Sprzęt do czyszczenia półprzewodników trzeciej generacji (SiC, GaN) boryka się z poważnymi ograniczeniami przestrzennymi. Standardowe FFU o średnicy 250–350 mm po prostu nie mieszczą się w ograniczonym prześwicie pionowym tych zaawansowanych narzędzi. W tym artykule przedstawiono ultracienki moduł EFU firmy DSX o grubości 70 mm — zaprojektowany specjalnie z myślą o integracji sprzętu o ograniczonej przestrzeni. Dzięki całkowitej grubości roboczej wynoszącej ~100 mm, wydajności filtracji ULPA do 99,9995% (@ 0,12 μm) i produkcji obejmującej cały łańcuch dostaw, rozwiązanie to umożliwia producentom sprzętu czyszczącego maksymalizację przestrzeni wewnętrznej bez pogarszania wydajności pomieszczenia czystego.
 

Zespoły filtrów wentylatorowych (FFU) i zespoły filtrów wentylatorów sprzętowych (EFU) to podstawowe systemy przepływu powietrza stosowane w nowoczesnych pomieszczeniach czystych. Podczas gdy FFU utrzymują czystość całego środowiska pomieszczenia czystego, EFU zapewniają lokalny, ultraczysty przepływ powietrza dla określonego sprzętu produkcyjnego. W tym artykule wyjaśniono kluczowe różnice między systemami FFU i EFU, ich zastosowania w produkcji półprzewodników i elektroniki oraz sposób wyboru najbardziej odpowiedniego rozwiązania w zakresie przepływu powietrza. Wprowadza także innowacyjne, niskoprofilowe konstrukcje EFU opracowane w celu spełnienia rygorystycznych wymagań przestrzennych nowoczesnego sprzętu półprzewodnikowego.

Wprowadzenie: Zmiana paradygmatu pomieszczeń czystych w branży farmaceutycznej W produkcji farmaceutycznej stawka nie może być wyższa. Wraz z zaostrzaniem się wymogów regulacyjnych i rosnącymi oczekiwaniami dotyczącymi czystości produktów, projektowanie pomieszczeń czystych ewoluowało od podejścia uniwersalnego do bardziej dopracowanego, uwzględniającego różne zastosowania

DSX (Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.) zapewnia pionowo zintegrowane rozwiązania EFU dla przemysłu farmaceutycznego i nauk przyrodniczych. Wykorzystując nasz obiekt o powierzchni 30 000 m2 i własne silniki EC, produkujemy sterylne EFU (stal nierdzewna 304/316L), które zapewniają precyzyjną kontrolę przepływu powietrza i ścisłą zgodność z GMP w aseptycznych środowiskach przetwarzania i laboratoriach.

DSX zapewnia pionowo zintegrowane rozwiązania EFU specjalnie dla przemysłu produkcji precyzyjnej. Produkując własne silniki EC i zaawansowane filtry we własnym zakresie w naszym zakładzie o powierzchni 30 000 m2, eliminujemy mikrowibracje i zanieczyszczenia molekularne w powietrzu (AMC), zapewniając maksymalną wydajność w produkcji półprzewodników i zaawansowanych technologii.

We współczesnych badaniach naukowych osiągnięcie czystości powietrza zgodnej z normą ISO to dopiero początek. Niezależnie od tego, czy chodzi o badania i rozwój półprzewodników, biotechnologię czy metrologię precyzyjną, środowisko wewnątrz sprzętu jest tak samo krytyczne jak samo pomieszczenie czyste. W tym miejscu niezbędny staje się moduł filtra wentylatora sprzętowego (EFU).