KJEMISK FILTER
Problemet med korrosjon og luktforurensning i industrimiljø på mange fabrikker. det er ikke forårsaket av en enkelt faktor og kan ikke løses med en enkelt løsning.
SEMl-standarden F21-95 gir en metode for klassifisering av mikroelektroniske renrom med hensyn til nivåer av luftboremolekylær kontaminasjon (AMC). Dette er for gassfaseforurensninger, analogt med føderal standard 209E for partikkelforurensning. SEMstandard F21-95 klassifiserer et renrom basert på kategorien av gassfaseforurensninger, og det tillatte konsentrasjonsnivået for hver kategori.
De fire kategoriene av gassfaseforurensninger:
1. Syrer (kategori A):
Etsende gasser som reagerer kjemisk som syrer (en elektronakseptor)
2.Baser (kategori B): Etsende qasses som reagerer kjemisk som baser (en elektrondonor)
3. Kondenserbare materialer (kategori C): Forurensninger hvis kokepunkt typisk er over romtemperatur og er i stand til å kondensere på waferoverflaten.
4.Dopanter (kategori D):
Forurensninger som endrer de elektriske egenskapene til halvledermateriale.
SEMl F21-95-klassifiseringen er identifisert med bokstaven 'M', etterfulgt av kategoribetegnelsen, deretter den tillatte forurensningskonsentrasjonen delvis per trilion (ppt). Som eksempel er en klassifisering av MA-10 tolket som å ha en maksimal tillatt konsentrasjon på 10 ppt av alle sure gasser i romluften.
Klassifisering av luftbårne molekylære forurensninger
| Materialkategori |
1 ppt |
10 ppt |
100 ppt |
1000 ppt |
10 000 ppt |
| Syrer |
MA-1 |
MA-10 |
MA-100 |
MA-1000 |
MA-10 000 |
| Baser |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
MB-1000 |
MB-10 000 |
| Kondenserbare materialer |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10 000 |
| Dopingmidler |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10 000 |
'SEMLF21-95: Klassifisering av luftbårne molekylære forurensningsnivåer i rene miljøer'.1 ppb=1 000 ppt, og 1 ppm=1 000 000 ppt.
Den tillatte AMC-konsentrasjonen (luftbårne molekylære forurensninger) avhenger av renromsklassen, prosessen som brukes og utstyret som brukes.
Anslåtte AMC-grenser for 0,25 um-prosessen
| Prosess trinn |
MAX Sittetid |
MA(ppt) |
MB (ppt) |
MC (ppt) |
MD (ppt) |
| Pre-gateoksidasjon |
4 timer |
13 000 |
13 000 |
1000 |
0.1 |
| Salicidasjon |
1 timer |
180 |
13 000 |
35 000 |
1000 |
| Kontaktformasjon |
24 timer |
5 |
13 000 |
2000 |
100 000 |
| DUV-fotografi |
2 timer |
10 000 |
1000 |
100 000 |
10 000 |
Typiske forurensninger og konsentrasjoner i renrom
| Kategori |
Forurensninger |
Konsentrasjonsrangr,ppt Lav Høy |
Syrer |
Saltsyre |
20 000 |
400,000 |
| Flussyre |
40 000 |
250 000 |
| Salpetersyre |
20 000 |
250 000 |
| Svovelsyre |
10 000 |
300 000 |
| Fosforsyre |
10 000 |
400 000 |
| Eddiksyre |
10 000 |
250 000 |
| Nitrogendioksid |
30 000 |
300 000 |
| Svoveldioksid |
10 000 |
150 000 |
Baser |
Ammoniakk |
10 000 |
200 000 |
| NMP |
20 000 |
300 000 |
Kondenserbare materialer |
Aceton |
20 000 |
500 000 |
| Toluen |
10 000 |
250 000 |
Dopingmidler |
Borsyre |
ND |
200 000 |
| Fosforholdig |
ND |
5000 |
| Arsine |
ND |
50 000 |
Fire hovedteknikker for å kontrollere lukt og gassforurensninger: maskering, forbrenning, ventilering og fjerning. Mediepellets brukes til å kontrollere gassforurensninger ved adsorpsjon og oksidasjon. Kjemisk filter kan fjernes molekylære forurensninger ved å adsorbere og absorbere prinsipper.
For å rense luft ved å eliminere partikkelformig materiale, har gassformige og dampformige forbindelser Partikkelfiltre ikke effektive på uønskede gasser og damper.
Når gassformige eller flytende molekyler når overflaten av en adsorbent og forblir uten noen kjemisk reaksjon, kalles fenomenet fysisk adsorpsjon eller fysisorpsjon.
Karbonet kan impregneres med andre kjemikalier for å forbedre visse gasser med lav adsorpsjonskapasitet med ubehandlet karbon. Disse kjemikaliene reagerer med gassene for å redusere forurensningskonsentrasjonen.
En annen måte å slette spesifikke gasser på er å fange og reagere med dem. Denne prosessen kalles kjemisorpsjon.
Mange adsorptive materialer er tilgjengelige; hver av dem har spesiell affinitet for visse damper.
Overflatearealet økte når dimensjonene til karbon blir mindre. Partikkelstørrelsen kan være svært liten, selv om den bare blir til karbonstøv. Det skaper også problemer med å slippe ut i luftdampen, eller tett pakking forårsaket høyt trykkfall. Den optimale størrelsen må bestemmes ved eksperimentering.
I et molekylært forurensningssystem avhenger ikke den første effektiviteten av fjerning av forurensninger av vekt, karbonpartikkelstørrelse og karbonaktivitet. Totalt overflateareal og overflatekjemi er to viktige parametere for å bestemme initial effektivitet.
Hvis luftforurensning er svært fuktig (som på en regnværsdag), kan fuktigheten absorberes konkurrerende med målrettede forurensede gasser for karbonkapasitet, men hvis reaksjonen er ischemisorbert, kan fuktighet øke reaksjonen raskt.
Temperaturen kan også påvirke adsorpsjonshastigheten når temperaturen blir høyere. Det er vanskeligere å tiltrekke forurensninger til karbonet.
