Производство панелей дисплеев — LCD, OLED и MicroLED — требует самых строгих условий чистых помещений в любой отрасли. Одна-единственная частица микронного размера может создать видимые дефекты пикселей, в результате чего контроль загрязнения напрямую связан с выходом продукции. В этой статье рассматриваются стандарты чистых помещений, необходимые для различных технологий отображения, роль FFU в поддержании среды классов ISO 3–5, стратегии фильтрации с использованием фильтров H14 HEPA и U15+ ULPA, химическая фильтрация для управления AMC и оптимизация энергопотребления с помощью технологии EC-двигателей. Здесь также описано, как конфигурации FFU различаются в зависимости от процессов массива, ячейки и модуля. Компания Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. (DSX) производит фильтры FFU, EFU, HEPA, ULPA-фильтры, химические фильтры и другие решения для очистки воздуха, а также собственное производство вентиляторов, двигателей, систем управления и фильтрующих материалов, что позволяет создавать комплексные решения для чистых помещений при производстве дисплеев.

Потребление энергии является крупнейшим эксплуатационным расходом в чистых помещениях: на вентиляторы приходится 60–80% общих затрат на электроэнергию. В этой статье рассматриваются ключевые технологии, обеспечивающие энергоэффективность конструкции FFU: двигатели EC, которые обеспечивают экономию энергии до 50% по сравнению с альтернативами переменного тока, регуляторы переменной скорости для регулировки воздушного потока в зависимости от потребности и интеллектуальные системы мониторинга для оптимизации в реальном времени. В нем также рассматривается ISO 14644-16, стандарт энергоэффективности для чистых помещений, и реальные результаты, такие как повышение эффективности вентиляторов TSMC на 60%, экономия 156 кВтч на завод в год. Компания Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. (DSX) производит фильтры FFU, EFU, HEPA, ULPA-фильтры, химические фильтры и другие решения для очистки воздуха, а также собственное производство вентиляторов, двигателей, систем управления и фильтрующих материалов, что позволяет создавать интегрированные конструкции с оптимизацией энергопотребления.

Стандарты ISO 14644 и GMP для чистых помещений: объяснение основных различийЧистые помещения классифицируются так, чтобы качество воздуха соответствовало требованиям процессов, проводимых в них. В отрасли доминируют две основные системы классификации: ISO 14644-1:2015 — международный стандарт для чистых помещений и

Неравномерный воздушный поток — одна из наиболее распространенных, но упускаемых из виду проблем в потолочных системах FFU для чистых помещений. Она может поставить под угрозу качество продукции, соответствие нормативным требованиям и эксплуатационную эффективность. В этой статье рассматриваются основные причины неравномерности воздушного потока: плохая компоновка ФФУ, нестабильная производительность вентиляторов, проблемы с потолочной решеткой и установкой, внешние нарушения воздушного потока и отсутствие балансировки на уровне системы. В нем объясняется, как диагностировать проблемы с воздушным потоком с помощью измерений скорости, визуализации дыма, подсчета частиц и картирования давления, а также предлагаются практические решения для достижения постоянного и равномерного воздушного потока. В статье также обсуждается, почему вертикально интегрированное производство важно для однородности воздушного потока и как собственное производство вентиляторов, двигателей, систем управления и фильтров DSX обеспечивает более быструю настройку, стабильное качество и единую ответственность.

Оборудование для очистки полупроводников третьего поколения (SiC, GaN) сталкивается с серьезными ограничениями в пространстве. Стандартные FFU диаметром 250–350 мм просто не могут поместиться в ограниченный вертикальный зазор этих современных инструментов. В этой статье рассказывается об ультратонком EFU DSX толщиной 70 мм, разработанном специально для интеграции оборудования с ограниченным пространством. Благодаря общей рабочей толщине ~ 100 мм, эффективности фильтрации ULPA до 99,9995% (@0,12 мкм) и полной цепочке поставок это решение позволяет производителям уборочного оборудования максимально эффективно использовать внутреннее пространство без ущерба для производительности чистых помещений.
 

В этой статье представлен полный обзор Ультратонкая технология EFU (Equipment Fan Filter Unit) для оборудования по производству полупроводников. Он решает критическую проблему ограниченного внутреннего пространства в современных полупроводниковых приборах, куда не могут поместиться стандартные FFU. Представлено решение – ультратонкий EFU диаметром 70 мм – с подробным объяснением того, как производство с полной цепочкой поставок обеспечивает этот прорыв благодаря специально разработанным бесщеточным микровентиляторам EC, самостоятельно изготовленным мини-складчатым фильтрам HEPA/ULPA и оптимизированной внутренней геометрии. Описаны ключевые технические характеристики, контроль загрязнения AMC, возможности интеллектуального управления и сценарии применения на внешнем и внутреннем оборудовании.