А Вентиляторный фильтрующий блок (FFU) — это ключевое устройство для чистых помещений, используемое для обеспечения сверхчистого ламинарного воздушного потока. Он играет решающую роль в поддержании стандартов ISO для чистых помещений в полупроводниковой, фармацевтической и электронной промышленности. В этой статье объясняется принцип его работы, структура, применение и преимущества.

В этой статье исследуется решающая роль специально разработанных вентиляторных фильтрующих блоков (ФФУ) в современных чистых помещениях. Это объясняет, почему универсальный подход не работает в биофармацевтической отрасли GMP, точной электронике и производстве полупроводников. В статье рассматриваются классификации ISO, риски загрязнения (микробные, электростатические разряды, частицы) и преимущества 100% вертикального производства. Собственное производство двигателей, фильтров и контроллеров DSX позволяет создавать индивидуальные решения в области воздушного потока, обеспечивающие соответствие нормативным требованиям, энергоэффективность и надежность продукции.
 

FFU — это основное очистное оборудование в чистых помещениях. В этой статье, представленной Deshengxin, фабрикой по производству FFU с более чем 20-летним опытом исследований, разработок и производства, глубоко анализируются 10 наиболее распространенных вопросов о FFU. Охватывает такие ключевые темы, как выбор двигателя переменного тока или двигателя EC, контроль шума, индивидуальный подбор размеров, циклы замены фильтров и системы группового управления. Узнайте, как Deshengxin использует свои собственные разработанные основные технологии в вентиляторах и фильтрах, чтобы предоставить вам более экономичные, интеллектуальные и надежные решения для очистки окружающей среды.

Поскольку полупроводниковые узлы сокращаются, традиционная сборка FFU терпит неудачу. Узнайте, как компания Deshengxin (DSX) использует предприятие площадью 30 000 кв. м для собственного производства основных компонентов, обеспечивая непревзойденную чистоту класса 1 по ISO, контроль AMC и устойчивость к микровибрации для заводов по всему миру.

В фотолитографии даже невидимые микровибрации могут вызвать размытие рисунка и потерю производительности. В этом техническом руководстве объясняется, как FFUFAN достигает уровня вибрации ниже 0,5 мм/с (СКЗ). Мы изучаем наш инженерный подход, включая динамически сбалансированные рабочие колеса, амортизирующие опоры двигателя и жесткие конструкции, адаптированные для зон литографии класса 1 по ISO.

Воздушно-транспортное молекулярное загрязнение (AMC), подразделяемое на кислоты (MA), основания (MB), конденсируемые вещества (MC) и легирующие примеси (MD), представляет собой критическую угрозу для полупроводниковых процессов размером менее 10 нм. В этом техническом руководстве подробно описано, как бороться с этими загрязнениями с помощью  стратегии двухступенчатой ​​фильтрации . Мы анализируем переход от традиционного стекловолокна к  материалам из ПТФЭ с низким выделением газов  , чтобы предотвратить загрязнение бором, и объясняем роль  химических ионообменных фильтров  в защите чувствительных зон литографии и травления».