Kompleksowy producent sprzętu do pomieszczeń czystych dla półprzewodników i elektroniki

半导体制造

Rozwiązywanie kluczowych wyzwań w produkcji mikroelektroniki

Utrata wydajności: Cząsteczki unoszące się w powietrzu są wrogiem nr 1 w zakresie wydajności wafli. Oferujemy filtrację klasy ISO 1.
Wrażliwe na wibracje: Tradycyjne wentylatory wibrują i uszkadzają precyzyjną litografię. Nasze wyważone silniki zapewniają wyjątkowo niski poziom wibracji.
Ryzyko ESD: Elektryczność statyczna niszczy chipy. Zapewniamy malowanie antystatyczne (ESD) i materiały do ​​wszystkich urządzeń.
 
 

Rozwiązania w zakresie półprzewodnikowego powietrza do pomieszczeń czystych: FFU i EFU dla fabryki wafli | FFUFAN

Zwiększ wydajność wafli dzięki systemom filtracji FFU o bardzo niskim poziomie wibracji i wolnym od AMC. Oferujemy rozwiązania do pomieszczeń czystych zgodne z normą ISO klasy 1, zaprojektowane specjalnie do fotolitografii, trawienia i procesów cienkowarstwowych.

Kompleksowe wyposażenie dla każdej strefy
Siatka sufitowa i system cyrkulacji powietrza
 
Dlaczego Deshengxin?
  • Inteligentne sterowanie: ogromne możliwości sterowania grupowego (monitorowanie ponad 10 000 węzłów).
  • Aerodynamika: Wentylator i silnik są dostrojone wewnętrznie w celu uzyskania minimalnych wibracji (niezbędne w przypadku litografii).
 
System HVAC i filtracji wstępnej
 

Dlaczego Deshengxin?

  • Pełny zakres dostaw: Produkujemy całą gamę filtrów — od G3 do U17 — zapewniając kompatybilność i kompleksowe zakupy konserwacyjne.
 
Wejście do stroju personelu i materiałów
 

Dlaczego Deshengxin?

  • Idealne dopasowanie: Układ każdej garderoby jest inny. Jako producent źródłowy dostosowujemy wymiary natrysków powietrznych i szaf, aby  zmaksymalizować wykorzystanie przestrzeni , zapewniając płynny przepływ personelu.
  • Projekt zorientowany na użytkownika: Od  inteligentnych wskazówek głosowych  w natryskach powietrznych po ergonomiczne układy szafek, nasz sprzęt został zaprojektowany tak, aby usprawnić proces zakładania fartuchów, skracając czas wejścia personelu i minimalizując liczbę błędów.
 
Linia produkcyjna i lokalna kontrola ESD
 

 Dlaczego Deshengxin?

  •  Zintegrowana ochrona lokalna:  Oferujemy kompletny zestaw narzędzi do kontroli mikrośrodowiska.
  •  Kontrola statyczna:  Nasze  jonizujące FFU  zostały zaprojektowane tak, aby neutralizować ryzyko ESD u źródła, w przeciwieństwie do standardowych jednostek filtrów wentylatorowych.
  • Wszechstronne obudowy: Niezależnie od tego, czy potrzebujesz  czystych ławek  do montażu, czy  kabin modułowych  (akryl/stal/PVC) do dużego sprzętu, produkujemy całą obudowę i system filtracji.
  • Idealne dopasowanie: Dostosowujemy kierunek przepływu powietrza (pionowy/poziomy) i wymiary, aby dopasować je do konkretnego procesu, zapewniając ochronę każdego centymetra linii produkcyjnej.

 

 
Dlaczego warto wybrać prawdziwego producenta zamiast montera?
 
Funkcja Deshengxin (fabryka źródłowa) Zwykli asemblerzy
Silnik rdzeniowy Wyprodukowane samodzielnie (wewnętrznie)   Dostosowane pod kątem najlepszej aerodynamiki. Outsourcing   silników Generic, ryzyko niedopasowania.
Asortyment produktów Pełny łańcuch przemysłowy  FFU, prysznic powietrzny, filtry, blacha. Filtry Limited / Mixed   Buys tutaj, fani tam.
Kontrola kosztów Cena fabryczna Brak   marży pośredników. Wyższa cena   Dodane marże od dostawców.
Czas realizacji Szybko i kontrolowanie   Kontrolujemy surowce. Niepewny.   Zależnie od poddostawców.
Obsługa posprzedażna Dożywotnia pomoc techniczna   Znamy każdą śrubkę w naszej maszynie. Powolna reakcja   Należy skontaktować się z oryginalnymi fabrykami.
 
Precyzyjne sterowanie w wrażliwych środowiskach
 
1. Ogromne możliwości skalowania i stabilność
Zbudowany w oparciu o solidne protokoły komunikacyjne (Modbus/TCP/IP), nasz system obsługuje stabilną sieć ponad 10 000 węzłów. Niezależnie od tego, czy chodzi o małe laboratorium, czy o wielką fabrykę, system rozwija się płynnie, bez opóźnień sygnału.
2. Wizualizowane mapowanie układu
Pożegnaj złożone kody. Importujemy układ siatki sufitowej pomieszczenia czystego do oprogramowania, tworząc mapę wizualną. Możesz sprawdzić status (Wł./Wył./Prędkość) każdej konkretnej lokalizacji FFU bezpośrednio na ekranie.
3. Precyzyjne zarządzanie przepływem powietrza i energią
Odblokuj oszczędności operacyjne. Możesz ustawić strategie kontroli stref (np. „Tryb produkcyjny” w porównaniu z „Tryb nocny/czuwanie”), aby obniżyć obroty poza godzinami pracy, znacznie zmniejszając koszty energii elektrycznej.
4. Inteligentna diagnostyka usterek
Łatwa konserwacja. Jeśli pojedynczy FFU ulegnie awarii, system uruchamia natychmiastowy alarm i wskazuje dokładne współrzędne na mapie. Eliminuje to ręczne sprawdzanie i drastycznie skraca przestoje.
5. Konfigurowalny, zlokalizowany interfejs,
gotowy na cały świat. Ponieważ sami opracowujemy kod źródłowy, możemy dostosować interfejs oprogramowania do Twojego lokalnego języka. Dzięki temu operatorzy lokalni będą mogli intuicyjnie zarządzać systemem, eliminując bariery językowe i redukując błędy operacyjne.
Inteligentny system kontroli grupowej
Zarządzanie ponad 10 000 FFU w dużej fabryce jest łatwe dzięki Deshengxin. Nasz autorski system sterowania umożliwia monitorowanie w czasie rzeczywistym, alarmowanie o błędach i regulację prędkości z jednego komputera PC lub terminala mobilnego.
„Serce” Cleanroomu
Nasze wewnętrzne silniki EC/DC są testowane pod kątem ponad 40 000 godzin ciągłej pracy, co zapewnia 30% oszczędności energii w porównaniu z tradycyjnymi silnikami prądu przemiennego – co stanowi ogromną redukcję kosztów w przypadku fabryk półprzewodników działających 24 godziny na dobę, 7 dni w tygodniu.
Dane techniczne: klasa półprzewodników w porównaniu ze standardowym FFU
 
Funkcja  Standardowe FFU Klasa półprzewodników DSX FFU
Filtruj media Włókno szklane PTFE/ULPA (U15-U17)
Odgazowanie Poziomy standardowe Materiały o niskiej zawartości boru / o zerowym odgazowaniu
Wibracja < 1,0 mm/s < 0,5 mm/s (zrównoważony dynamicznie)
System sterowania Ręczna kontrola prędkości Inteligentne sterowanie grupowe Modbus/TCP
Aplikacja Przemysł ogólny Fabryka wafli, pakowanie, testowanie

Gotowy do zbudowania pomieszczenia czystego klasy ISO?
Niezależnie od tego, czy potrzebujesz pojedynczego prysznica powietrznego, czy 10 000 FFU do nowej instalacji, Deshengxin jest Twoim zaufanym partnerem.


 
 Często zadawane pytania dotyczące pomieszczeń czystych półprzewodników
 
  • Sprzęt do czyszczenia półprzewodników trzeciej generacji (SiC, GaN) boryka się z poważnymi ograniczeniami przestrzennymi. Standardowe FFU o średnicy 250–350 mm po prostu nie mieszczą się w ograniczonym prześwicie pionowym tych zaawansowanych narzędzi. W tym artykule przedstawiono ultracienki moduł EFU firmy DSX o grubości 70 mm — zaprojektowany specjalnie z myślą o integracji sprzętu o ograniczonej przestrzeni. Dzięki całkowitej grubości roboczej wynoszącej ~100 mm, wydajności filtracji ULPA do 99,9995% (@ 0,12 μm) i produkcji obejmującej cały łańcuch dostaw, rozwiązanie to umożliwia producentom sprzętu czyszczącego maksymalizację przestrzeni wewnętrznej bez pogarszania wydajności pomieszczenia czystego.
     
  • Wujiang Deshengxin jest profesjonalnym producentem półprzewodników FFU w Chinach, dostarczającym wysokowydajne jednostki filtrów wentylatorowych do pomieszczeń czystych z półprzewodnikami. Nasz EC FFU charakteryzuje się oszczędnością energii na poziomie 30–50%, skutecznością filtracji na poziomie 99,995% i zgodnością z normą ISO 14644. Dostępne OEM i ODM. Skontaktuj się z nami, aby uzyskać niezawodne rozwiązania do pomieszczeń czystych.

     
  • Deshengxin EC FFU (Fan Filter Unit) charakteryzuje się zintegrowaną technologią silnika prądu stałego, zapewniającą 30-50% oszczędności energii, wydajnością filtracji HEPA/ULPA do 99,9995%, modułową redundantną konstrukcją i inteligentnym sterowaniem Modbus/BACnet. Nadaje się do pomieszczeń czystych półprzewodników klasy ISO 1-5, obiektów biopharma GMP i produkcji baterii litowych. Dostępne rozmiary niestandardowe, konstrukcja odporna na ESD i integracja z filtrem chemicznym.
  • Ponieważ globalne dostawy sprzętu półprzewodnikowego osiągnęły poziom 36,55 miliarda dolarów w pierwszym kwartale 2026 r., co stanowi wzrost o 14% rok do roku dzięki inwestycjom związanym ze sztuczną inteligencją, zapotrzebowanie na zaawansowaną infrastrukturę pomieszczeń czystych stale rośnie. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., oferując model produkcji w pełnym łańcuchu obejmujący FFU, prysznice powietrzne, skrzynki przepustowe, filtry HEPA, czyste ławki i modułowe pomieszczenia czyste, zapewnia zgodne z ISO rozwiązania w zakresie kontroli zanieczyszczeń, dostosowane do fabryk płytek półprzewodnikowych, zaawansowanych opakowań i ultraprecyzyjnych linii produkcyjnych.

     
  • W miarę kurczenia się węzłów produkcyjnych półprzewodników gwałtownie wzrosło zapotrzebowanie na precyzyjny, charakteryzujący się niskimi wibracjami i oszczędzający miejsce sprzęt do pomieszczeń czystych. Znalezienie niezawodnego dostawcy, który jest w stanie spełnić te ekstremalne tolerancje przy jednoczesnym utrzymaniu niskich kosztów, jest poważnym wyzwaniem. Dzięki ponad 20-letniemu doświadczeniu firma Wujiang Deshengxin (DSX) Purification jest czołowym producentem niestandardowych rozwiązań do pomieszczeń czystych. Utrzymując w 100% własną produkcję silników, systemów sterowania i filtrów, DSX dostarcza wysokowydajny, ekonomiczny sprzęt dostosowany do złożonych mikrośrodowisk półprzewodników i zamówień masowych na dużą skalę.
     
  • Ponieważ narzędzia półprzewodnikowe i modułowe konstrukcje do pomieszczeń czystych stają się coraz bardziej kompaktowe, tradycyjne zespoły filtrów wentylatorowych często stwarzają problemy związane z prześwitem wysokości podczas integracji sprzętu (zastosowania EFU). W tym artykule przedstawiono platformę DSX Ultra Thin FFU, charakteryzującą się profilem o całkowitej głębokości 70 mm, zaprojektowaną z myślą o sufitach z niską przestrzenią międzysufitową, małych środowiskach i filtracji montowanej na narzędziach. Dyskusja dotyczy tego, w jaki sposób rozwój pionowo zintegrowanego silnika i systemu sterowania firmy DSX umożliwia zmniejszenie rozmiaru bez poświęcania równomierności przepływu powietrza i długoterminowej niezawodności. Scenariusze zastosowań obejmują EFEM do obsługi płytek, modernizację magazynów i zaawansowane moduły do ​​precyzyjnej produkcji, w których każdy milimetr przestrzeni pionowej ma kluczowe znaczenie.
  • Łącznie 4 strony Przejdź do strony
  • Iść
 
Artykuły techniczne
  • Określanie optymalnego czasu wymiany filtrów HEPA lub ULPA w pomieszczeniach czystych nie powinno opierać się na harmonogramach kalendarzowych, ale raczej na monitorowaniu opartym na stanie za pomocą różnicy ciśnień (mierzonej w paskalach, Pa). Zbyt wczesna wymiana filtrów marnuje budżet, a zbyt późna wymiana pogarsza prędkość przepływu powietrza i wydajność produkcji. Standardowa procedura obejmuje rejestrację „oporu początkowego” (spadku ciśnienia) po zamontowaniu nowych filtrów przy właściwym przepływie powietrza (np. 0,45 m/s). Filtry należy zazwyczaj wymieniać, gdy różnica ciśnień osiągnie dwukrotnie (2x) opór początkowy lub natychmiast, jeśli moduł filtra wentylatora (FFU) nie jest już w stanie utrzymać wymaganej prędkości przepływu powietrza nawet przy maksymalnej mocy. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., jako pełnobranżowy producent łańcuchów, zapewnia spójne specyfikacje początkowej rezystancji, dzięki czemu konserwacja predykcyjna jest dokładna.
  • Zanieczyszczenie molekularne unoszące się w powietrzu (AMC) stwarza poważne zagrożenie dla wydajności w zaawansowanych węzłach produkcji płytek (poniżej 10 nm), powodując defekty, takie jak korozja metaliczna (z kwasów) i „T-topping” fotomaski (z zasad/amin). Skuteczna kontrola wymaga zintegrowania specjalistycznych filtrów chemicznych z modułami filtrów wentylatorów sufitowych (FFU). W tym przewodniku kategoryzuje się filtry według docelowego zanieczyszczenia: seria MA dla kwasów (SOx, HCl), seria MB dla zasad/amin (NH3, kluczowa dla litografii) i seria MV dla substancji organicznych/LZO. Krytycznym wyzwaniem jest to, że filtry chemiczne zwiększają znaczny opór (ciśnienie statyczne). Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. rozwiązuje ten problem, wykorzystując ponad 20-letnie doświadczenie w branży łańcuchów do produkcji własnych silników EC/AC o wysokim momencie obrotowym. Deshengxin projektuje FFU o wysokim ciśnieniu statycznym, zaprojektowane specjalnie w celu utrzymania wymaganych prędkości przepływu powietrza nawet przy obciążeniu gęstym chemicznym środkiem filtrującym.
  • W tej analizie porównano 5-letnie koszty operacyjne jednostek filtrów wentylatorów AC i EC (FFU) w wielkoskalowych fabrykach półprzewodników. W przypadku reprezentatywnego zakładu, w którym stale pracuje 5000 FFU, przejście z tradycyjnych silników prądu przemiennego na nowoczesną, wysokowydajną technologię EC (z komutacją elektroniczną) skutkuje znacznymi oszczędnościami. Na podstawie ostrożnych szacunków dotyczących oszczędności 50 watów na jednostkę i kosztów energii elektrycznej na poziomie 0,10 dolara/kWh, obiekt może zaoszczędzić ponad 219 000 dolarów rocznie na samych bezpośrednich kosztach energii elektrycznej, co daje łącznie ponad 1 milion dolarów w ciągu pięciu lat. Dodatkowe znaczne oszczędności osiąga się dzięki zmniejszonym obciążeniom chłodniczym HVAC ze względu na niższą emisję ciepła przez silniki EC. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. maksymalizuje ten zwrot z inwestycji dzięki przewadze „pełnego łańcucha branżowego”, produkując we własnym zakresie własne, wysokowydajne silniki EC, specjalnie dla swoich FFU, zapewniając najwyższą wydajność przy konkurencyjnych kosztach początkowych.
Jako wiodący dostawca sprzętu do pomieszczeń czystych w Chinach, dysponujemy profesjonalnym zespołem sprzedaży, licznymi dostawcami, głęboką obecnością na rynku i doskonałymi kompleksowymi usługami.

SKONTAKTUJ SIĘ Z NAMI

Telefon: +86-0512-63212787-808
E-mail: nancy@shdsx.com
WhatsApp: +86- 13646258112
Dodaj: nr 18 East Tongxin Road, TaihuNew Town, dystrykt Wujiang, miasto Suzhou. Prowincja Jiangsu, Chiny

SZYBKIE LINKI

KATEGORIA PRODUKTÓW

ZAPISZ SIĘ NA NASZ NEWSLETTER

Prawa autorskie © 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO.,LTD.Wszelkie prawa zastrzeżone.| Mapa witryny