வான்வழி மூலக்கூறு மாசுபாடு (AMC) மேம்பட்ட செதில் உற்பத்தி முனைகளில் (துணை-10nm) விளைச்சலுக்கு கடுமையான அச்சுறுத்தலை ஏற்படுத்துகிறது, இது உலோக அரிப்பு (அமிலங்களிலிருந்து) மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கை 'டி-டாப்பிங்' (பேஸ்கள்/அமின்களிலிருந்து) போன்ற குறைபாடுகளை ஏற்படுத்துகிறது. பயனுள்ள கட்டுப்பாட்டுக்கு சிறப்பு இரசாயன வடிகட்டிகளை உச்சவரம்பு மின்விசிறி வடிகட்டி அலகுகளில் (FFUs) ஒருங்கிணைக்க வேண்டும். இந்த வழிகாட்டி இலக்கு மாசுபாட்டின் மூலம் வடிப்பான்களை வகைப்படுத்துகிறது: அமிலங்களுக்கான MA தொடர் (SOx, HCl), MB தொடர்கள்/அமின்கள் (NH3, லித்தோகிராஃபிக்கு முக்கியமானது) மற்றும் ஆர்கானிக்ஸ்/VOCகளுக்கான MV தொடர்கள். ஒரு முக்கியமான சவால் என்னவென்றால், இரசாயன வடிகட்டிகள் குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை (நிலையான அழுத்தம்) சேர்க்கின்றன. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. தனது சொந்த உயர் முறுக்கு EC/AC மோட்டார்களை தயாரிப்பதற்கு 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான முழு-தொழில் சங்கிலி அனுபவத்தைப் பயன்படுத்தி இதைத் தீர்க்கிறது. Deshengxin பொறியாளர்கள் உயர்-நிலை அழுத்த FFUகள் குறிப்பாக அடர்த்தியான இரசாயன வடிகட்டுதல் ஊடகத்துடன் ஏற்றப்பட்டாலும் தேவையான காற்றோட்ட வேகத்தை பராமரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

இந்த பகுப்பாய்வு பெரிய அளவிலான செமிகண்டக்டர் ஃபேப்களில் AC மற்றும் EC ஃபேன் வடிகட்டி அலகுகள் (FFUs) ஆகியவற்றின் 5 ஆண்டு செயல்பாட்டு செலவுகளை ஒப்பிடுகிறது. 5,000 FFUகள் தொடர்ந்து இயங்கும் ஒரு பிரதிநிதி வசதிக்காக, பாரம்பரிய AC மோட்டார்களில் இருந்து நவீன, உயர் திறன் கொண்ட EC (எலக்ட்ரானிகலாக மாற்றப்பட்ட) தொழில்நுட்பத்திற்கு மாறுவது கணிசமான சேமிப்பை விளைவிக்கிறது. ஒரு யூனிட்டுக்கு 50-வாட் சேமிப்பு மற்றும் $0.10/kWh மின்சாரச் செலவு என்ற பழமைவாத மதிப்பீடுகளின் அடிப்படையில், ஒரு வசதியானது நேரடி மின்சாரச் செலவில் மட்டும் ஆண்டுதோறும் $219,000 USDக்கு மேல் சேமிக்கிறது, மொத்தம் ஐந்து ஆண்டுகளில் $1 மில்லியனுக்கும் அதிகமாகும். EC மோட்டார்களின் குறைந்த வெப்ப உமிழ்வு காரணமாக குறைக்கப்பட்ட HVAC குளிரூட்டும் சுமைகள் மூலம் கூடுதல் குறிப்பிடத்தக்க சேமிப்புகள் உணரப்படுகின்றன. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. இந்த ROIயை அதன் 'முழு தொழில் சங்கிலி' நன்மையின் மூலம் அதிகப்படுத்துகிறது, அதன் சொந்த உயர் செயல்திறன் கொண்ட EC மோட்டார்களை அதன் FFUகளுக்காக உள்நாட்டில் உற்பத்தி செய்து, போட்டித் தன்மையுடன் கூடிய முன் செலவில் உயர்மட்ட செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

H1: Room-Side Replaceable (RSR) FFU: ஜீரோ-டவுன்டைம் க்ளீன்ரூம் பராமரிப்புக்கான அல்டிமேட் தீர்வு. அறை-பக்கம் மாற்றக்கூடிய (RSR) FFU ஆனது தங்கத் தரமாக மாறியுள்ளது, இது en அனுமதிக்கிறது

இந்த வழிகாட்டி FFU வகைப்பாடுகள், பயன்பாடுகள் மற்றும் தேர்வு அளவுகோல்களின் விரிவான பகுப்பாய்வை வழங்குகிறது, இது சுத்தமான காற்று தொழில்நுட்பத்தில் புதுமை மற்றும் தரத்திற்கான DeshengXin இன் அர்ப்பணிப்பை வலியுறுத்துகிறது.

இந்த வழிகாட்டி முக்கிய பங்கை விவரிக்கிறது உயர்-தொழில்நுட்பத் தொழில்களில் நிலையான எதிர்ப்பு FFUகள் , தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை முன்னிலைப்படுத்துதல், இணக்கத் தரநிலைகள் மற்றும் க்ளீன்ரூம் பாதுகாப்பு மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான சிறந்த பொறியியல் நடைமுறைகள்.

FFU அளவு கணக்கீட்டு முறை மற்றும் Deshengxin தொழில்நுட்ப ஆதரவு1. FFUFFU இன் வரையறை மற்றும் நோக்கம், ஃபேன் ஃபில்டர் யூனிட்டைக் குறிக்கிறது, இது ஒரு மட்டு, சுய-இயக்கம் மற்றும் அதிக திறன் கொண்ட காற்று சுத்திகரிப்பு சாதனமாகும். இது தூய்மையான மற்றும் நிலையான காற்றை வழங்குவதற்காக, தூய்மையான அறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.