-
Хагас дамжуулагч багаж хэрэгсэл болон цэвэр өрөөний модульчлагдсан загварууд улам нягт болж байгаа тул уламжлалт сэнс шүүлтүүрийн нэгжүүд нь тоног төхөөрөмжийг нэгтгэх (EFU програмууд) үед өндрийн цэвэрлэгээний бэрхшээлтэй тулгардаг. Энэ нийтлэлд DSX Ultra Thin FFU платформыг танилцуулж байгаа бөгөөд энэ нь 70 мм-ийн гүний профайлыг бага зайтай тааз, жижиг орчин, багаж хэрэгсэлд суурилуулсан шүүлтүүрт зориулагдсан болно. Хэлэлцүүлэгт DSX-ийн босоо нэгдсэн хөдөлгүүр ба хяналтын системийн хөгжил нь агаарын урсгалын жигд байдал, урт хугацааны найдвартай байдлыг алдагдуулахгүйгээр хэлбэрийг багасгах боломжийг олгодог. Хэрэглээний хувилбарууд нь босоо орон зайн миллиметр бүр чухал байдаг өрссөн хавтан боловсруулах EFEM, нөөцлөлтийн шинэчлэл, дэвшилтэт нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн модулиуд орно.
-
Хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн хувьд бичил харуурын бохирдол нь ваферын уналтын алдагдалтай шууд хамааралтай байдаг. Энэ нийтлэл нь цэвэр өрөөний дизайн дахь агаарын урсгалын жигд байдлыг хангах инженерийн сорилт, ялангуяа үймээн самуун, бөөмс хуримтлагдах эрсдлийг авч үздэг. Энэ нь DSX (Wujiang Deshengxin) нь хувийн моторын технологи, тохируулсан хяналтын алгоритмуудыг агуулсан босоо нэгдсэн FFU үйлдвэрлэлээр дамжуулан эдгээр асуудлыг хэрхэн шийдэж байгааг дэлгэрэнгүй харуулав. Стандарт каталогийн нэгжүүдээс ялгаатай нь DSX FFU системүүд нь литограф, сийлбэр, хэмжилзүйн орчны хэт тогтвортой байдал, 24/7 ашиглалтын шаардлагад нийцүүлэн бүтээгдсэн.
-
Тогтвортой, жигд агаарын урсгалыг бий болгохын тулд хагас дамжуулагч цэвэр өрөөнд FFU системийг хэрхэн ашигладаг талаар энэ нийтлэлд тайлбарласан болно. Загварын үндсэн зарчмууд, агаарын урсгалын нийтлэг асуудлууд, DSX-ийн захиалгат FFU шийдлүүд нь цэвэр өрөөний гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн найдвартай байдлыг хэрхэн сайжруулдаг талаар олж мэдээрэй.
-
Стандарт FFU (200-300 мм өндөр) нь бага зайтай орон зай, тоног төхөөрөмжийг нэгтгэхтэй тэмцдэг. DSX 70 мм-ийн хэт нимгэн FFU нь моторыг жижигрүүлэх, агаарын урсгалын оновчтой дизайн, дотоод хяналтын системээр дамжуулан үүнийг шийдэж, тогтвортой хурд, жигд агаарын хуваарилалт, 70 мм-ийн өндөрт тохируулж болох өндөр агаарын урсгалыг бий болгодог. Хагас дамжуулагч багажны дээд хэсэг, литийн батерей үйлдвэрлэх шугам, нам таазтай засварын ажилд маш тохиромжтой. Энэ нь энгийн хэмжээг багасгах биш харин HEPA/ULPA, өөрчлөн агаарын урсгал болон хяналтын интеграцийг дэмждэг EFU (Төхөөрөмжийн сэнс шүүлтүүрийн нэгж) хэрэглээнд зориулагдсан инженерийн шийдэл юм. Мотор, бүтэц, шүүлтүүрийн бүрэн хүчин чадал бүхий ханган нийлүүлэгчийг сонгох нь урт хугацааны найдвартай байдал, тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.
-
Агаарын урсгалын дизайн нь хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний орчинд хамгийн чухал элементүүдийн нэг юм. Агаарын урсгалын зөв менежмент нь тоосонцрын тогтвортой хяналтыг баталгаажуулж, үйлдвэрлэлийн эмзэг процессыг хамгаалж, цэвэр байдлын стандартыг чанд мөрддөг. Энэ нийтлэлд цэвэр өрөөний агаарын урсгалын дизайны гол зарчмуудыг тайлбарласан болно, үүнд ламинар агаарын урсгалын систем, FFU байршлын стратеги, агаарын урсгалын хурдыг хянах, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн байгууламж дахь бохирдлын менежмент.
-
Фотолитографийн хувьд үл үзэгдэх бичил чичиргээ хүртэл хэв маягийг бүдгэрүүлж, ургац алдахад хүргэдэг. Энэхүү техникийн гарын авлага нь FFUFAN нь чичиргээний түвшинг 0.5 мм/с (RMS) -аас доош түвшинд хэрхэн хүрдэгийг тайлбарладаг. Бид динамик тэнцвэртэй сэнс, цочрол шингээгч моторын бэхэлгээ, ISO 1-р ангиллын литографийн бүсэд тохирсон хатуу бүтцийн дизайн зэрэг инженерийн арга барилаа судалж байна.