Airborne Molecular Contamination (AMC) သည် အဆင့်မြင့် wafer ထုတ်လုပ်မှု လမ်းကြောင်းများ (sub-10nm) တွင် အထွက်နှုန်းကို ပြင်းထန်စွာ ခြိမ်းခြောက်လျက်ရှိပြီး သတ္တုချေးတက်ခြင်း (အက်ဆစ်များမှ) နှင့် photoresist 'T-topping' (bases/amines) ကဲ့သို့သော ချို့ယွင်းချက်များကို ဖြစ်စေသည်။ ထိရောက်သောထိန်းချုပ်မှုသည် မျက်နှာကျက်ပန်ကာ Filter Units (FFUs) တွင် အထူးပြုဓာတုစစ်ထုတ်မှုများကို ပေါင်းစည်းရန် လိုအပ်သည်။ ဤလမ်းညွှန်ချက်သည် ပစ်မှတ်ညစ်ညမ်းသောအမျိုးအစားအလိုက် စစ်ထုတ်မှုများကို အမျိုးအစားခွဲသည်- အက်ဆစ်အတွက် MA စီးရီး (SOx၊ HCl)၊ အခြေခံများ/အမင်းအတွက် MB စီးရီး (NH3၊ lithography အတွက် အရေးကြီးသော) နှင့် အော်ဂဲနစ်များ/VOCများအတွက် MV စီးရီးများ။ အရေးကြီးသောစိန်ခေါ်မှုမှာ ဓာတုစစ်ထုတ်မှုများသည် သိသာထင်ရှားသောခံနိုင်ရည် (static pressure) ကို ပေါင်းထည့်ခြင်းဖြစ်သည်။ Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. သည် ၎င်း၏ကိုယ်ပိုင် ရုန်းအားမြင့်မားသော EC/AC မော်တာများထုတ်လုပ်ရန်အတွက် နှစ်ပေါင်း 20 ကျော်စက်မှုလုပ်ငန်းကွင်းဆက်အတွေ့အကြုံကို အသုံးချခြင်းဖြင့် ၎င်းကိုဖြေရှင်းပေးပါသည်။ Deshengxin အင်ဂျင်နီယာများသည် သိပ်သည်းလှသော ဓာတုစစ်ထုတ်မှုမီဒီယာကို တင်ဆောင်သည့်တိုင် လိုအပ်သော လေ၀င်လေထွက်အလျင်ကို ထိန်းသိမ်းရန် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော တည်ငြိမ်သောဖိအားမြင့် FFUs များဖြစ်သည်။

ဤဆန်းစစ်ချက်သည် အကြီးစား semiconductor Fabs တွင် AC နှင့် EC Fan Filter Units (FFUs) ၏ 5 နှစ်လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို နှိုင်းယှဉ်ပါသည်။ 5,000 FFU များကို စဉ်ဆက်မပြတ်လည်ပတ်နေသည့် ကိုယ်စားလှယ်တစ်ဦးအတွက်၊ သမားရိုးကျ AC မော်တာများမှ ခေတ်မီပြီး ထိရောက်မှုမြင့်မားသော EC (Electronically Commutated) နည်းပညာသို့ ပြောင်းလဲခြင်းသည် သိသိသာသာ သက်သာစေပါသည်။ တစ်ယူနစ်လျှင် 50 watt ချွေတာရေး နှင့် လျှပ်စစ်ကုန်ကျစရိတ် $0.10/kWh ၏ ရှေးရိုးစွဲ ခန့်မှန်းချက်များအပေါ် အခြေခံ၍ စက်ရုံသည် ငါးနှစ်အတွင်း တိုက်ရိုက်လျှပ်စစ်ကုန်ကျစရိတ်သက်သက်သာသာဖြင့် နှစ်စဉ် $219,000 ကျော် သက်သာပါသည်။ EC မော်တာများ၏ အပူထုတ်လွှတ်မှု နည်းပါးခြင်းကြောင့် HVAC အအေးခံဝန်များ လျှော့ချခြင်းဖြင့် နောက်ထပ် သိသာထင်ရှားသော ခြွေတာမှုကို ရရှိသည်။ Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. သည် ၎င်း၏ 'စက်မှုလုပ်ငန်းကွင်းဆက်' အပြည့်အ၀ အားသာချက်ဖြင့် ၎င်း၏ FFU များအတွက် သီးသန့်စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် EC မော်တာများကို ထုတ်လုပ်ကာ ထိပ်တန်းအဆင့် ထိရောက်မှုကို အာမခံချက်ပေးကာ ပြိုင်ဆိုင်မှုပြင်းထန်သည့် ကုန်ကျစရိတ်ဖြင့် ထိပ်တန်းအဆင့်ထိရောက်မှုကို အာမခံပါသည်။

H1- Room-Side Replaceable (RSR) FFU- Zero-Downtime Cleanroom Maintenance အတွက် အကောင်းဆုံးဖြေရှင်းချက် 引言：ဆေးဝါးဓာတ်ခွဲခန်းများနှင့် အဆင့်မြင့် semiconductor fabs များကဲ့သို့ အရေးကြီးသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ စက်ရပ်ခြင်းသည် ကုန်ထုတ်စွမ်းအား၏ရန်သူဖြစ်သည်။ Room-side replaceable (RSR) FFU သည် en ၏ရွှေစံနှုန်းဖြစ်လာသည်။

ဤလမ်းညွှန်ချက်သည် FFU အမျိုးအစားခွဲခြားမှု၊ အသုံးချမှုများနှင့် ရွေးချယ်မှုစံနှုန်းများကို အသေးစိတ်ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာပေးထားပြီး၊ DeshengXin ၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် လေသန့်နည်းပညာဆိုင်ရာ အရည်အသွေးအတွက် DeshengXin ၏ကတိကဝတ်ကို အလေးပေးထားသည်။

ဤလမ်းညွှန်ချက်၏ အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍကို အသေးစိတ်ဖော်ပြထားသည်။ တည်ငြိမ်မှုဆန့်ကျင်သည့် FFU များ ၊ စိတ်ကြိုက်ရွေးချယ်စရာများ၊ လိုက်နာမှုစံချိန်စံညွှန်းများနှင့် သန့်စင်ခန်းဘေးကင်းမှုနှင့် ထိရောက်မှုကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ အကောင်းဆုံးအလေ့အကျင့်များကို မီးမောင်းထိုးပြခြင်း။ နည်းပညာမြင့်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင်

FFU အရေအတွက်တွက်ချက်နည်းနှင့် Deshengxin နည်းပညာပံ့ပိုးမှု ၁။ Fan Filter Unit အတွက် ရပ်တည်နေသည့် FFUFFU ၏ အဓိပ္ပာယ်ဖွင့်ဆိုချက်နှင့် ရည်ရွယ်ချက်မှာ မော်ဂျူလာ၊ ကိုယ်တိုင်စွမ်းအင်သုံး၍ အလွန်ထိရောက်သော လေသန့်စင်သည့်ကိရိယာဖြစ်သည်။ သန့်ရှင်းပြီး တည်ငြိမ်သောလေကို ပေးဆောင်ရန် သန့်ရှင်းသောအခန်းများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြပြီး သန့်ရှင်းမှုသေချာစေပါသည်။