ဓာတုစစ်ထုတ်စက်

စက်ရုံအများအပြားရှိ စက်မှုပတ်ဝန်းကျင်တွင် သံချေးတက်ခြင်းနှင့် အနံ့ဆိုးများ ညစ်ညမ်းခြင်းပြဿနာ။ အချက်တစ်ချက်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာတာမဟုတ်သလို အဖြေတစ်ခုတည်းနဲ့ ဖြေရှင်းလို့မရပါဘူး။

SEMl စံနှုန်း F21-95 သည် Airbore Molecular Contamination (AMC) အဆင့်များနှင့် စပ်လျဉ်း၍ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ် သန့်စင်ခန်းများကို အမျိုးအစားခွဲခြားသည့် နည်းလမ်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ၎င်းသည် ဓာတ်ငွေ့အဆင့် ညစ်ညမ်းစေသော၊ အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှု အတွက် ပြည်ထောင်စု စံနှုန်း 209E နှင့် ဆန့်ကျင်ဘက် ဖြစ်သည်။ SEMstandard F21-95 သည် ဓာတ်ငွေ့-အဆင့် ညစ်ညမ်းမှု အမျိုးအစားအလိုက် သန့်စင်ခန်း အမျိုးအစားနှင့် အမျိုးအစား တစ်ခုစီအတွက် ခွင့်ပြုနိုင်သော ပြင်းအား အဆင့်ကို ခွဲခြားသည်။

ဓာတ်ငွေ့အဆင့် ညစ်ညမ်းမှု အမျိုးအစား လေးမျိုး

1.Acids(အမျိုးအစား A)။

အက်ဆစ်များ (အီလက်ထရွန်နစ်လက်ခံကိရိယာ) အဖြစ် ဓာတုဗေဒအရ တုံ့ပြန်သည့် အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များ၊

2.Bases(အမျိုးအစား B): ဘေ့စ် (အီလက်ထရွန်အလှူရှင်)

3.Condensables (အမျိုးအစား C): ပုံမှန်အားဖြင့် အခန်းအပူချိန်ထက် ပွက်ပွက်ဆူနေသော ညစ်ညမ်းသည့်အရာများဖြစ်ပြီး wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ငွေ့ရည်ဖွဲ့နိုင်စွမ်းရှိသည်။

4.Dopants (အမျိုးအစား D):

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်း၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို ပြုပြင်ပေးသော ညစ်ညမ်းမှုများ။

SEMl F21-95 အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်းကို အမျိုးအစားသတ်မှတ်သူမှ နောက်တွင် အမျိုးအစားသတ်မှတ်ပေးပြီးနောက်၊ ထို့နောက် trilion(ppt) တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းအတွက် ခွင့်ပြုနိုင်သော ညစ်ညမ်းစေသော အာရုံစူးစိုက်မှုအား Folexample၊ MA-10is ၏ အမျိုးအစားခွဲခြင်းသည် အများဆုံးခွင့်ပြုနိုင်သော အာရုံစူးစိုက်မှု 10 ppt ရှိသည့် အခန်းတွင်းရှိ အက်ဆစ်ဓာတ်ငွေ့များဖြစ်သည်။

Airborne Molecular Contaminants အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်း။

ပစ္စည်းအမျိုးအစား	1 ppt	10 ppt	100 ppt	1,000 ppt	10,000 ppt
အက်ဆစ်	MA-1	MA-10	MA-100	MA-1000	MA-10,000
ခြေစွပ်	MB-1	MB-10	MB-100	MB-1000	MB-10,000
Condensables များ	MC-1	MC-10	MC-100	MC-1000	MC-10,000
Dopants	MD-1	MD-10	MD-100	MD-1000	MD-10,000

'SEMlF21-95-သန့်ရှင်းသောပတ်ဝန်းကျင်ရှိ လေထုညစ်ညမ်းမှုအဆင့်များကို အမျိုးအစားခွဲခြားခြင်း'1 ppb=1,000 ppt၊ နှင့် 1ppm=1,000,000 ppt။

ခွင့်ပြုနိုင်သော AMC (လေထုမှ မော်လီကျူး ညစ်ညမ်းစေသော) အာရုံစူးစိုက်မှုသည် သန့်စင်ခန်း၏ အတန်းအစား၊ အသုံးပြုသည့် လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် အသုံးပြုသည့် စက်ကိရိယာများပေါ်တွင် မူတည်သည်။

0.25 အွမ် လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ခန့်မှန်းထားသော AMC ကန့်သတ်ချက်များ

လုပ်ငန်းစဉ် အဆင့်	MAX ထိုင်ချိန်	MA(ppt)	MB (ppt)	MC (ppt)	MD (ppt)
Pre-gateoxidation	၄ နာရီ	၁၃၀၀၀	၁၃၀၀၀	၁၀၀၀	0.1
salicidation	၁ နာရီ	180	၁၃၀၀၀	၃၅၀၀၀	၁၀၀၀
ဆက်သွယ်ဖွဲ့စည်းခြင်း။	၂၄ နာရီ	5	၁၃၀၀၀	၂၀၀၀	100,000
DUV ဓာတ်ပုံရိုက်ခြင်း။	၂ နာရီ	၁၀၀၀၀	၁၀၀၀	100,000	၁၀၀၀၀

သန့်စင်ခန်းရှိ ပုံမှန်ညစ်ညမ်းမှုနှင့် အာရုံစူးစိုက်မှု

အမျိုးအစား	ညစ်ညမ်းမှု	အာရုံစူးစိုက်မှု ppt၊                   အနိမ့်အမြင့်
အက်ဆစ်	Hydrochloric Acid	၂၀၀၀၀	400,000
	Hydrofluoric အက်ဆစ်	၄၀၀၀၀	250,000
	နိုက်ထရစ်အက်ဆစ်	၂၀၀၀၀	250,000
	ဆာလဖျူရစ်အက်ဆစ်	၁၀၀၀၀	300,000
	ဖော့စဖရစ်အက်ဆစ်	၁၀၀၀၀	400,000
	အက်ဆစ်အက်ဆစ်	၁၀၀၀၀	250,000
	နိုက်ထရိုဂျင်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်	၃၀၀၀၀	300,000
	ဆာလဖာဒိုင်အောက်ဆိုဒ်	၁၀၀၀၀	150,000
ခြေစွပ်	အမိုးနီးယား	၁၀၀၀၀	200,000
	NMP	၂၀၀၀၀	300,000
Condensables များ	Acetone	၂၀၀၀၀	500,000
	Toluene	၁၀၀၀၀	250,000
Dopants	ဘောရစ်အက်ဆစ်	ND	200,000
	Phosphor များ	ND	၅၀၀၀
	အာစင်	ND	၅၀၀၀၀

အနံ့နှင့် ဓာတ်ငွေ့ညစ်ညမ်းမှုကို ထိန်းချုပ်ရန် အဓိကနည်းပညာ လေးခု- မျက်နှာဖုံးစွပ်၊ လောင်ကျွမ်းခြင်း၊ ။ လေဝင်လေထွက်နှင့် ဖယ်ရှားခြင်း။ မီဒီယာအမှုန့်များကို စုပ်ယူခြင်းနှင့် ဓာတ်တိုးခြင်းတို့ဖြင့် ထိန်းချုပ်ရန် အသုံးပြုသည်။ ဓာတုဇကာများကို စုပ်ယူခြင်းနှင့် စုပ်ယူခြင်းဆိုင်ရာ အခြေခံမူများဖြင့် မော်လီကျူးညစ်ညမ်းမှုများကို ဖယ်ရှားနိုင်သည်။

အမှုန်အမွှားပစ္စည်းများကို ဖယ်ထုတ်ခြင်းဖြင့် လေကို သန့်စင်စေရန်၊ ဓာတ်ငွေ့နှင့် အငွေ့ပျံသော ဒြပ်ပေါင်းများကို အမှုန်အမွှားထုတ်သည့် စစ်ထုတ်မှုများသည် မလိုလားအပ်သော ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အခိုးအငွေ့များပေါ်တွင် ထိရောက်မှု မရှိပေ။

ဓာတ်ငွေ့ သို့မဟုတ် အရည်မော်လီကျူးများသည် စုပ်ယူမှုတစ်ခု၏ မျက်နှာပြင်သို့ ရောက်ရှိပြီး ဓာတုတုံ့ပြန်မှုမရှိဘဲ ကျန်ရှိနေသည့်အခါ ယင်းဖြစ်စဉ်ကို ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ စုပ်ယူမှု သို့မဟုတ် ရူပဓာတ်စုပ်ယူမှုဟုခေါ်သည်။

ကာဗွန်ကို မကုသရသေးသော ကာဗွန်ဖြင့် အချို့သော ဓာတ်ငွေ့များ စုပ်ယူနိုင်စွမ်း နိမ့်ပါးလာစေရန်အတွက် ကာဗွန်ကို အခြားသော ဓာတုပစ္စည်းများဖြင့် ရောနှောထားနိုင်သည်။ ဤဓာတုပစ္စည်းများသည် ညစ်ညမ်းသော အာရုံစူးစိုက်မှုကို လျှော့ချရန်အတွက် ဓာတ်ငွေ့များနှင့် တုံ့ပြန်သည်။

သီးခြားဓာတ်ငွေ့များကို ဖျက်ပစ်ရန် အခြားနည်းလမ်းမှာ ၎င်းတို့နှင့် ဖမ်းကာ တုံ့ပြန်ခြင်းဖြစ်သည်။ ဤဖြစ်စဉ်ကို ဓာတုဓာတ်စုပ်ယူမှုဟုခေါ်သည်။

စုပ်ယူနိုင်သောပစ္စည်းများအများအပြားရရှိနိုင်သည်၊ ၎င်းတို့တစ်ခုစီသည် အချို့သောအငွေ့များအတွက် အထူးရင်းနှီးမှုရှိသည်။

ကာဗွန်ပမာဏများ သေးငယ်လာသောအခါတွင် မျက်နှာပြင်ဧရိယာ တိုးလာပါသည်။ အမှုန်အမွှားများသည် ကာဗွန်ဖုန်မှုန့်များ ဖြစ်သွားသော်လည်း အလွန်သေးငယ်သွားနိုင်သည်။ အသင့်တော်ဆုံးအရွယ်အစားကို စမ်းသပ်မှုဖြင့် ဆုံးဖြတ်ရပါမည်။

မော်လီကျူးညစ်ညမ်းမှုစနစ်တွင်၊ ကနဦးညစ်ညမ်းမှုကို ဖယ်ရှားခြင်း၏ထိရောက်မှုသည် အလေးချိန်၊ ကာဗွန်အမှုန်အမွှားအရွယ်အစားနှင့် ကာဗွန်လှုပ်ရှားမှုအပေါ် မမူတည်ပါ၊ စုစုပေါင်း မျက်နှာပြင်ဧရိယာနှင့် မျက်နှာပြင်ဓာတုဗေဒသည် ကနဦးထိရောက်မှုကို ဆုံးဖြတ်ရန်အတွက် အရေးကြီးသောဘောင်နှစ်ခုဖြစ်သည်။

လေထုညစ်ညမ်းမှုသည် အလွန်စိုစွတ်နေပါက (မိုးရွာသောနေ့ကဲ့သို့) အစိုဓာတ်ကို ကာဗွန်စွမ်းရည်အတွက် ပစ်မှတ်ထားသော ညစ်ညမ်းသောဓာတ်ငွေ့များဖြင့် အပြိုင်အဆိုင်စုပ်ယူနိုင်သော်လည်း တုံ့ပြန်မှု ischemisored ဖြစ်ပါက အစိုဓာတ်သည် တုံ့ပြန်မှု လျင်မြန်စွာတိုးလာနိုင်သည်။

အပူချိန် ပိုမြင့်လာသောအခါတွင် အပူချိန်သည် စုပ်ယူမှုနှုန်းကို ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ ၎င်းသည် ညစ်ညမ်းနေသော ကာဗွန်ကို ဆွဲဆောင်ရန် ခက်ခဲသည်။