (ppt) |
MC (ppt) |
MD (ppt) |
| முன்-கேட்ஆக்சிடேஷன் |
4 மணி |
13,000 |
13,000 |
1,000 |
0.1 |
| சாலிசிடேஷன் |
1 மணி |
180 |
13,000 |
35,000 |
1,000 |
| தொடர்பு உருவாக்கம் |
24 மணி |
5 |
13,000 |
2,000 |
100,000 |
| DUV புகைப்படம் எடுத்தல் |
2 மணி |
10,000 |
1,000 |
100,000 |
10,000 |
க்ளீன்ரூமில் உள்ள வழக்கமான அசுத்தங்கள் மற்றும் செறிவுகள்
| வகை |
அசுத்தங்கள் |
Concentrationrangr,pp குறைந்த உயர் |
அமிலங்கள் |
ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் |
20,000 |
400,000 |
| ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம் |
40,000 |
250,000 |
| நைட்ரிக் அமிலம் |
20,000 |
250,000 |
| சல்பூரிக் அமிலம் |
10,000 |
300,000 |
| பாஸ்போரிக் அமிலம் |
10,000 |
400,000 |
| அசிட்டிக் அமிலம் |
10,000 |
250,000 |
| நைட்ரஜன் டை ஆக்சைடு |
30,000 |
300,000 |
| சல்பர் டை ஆக்சைடு |
10,000 |
150,000 |
அடிப்படைகள் |
அம்மோனியா |
10,000 |
200,000 |
| என்.எம்.பி |
20,000 |
300,000 |
ஒடுக்கக்கூடியவை |
அசிட்டோன் |
20,000 |
500,000 |
| டோலுயீன் |
10,000 |
250,000 |
டோபண்ட்ஸ் |
போரிக் அமிலம் |
ND |
200,000 |
| பாஸ்பரஸ் |
ND |
5,000 |
| அர்சின் |
ND |
50,000 |
துர்நாற்றம் மற்றும் வாயு அசுத்தங்களைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கான நான்கு முக்கிய நுட்பங்கள்: முகமூடி, எரித்தல், காற்றோட்டம் மற்றும் அகற்றுதல். ஊடகத் துகள்கள் உறிஞ்சுதல் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் மூலம் வாயு அசுத்தங்களைக் கட்டுப்படுத்தப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வேதியியல் வடிகட்டியானது உறிஞ்சுதல் மற்றும் உறிஞ்சும் கொள்கைகள் மூலம் மூலக்கூறு அசுத்தங்களை அகற்றலாம்.
துகள் பொருள்களை நீக்குவதன் மூலம் காற்றைச் சுத்திகரிக்க, வாயு மற்றும் நீராவி கலவை துகள் வடிகட்டிகள் விரும்பத்தகாத வாயுக்கள் மற்றும் நீராவிகளில் விளைவைக் கொண்டிருக்கவில்லை.
வாயு அல்லது திரவ மூலக்கூறுகள் ஒரு உறிஞ்சியின் மேற்பரப்பை அடைந்து எந்த இரசாயன எதிர்வினையும் இல்லாமல் இருக்கும் போது, இந்த நிகழ்வு உடல் உறிஞ்சுதல் அல்லது இயற்பியல் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
சுத்திகரிக்கப்படாத கார்பன் மூலம் குறைந்த உறிஞ்சும் திறன் கொண்ட சில வாயுக்களை மேம்படுத்த கார்பன் மற்ற இரசாயனங்களுடன் செறிவூட்டப்படலாம்.
குறிப்பிட்ட வாயுக்களை நீக்குவதற்கான மற்றொரு வழி, அவற்றைப் பிடித்து எதிர்வினையாற்றுவதாகும். இந்த செயல்முறை வேதியியல் உறிஞ்சுதல் என்று அழைக்கப்படுகிறது.
பல உறிஞ்சக்கூடிய பொருட்கள் கிடைக்கின்றன; அவை ஒவ்வொன்றும் குறிப்பிட்ட நீராவிகளுக்கு சிறப்புப் பிணைப்பைக் கொண்டுள்ளன.
கார்பனின் பரிமாணங்கள் சிறியதாக இருக்கும் போது மேற்பரப்பின் பரப்பளவு அதிகரித்தது. துகள்களின் அளவு மிகவும் சிறியதாக இருக்கும், அது கார்பன் தூசியாக மாறினாலும், காற்று நீராவிக்குள் தப்புவது அல்லது இறுக்கமாக பேக்கிங் செய்வது போன்ற பிரச்சனைகளை உருவாக்குகிறது. உகந்த அளவு பரிசோதனை மூலம் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும்.
மூலக்கூறு மாசுபடுத்தும் அமைப்பில், ஆரம்ப மாசுபாட்டை அகற்றும் திறன் எடை, கார்பன் துகள் அளவு, மற்றும் கார்பன் செயல்பாடு, மொத்த பரப்பளவு மற்றும் மேற்பரப்பு வேதியியல் ஆகியவை ஆரம்ப செயல்திறனை தீர்மானிக்க இரண்டு முக்கிய அளவுருக்கள் சார்ந்தது அல்ல.
காற்று மாசுபாடு மிகவும் ஈரப்பதமாக இருந்தால் (மழை நாள் போல்), கார்பன் திறனுக்கான இலக்கு மாசுபடுத்தப்பட்ட வாயுக்களுடன் ஈரப்பதத்தை போட்டித்தன்மையுடன் உறிஞ்சலாம், இருப்பினும்.
வெப்பநிலை அதிகரிக்கும் போது உறிஞ்சுதல் விகிதத்தையும் வெப்பநிலை பாதிக்கலாம். கார்பனுக்கு அசுத்தங்களை ஈர்ப்பது கடினம்.
