ХИМИЙН ШҮҮГҮҮР

Олон үйлдвэрүүдийн үйлдвэрлэлийн орчинд зэврэлт, үнэрийн бохирдлын асуудал. Энэ нь нэг хүчин зүйлээс шалтгаалахгүй бөгөөд нэг шийдлээр шийдвэрлэх боломжгүй юм.

SEMl стандарт F21-95 нь микроэлектрон цэвэрлэгээний өрөөг агаар дахь молекулын бохирдлын (AMC) түвшингээс хамааруулан ангилах аргыг өгдөг. Энэ нь тоосонцор бохирдлын Холбооны стандарт 209E стандартын адил хийн фазын бохирдуулагчид зориулагдсан болно. SEMстандарт F21-95 нь хийн фазын бохирдуулагчийн ангилал болон ангилал тус бүрийн зөвшөөрөгдөх концентрацийн түвшинд үндэслэн цэвэр өрөөг ангилдаг.

Хийн фазын бохирдуулагчийн дөрвөн ангилал:

1. Хүчил (А ангилал):

Хүчил хэлбэрээр химийн урвалд ордог идэмхий хий (электрон хүлээн авагч)

2.Суурь(B ангилал):Химийн урвалд ордог идэмхий кассууд (электрон донор)

3. Конденсацын бодис (C ангилал): Буцлах температур нь ихэвчлэн өрөөний температураас дээш байдаг ба валютын гадаргуу дээр конденсацлах чадвартай бохирдуулагч бодисууд.

4.Допантууд (D ангилал):

Хагас дамжуулагч материалын цахилгаан шинж чанарыг өөрчилдөг бохирдуулагч бодисууд.

SEMl F21-95 ангиллыг 'M' үсгээр, дараа нь ангилал тогтоогч, дараа нь зөвшөөрөгдөх бохирдуулагчийн агууламжийг нэг триллион (ppt)-ээр тодорхойлно. Жишээ нь, MA-10-ийн ангиллыг өрөөний агаар дахь бүх хүчиллэг хийн хамгийн их зөвшөөрөгдөх концентраци 10 ppt гэж тайлбарладаг.

Агаарт дусаах молекулын бохирдуулагчийн ангилал

Материалын ангилал	1 ppt	10 ppt	100 ppt	1000 ppt	10,000 ppt
Хүчил	MA-1	МА-10	МА-100	МА-1000	MA-10,000
Суурь	MB-1	MB-10	MB-100	MB-1000	МБ-10,000
Конденсацын бодис	MC-1	MC-10	MC-100	MC-1000	MC-10,000
Допанц	MD-1	MD-10	MD-100	MD-1000	MD-10,000

'SEMlF21-95: Цэвэр орчин дахь агаар дахь молекул бохирдуулагчийн түвшний ангилал'.1 ppb=1,000 ppt, ба 1ppm=1,000,000 ppt.

Агаар дахь молекулын бохирдуулагчийн зөвшөөрөгдөх концентраци нь цэвэр өрөөний ангилал, ашигласан процесс, ашигласан тоног төхөөрөмжөөс хамаарна.

0.25 um Process-ийн төлөвлөсөн AMC хязгаарууд

Процессын алхам	MAX Суух цаг	MA(ppt)	МБ (ppt)	MC (ppt)	MD (ppt)
Хаалганы өмнөх исэлдэлт	4 цаг	13,000	13,000	1000	0.1
Салициджуулалт	1 цаг	180	13,000	35,000	1000
Холбоо барих	24 цаг	5	13,000	2000	100,000
DUV гэрэл зураг	2 цаг	10,000	1000	100,000	10,000

Цэвэр өрөөн дэх ердийн бохирдуулагч ба концентраци

Ангилал	Бохирдуулагч	Concentrationrangr,ppt                   Бага Өндөр
Хүчил	Давсны хүчил	20,000	400,000
	Усны фторын хүчил	40,000	250,000
	Азотын хүчил	20,000	250,000
	Хүхрийн хүчил	10,000	300,000
	Фосфорын хүчил	10,000	400,000
	Цууны хүчил	10,000	250,000
	Азотын давхар исэл	30,000	300,000
	Хүхрийн давхар исэл	10,000	150,000
Суурь	Аммиак	10,000	200,000
	NMP	20,000	300,000
Конденсацын бодис	Ацетон	20,000	500,000
	Толуол	10,000	250,000
Допанц	Борын хүчил	Н.Д	200,000
	Фосфор	Н.Д	5000
	Арсин	Н.Д	50,000

Үнэр болон хийн бохирдуулагчийг хянах дөрвөн үндсэн арга: далдлах, шатаах, агааржуулах, зайлуулах. Медиа үрэл нь хийн бохирдуулагчийг шингээх, исэлдүүлэх замаар хянахад ашиглагддаг. Химийн шүүлтүүр нь молекулын бохирдуулагчийг шингээх, шингээх зарчмаар арилгаж болно.

Тоосонцор, хийн болон уурын нэгдлүүдийг арилгах замаар агаарыг цэвэршүүлэхийн тулд тоосонцор шүүлтүүр нь хүсээгүй хий, ууранд үр дүнтэй байдаггүй.

Хийн болон шингэн молекулууд шингээгчийн гадаргуу дээр хүрч, ямар ч химийн урвалгүйгээр үлдэх үед энэ үзэгдлийг физик шингээлт эсвэл физиксорбци гэж нэрлэдэг.

Цэвэрлэгдээгүй нүүрстөрөгчөөр шингээх чадвар багатай тодорхой хийнүүдийг сайжруулахын тулд нүүрстөрөгчийг бусад химийн бодисуудтай шингээж болно. Эдгээр химийн бодисууд нь бохирдуулагчийн концентрацийг бууруулахын тулд хийтэй урвалд ордог.

Тодорхой хийг устгах өөр нэг арга бол тэдгээрийг барьж авах, хариу үйлдэл үзүүлэх явдал юм. Энэ процессыг химисорбци гэж нэрлэдэг.

Олон төрлийн шингээх материалууд байдаг бөгөөд тэдгээр нь тус бүр нь тодорхой ууранд онцгой хамааралтай байдаг.

Нүүрстөрөгчийн хэмжээ багасах тусам гадаргуугийн талбай нэмэгддэг. Хэдий тоосонцор нь нүүрстөрөгчийн тоос болж хувирсан ч маш бага байж болно. Энэ нь мөн агаарын уур руу зугтах, эсвэл нягт савлахад асуудал үүсгэдэг, өндөр даралтын уналтад хүргэдэг. Хамгийн оновчтой хэмжээг туршилтаар тодорхойлох ёстой.

Молекулын бохирдуулагчийн системд бохирдуулагчийг эхний аргаар зайлуулах үр ашиг нь жин, нүүрстөрөгчийн тоосонцрын хэмжээ, нүүрстөрөгчийн идэвхжилээс хамаардаггүй, нийт гадаргуугийн талбай ба гадаргуугийн хими нь анхны үр ашгийг тодорхойлох хоёр чухал үзүүлэлт юм.

Хэрэв агаарын бохирдол маш чийглэг байвал (бороотой өдөр шиг) чийгийг нүүрстөрөгчийн багтаамжийн хувьд зорилтот бохирдсон хийнүүдтэй өрсөлдөхүйц шингээж авах боломжтой боловч урвалын шимэгдэлтийг алдсан тохиолдолд чийг нь хариу урвалыг хурдан нэмэгдүүлдэг.

Температур нь өндөр байх үед шингээлтийн хурдад нөлөөлж болно. Нүүрстөрөгчийн бохирдуулагчийг татахад хэцүү байдаг.