Хагас дамжуулагч ба электроникийн нэг цэгийн цэвэр өрөөний тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч

半导体制造

Бичил электроникийн үйлдвэрлэлийн чухал сорилтуудыг шийдвэрлэх

Ургацын алдагдал: Агаар дахь тоосонцор нь вафельний ургацын №1 дайсан юм. Бид ISO 1-р зэрэглэлийн шүүлтүүрийг санал болгож байна.
Чичиргээнд мэдрэмтгий: Уламжлалт фэнүүд чичиргээ үүсгэж, нарийн литографийг гэмтээдэг. Манай тэнцвэртэй мотор нь хэт бага чичиргээг хангадаг.
ТХБ-ын эрсдэл: Статик цахилгаан нь чипийг устгадаг. Бид бүх тоног төхөөрөмжийг антистатик (ESD) будаг, материалаар хангадаг.
 
 

Хагас дамжуулагчийн цэвэр өрөөний агаарын шийдэл: Өрөөнд зориулсан FFU & EFU | FFUFAN

FFU-ийн хэт бага чичиргээ, AMC-гүй шүүлтүүрийн системээр өрөвсний гарцыг нэмэгдүүлээрэй. Бид фотолитографи, сийлбэр, нимгэн хальсан процесст тусгайлан зориулсан ISO 1-р ангиллын цэвэр өрөөний шийдлүүдийг санал болгож байна.

Бүс бүрт зориулсан иж бүрэн тоног төхөөрөмж
Таазны сүлжээ ба агаарын эргэлтийн систем
 
Яагаад Дэшэншин гэж?
  • Ухаалаг удирдлага: Их хэмжээний бүлгийн хяналтын чадвар (10,000+ зангилааг хянах).
  • Аэродинамик: Сэнс болон мотор нь чичиргээ багатай байхаар дотооддоо тохируулагдсан байдаг (литографийн хувьд чухал).
 
HVAC & Урьдчилан шүүлтүүрийн систем
 

Яагаад Дэшэншин гэж?

  • Бүрэн хэмжээний хангамж: Бид G3-ээс U17 хүртэлх шүүлтүүрийн спектрийг бүхэлд нь үйлдвэрлэж, нийцтэй байдал, засвар үйлчилгээний худалдан авалтыг нэг дороос хангадаг.
 
Боловсон хүчин ба материалын хувцасны бүртгэл
 

Яагаад Дэшэншин гэж?

  • Төгс тохирох тохируулга: Хувцасны өрөөний зохион байгуулалт бүр өөр өөр байдаг. Эх сурвалж үйлдвэрлэгчийн хувьд бид тулд Агаар шүршүүр болон хувцасны шүүгээний хэмжээсийг тохируулж  таны орон зайн ашиглалтыг нэмэгдүүлэхийн , ажилтнуудад саадгүй урсгалыг хангадаг.
  • Хэрэглэгч төвтэй дизайн: Агаар шүршүүрт орох эхлээд  ухаалаг дуут зааварчилгаанаас  эргономик шүүгээний зохион байгуулалт хүртэл манай тоног төхөөрөмж нь хувцас солих үйл явцыг оновчтой болгож, ажилтнуудын орох хугацааг багасгаж, алдааны хэмжээг багасгахад зориулагдсан.
 
Үйлдвэрлэлийн шугам & Орон нутгийн ТХБ-ын хяналт
 

 Яагаад Дэшэншин гэж?

  •  Нэгдсэн орон нутгийн хамгаалалт:  Бид бичил орчны хяналтын иж бүрэн хэрэгслийг санал болгож байна.
  •  Статик хяналт:  Манай  ионжуулагч FFU  нь стандарт сэнс шүүлтүүрээс ялгаатай нь ESD эрсдлийг эх үүсвэр дээр нь саармагжуулах зорилготой юм.
  • Олон талт хаалтууд: Танд хэрэгтэй эсэхээс үл хамааран  цэвэр вандан сандал эсвэл том тоног төхөөрөмжид  угсрах зориулалттай  модульчлагдсан лангуу (акрил/ган/PVC)  бид бүхэл бүтэн орон сууц, шүүлтүүрийн системийг үйлдвэрлэдэг.
  • Төгс тохирох: Бид агаарын урсгалын чиглэл (Босоо/Хэвтээ) болон хэмжээсийг таны тодорхой процесст тохируулан тохируулж, таны үйлдвэрлэлийн шугамын инч бүрийг хамгаална.

 

 
Яагаад жинхэнэ үйлдвэрлэгч, ассемблерийг сонгох вэ?
 
Онцлог Дэшэншин (Эх үүсвэрийн үйлдвэр) Жирийн угсрагч нар
Үндсэн мотор Өөрөө үйлдвэрлэсэн (Байшиндаа)   Хамгийн сайн аэродинамикийн хувьд тохируулсан. Гаднаас авсан   Ерөнхий мотор, таарахгүй байх эрсдэлтэй.
Бүтээгдэхүүний хүрээ Аж үйлдвэрийн бүрэн сүлжээ  FFU, Агаарын шүршүүр, шүүлтүүр, хуудас металл. Хязгаарлагдмал / Холимог   Худалдан авах шүүлтүүрүүд энд, фенүүд нь тэнд.
Зардлын хяналт Үйлдвэрийн шууд үнэ   Зуучлагчийн үнийн дүн байхгүй. илүү өндөр үнэ нэмэгдсэн.  Нийлүүлэгчээс
Хүргэлтийн хугацаа Хурдан ба хяналттай   Бид түүхий эдийг хянадаг. Тодорхой бус   Дэд ханган нийлүүлэгчдээсээ хамааралтай.
Борлуулалтын дараах Насан туршийн техникийн дэмжлэг   Бид машинынхаа шураг бүрийг мэддэг. Удаан хариу өгөх   Анхны үйлдвэрүүдтэй холбоо барих шаардлагатай.
 
Эмзэг орчинд зориулсан нарийн хяналт
 
1. Их хэмжээний масштабын чадвар ба тогтвортой байдал
Бат бөх харилцаа холбооны протоколууд (Modbus/TCP/IP) дээр суурилагдсан манай систем нь 10,000+ зангилааны тогтвортой сүлжээг дэмждэг. Жижиг лаборатори эсвэл мега-фабын хувьд систем нь дохионы хоцрогдолгүйгээр тасралтгүй өргөждөг.
2. Дүрслэгдсэн байршлын зураглал
Нарийн төвөгтэй кодуудтай баяртай гэж хэлээрэй. Бид таны цэвэр өрөөний таазны сүлжээг программ хангамжид оруулж, визуал газрын зураг үүсгэдэг. Та FFU-ийн тодорхой байршил бүрийн статусыг (асаах/унтраах/хурд) дэлгэц дээр шууд шалгаж болно.
3. Агаарын урсгал ба эрчим хүчний нарийн менежмент
Үйл ажиллагааны хэмнэлтийг нээнэ. Та бүсийн хяналтын стратеги (жишээ нь, 'Үйлдвэрлэлийн горим' ба 'Шөнийн/ Зогсоолын горим' гэх мэт) тохируулж, ажлын бус цагаар RPM-ийг багасгаж, цахилгааны зардлыг эрс багасгаж болно.
4. Ухаалаг алдааны оношилгоо Засвар
үйлчилгээг хялбар болгосон. Хэрэв нэг FFU амжилтгүй болвол систем нь шуурхай дохиолол өгч, газрын зураг дээрх координатыг яг тодорхой зааж өгдөг. Энэ нь гараар шалгахыг арилгаж, зогсолтыг эрс багасгадаг.
5. Тохируулж болох Localized Interface
Global бэлэн. Бид эх кодыг дотооддоо боловсруулдаг тул програм хангамжийн интерфейсийг таны дотоод хэлээр тохируулах боломжтой. Энэ нь таны газар дээрх операторууд системийг зөн совингоор удирдаж, хэлний бэрхшээлийг арилгаж, үйлдлийн алдааг багасгах боломжийг олгодог.
Ухаалаг бүлгийн хяналтын систем
удирдахад хялбар байдаг. 10,000+ FFU Deshengxin-ийн тусламжтайгаар томоохон үйлдвэрт Манай өмчийн хяналтын систем нь нэг компьютер эсвэл гар утасны терминалаас бодит цагийн хяналт, алдааны дохиолол, хурдыг тохируулах боломжийг олгодог.
Цэвэрлэгээний өрөөний 'Зүрх'
Манай дотоод EC/DC моторууд нь 40,000+ цаг тасралтгүй ажиллах туршигдсан бөгөөд уламжлалт хувьсах гүйдлийн мотортой харьцуулахад эрчим хүчийг 30% хэмнэж, 24/7 хагас дамжуулагч үйлдвэрүүдийн зардлыг асар их хэмжээгээр бууруулдаг.
Техникийн үзүүлэлтүүд: Хагас дамжуулагчийн зэрэглэл ба Стандарт FFU
 
Онцлог  Стандарт FFU DSX FFU хагас дамжуулагчийн зэрэг
Хэвлэл мэдээллийн шүүлтүүр Шилэн шилэн PTFE / ULPA (U15-U17)
Хийг гадагшлуулах Стандарт түвшин Борын агууламж багатай / хий ялгаруулахгүй материал
Чичиргээ < 1.0 мм/с < 0.5 мм/с (Динамик тэнцвэртэй)
Хяналтын систем Гарын авлагын хурдны хяналт Modbus/TCP ухаалаг бүлгийн удирдлага
Өргөдөл Ерөнхий аж үйлдвэр Вафер фаб, савлагаа, туршилт

ISO ангиллын цэвэр өрөө барихад бэлэн үү?
Шинэ үйлдвэр байгуулахад нэг удаагийн агаар шүршүүр эсвэл 10,000 FFU шаардлагатай эсэхээс үл хамааран Deshengxin бол таны найдвартай түнш юм.


 
 Хагас дамжуулагч цэвэрлэх өрөөнд зориулсан нийтлэг асуултууд
 
  • Хагас дамжуулагч багаж хэрэгсэл болон цэвэр өрөөний модульчлагдсан загварууд улам нягт болж байгаа тул уламжлалт сэнс шүүлтүүрийн нэгжүүд нь тоног төхөөрөмжийг нэгтгэх (EFU програмууд) үед өндрийн цэвэрлэгээний бэрхшээлтэй тулгардаг. Энэ нийтлэлд DSX Ultra Thin FFU платформыг танилцуулж байгаа бөгөөд энэ нь 70 мм-ийн гүний профайлыг бага зайтай тааз, жижиг орчин, багаж хэрэгсэлд суурилуулсан шүүлтүүрт зориулагдсан болно. Хэлэлцүүлэгт DSX-ийн босоо нэгдсэн хөдөлгүүр ба хяналтын системийн хөгжил нь агаарын урсгалын жигд байдал, урт хугацааны найдвартай байдлыг алдагдуулахгүйгээр хэлбэрийг багасгах боломжийг олгодог. Хэрэглээний хувилбарууд нь босоо орон зайн миллиметр бүр чухал байдаг өрссөн хавтан боловсруулах EFEM, нөөцлөлтийн шинэчлэл, дэвшилтэт нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн модулиуд орно.
  • Хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн хувьд бичил харуурын бохирдол нь ваферын уналтын алдагдалтай шууд хамааралтай байдаг. Энэ нийтлэл нь цэвэр өрөөний дизайн дахь агаарын урсгалын жигд байдлыг хангах инженерийн сорилт, ялангуяа үймээн самуун, бөөмс хуримтлагдах эрсдлийг авч үздэг. Энэ нь DSX (Wujiang Deshengxin) нь хувийн моторын технологи, тохируулсан хяналтын алгоритмуудыг агуулсан босоо нэгдсэн FFU үйлдвэрлэлээр дамжуулан эдгээр асуудлыг хэрхэн шийдэж байгааг дэлгэрэнгүй харуулав. Стандарт каталогийн нэгжүүдээс ялгаатай нь DSX FFU системүүд нь литограф, сийлбэр, хэмжилзүйн орчны хэт тогтвортой байдал, 24/7 ашиглалтын шаардлагад нийцүүлэн бүтээгдсэн.
  • Тогтвортой, жигд агаарын урсгалыг бий болгохын тулд хагас дамжуулагч цэвэр өрөөнд FFU системийг хэрхэн ашигладаг талаар энэ нийтлэлд тайлбарласан болно. Загварын үндсэн зарчмууд, агаарын урсгалын нийтлэг асуудлууд, DSX-ийн захиалгат FFU шийдлүүд нь цэвэр өрөөний гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн найдвартай байдлыг хэрхэн сайжруулдаг талаар олж мэдээрэй.
  • Стандарт FFU (200-300 мм өндөр) нь бага зайтай орон зай, тоног төхөөрөмжийг нэгтгэхтэй тэмцдэг. DSX 70 мм-ийн хэт нимгэн FFU нь моторыг жижигрүүлэх, агаарын урсгалын оновчтой дизайн, дотоод хяналтын системээр дамжуулан үүнийг шийдэж, тогтвортой хурд, жигд агаарын хуваарилалт, 70 мм-ийн өндөрт тохируулж болох өндөр агаарын урсгалыг бий болгодог. Хагас дамжуулагч багажны дээд хэсэг, литийн батерей үйлдвэрлэх шугам, нам таазтай засварын ажилд маш тохиромжтой. Энэ нь энгийн хэмжээг багасгах биш харин HEPA/ULPA, өөрчлөн агаарын урсгал болон хяналтын интеграцийг дэмждэг EFU (Төхөөрөмжийн сэнс шүүлтүүрийн нэгж) хэрэглээнд зориулагдсан инженерийн шийдэл юм. Мотор, бүтэц, шүүлтүүрийн бүрэн хүчин чадал бүхий ханган нийлүүлэгчийг сонгох нь урт хугацааны найдвартай байдал, тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулдаг.
  • Агаарын урсгалын дизайн нь хагас дамжуулагч цэвэр өрөөний орчинд хамгийн чухал элементүүдийн нэг юм. Агаарын урсгалын зөв менежмент нь тоосонцрын тогтвортой хяналтыг баталгаажуулж, үйлдвэрлэлийн эмзэг процессыг хамгаалж, цэвэр байдлын стандартыг чанд мөрддөг. Энэ нийтлэлд цэвэр өрөөний агаарын урсгалын дизайны гол зарчмуудыг тайлбарласан болно, үүнд ламинар агаарын урсгалын систем, FFU байршлын стратеги, агаарын урсгалын хурдыг хянах, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн байгууламж дахь бохирдлын менежмент.
  • Фотолитографийн хувьд үл үзэгдэх бичил чичиргээ хүртэл хэв маягийг бүдгэрүүлж, ургац алдахад хүргэдэг. Энэхүү техникийн гарын авлага нь FFUFAN нь чичиргээний түвшинг 0.5 мм/с (RMS) -аас доош түвшинд хэрхэн хүрдэгийг тайлбарладаг. Бид динамик тэнцвэртэй сэнс, цочрол шингээгч моторын бэхэлгээ, ISO 1-р ангиллын литографийн бүсэд тохирсон хатуу бүтцийн дизайн зэрэг инженерийн арга барилаа судалж байна.
  • Нийт 3 хуудас Хуудас руу очно уу
  • Яв
 
Техникийн нийтлэлүүд
  • Цэвэр өрөөнд HEPA эсвэл ULPA шүүлтүүрийг солих хамгийн оновчтой хугацааг тодорхойлохдоо хуанлийн хуваарь дээр үндэслэхгүй, харин даралтын зөрүүг ашиглан нөхцөл байдалд суурилсан хяналт (Паскаль, Па-аар хэмжсэн) байх ёстой. Шүүлтүүрийг хэт эрт солих нь төсөв зарцуулж, оройтож солих нь агаарын урсгалын хурд болон үйлдвэрлэлийн гарцыг алдагдуулдаг. Стандарт журам нь шинэ шүүлтүүрийг зохих агаарын урсгалаар (жишээ нь, 0.45 м/с) суурилуулах үед 'анхны эсэргүүцэл' (даралтын уналт) бүртгэх явдал юм. Шүүлтүүрийг ерөнхийдөө даралтын зөрүү нь анхны эсэргүүцэлээс 2 дахин (2x) хүрэх үед эсвэл Сэнс шүүлтүүрийн хэсэг (FFU) хамгийн их хүчин чадалтай ч гэсэн шаардлагатай агаарын урсгалын хурдыг барьж чадахгүй бол нэн даруй солих шаардлагатай. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. нь бүрэн үйлдвэрлэлийн сүлжээ үйлдвэрлэгчийн хувьд анхны эсэргүүцлийн үзүүлэлтүүдийг тогтвортой байлгаж, урьдчилан таамаглах засвар үйлчилгээг үнэн зөв болгодог.
  • Агаарт дусаах молекулын бохирдол (AMC) нь валютын үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт зангилаа (10нм-ээс бага)-д үүсэх ноцтой аюул учруулж, металл зэврэлт (хүчилээс) болон гэрэлт тэсвэртэй 'T-topping' (суурь/аминаас) зэрэг согог үүсгэдэг. Үр дүнтэй хяналт тавихын тулд тусгай химийн шүүлтүүрийг таазны сэнс шүүлтүүрийн нэгжид (FFUs) нэгтгэх шаардлагатай. Энэхүү гарын авлага нь шүүлтүүрүүдийг зорилтот бохирдуулагчаар ангилдаг: хүчилд зориулсан MA цуврал (SOx, HCl), суурь/аминд зориулсан MB цуврал (NH3, литографийн хувьд чухал), органик/VOC-ийн MV цуврал. Чухал сорилт бол химийн шүүлтүүр нь ихээхэн эсэргүүцэл (статик даралт) нэмдэг явдал юм. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd нь өөрийн өндөр эргэлттэй EC/AC мотор үйлдвэрлэх 20 гаруй жилийн гинжин хэлхээний туршлагаа ашиглан үүнийг шийддэг. Deshengxin нь нягт химийн шүүлтүүрээр ачаалагдсан ч агаарын урсгалын шаардлагатай хурдыг хадгалахын тулд тусгайлан бүтээсэн өндөр статик даралтын FFU-г бүтээдэг.
  • Энэхүү дүн шинжилгээ нь том хэмжээний хагас дамжуулагч үйлдвэрт АС болон EC сэнс шүүлтүүрийн нэгжийн (FFUs) 5 жилийн ашиглалтын зардлыг харьцуулсан болно. 5000 FFU-г тасралтгүй ажиллуулж байгаа төлөөллийн байгууламжийн хувьд уламжлалт хувьсах гүйдлийн мотороос орчин үеийн өндөр үр ашигтай EC (Цахим солигддог) технологид шилжих нь ихээхэн хэмнэлт гаргахад хүргэдэг. Нэгж тутамд 50 ваттын хэмнэлт, 0.10 доллар/кВт.цаг цахилгааны зардал хэмнэнэ гэсэн консерватив тооцоололд үндэслэн тухайн байгууламж зөвхөн цахилгаан эрчим хүчний шууд зардлаас жилд 219,000 гаруй ам.доллар хэмнэж, таван жилийн хугацаанд нийт 1 сая гаруй ам.доллар хэмнэнэ. EC моторын дулаан ялгаруулалт бага тул HVAC хөргөлтийн ачааллыг бууруулснаар нэмэлт ихээхэн хэмнэлт гарна. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd нь 'үйлдвэрлэлийн бүрэн гинжин хэлхээ'-ний давуу талаа ашиглан энэхүү ROI-ийг дээд зэргээр нэмэгдүүлж, өндөр хүчин чадалтай EC моторуудыг өөрийн FFU-д зориулан үйлдвэрлэж, өрсөлдөхүйц урьдчилсан зардлаар дээд түвшний үр ашгийг баталгаажуулдаг.
Хятад дахь Цэвэр өрөөний тоног төхөөрөмжийн тэргүүлэгч нийлүүлэгчийн хувьд бид мэргэжлийн борлуулалтын баг, өргөн хүрээний ханган нийлүүлэгчид, зах зээлд гүнзгий байр суурь эзэлдэг, маш сайн нэг цэгийн үйлчилгээтэй.

БИДЭНД ХОЛБОО БАРИХ

Утас:+86-0512-63212787-808
Имэйл: nancy@shdsx.com
WhatsApp:+86- 13646258112
Нэмэх: Хятад, Сужоу хот, Ужиан дүүрэг, Тайху Нью хот, Зүүн Туншин замын №18. Жиансу муж, Хятад

ШУУРХАЙ ХОЛБООС

БҮТЭЭГДЭХҮҮНИЙ АНГИЛАЛ

МАНАЙ СЭТГЭЛД БҮРТГҮҮЛЭЭРЭЙ

Зохиогчийн эрх © 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO.,LTD.Бүх эрх хуулиар хамгаалагдсан.| Сайтын газрын зураг