А Сэнс шүүлтүүрийн нэгж (FFU) нь хэт цэвэр ламинар агаарын урсгалыг дамжуулахад ашигладаг цэвэр өрөөний гол төхөөрөмж юм. Энэ нь хагас дамжуулагч, эм, электроникийн үйлдвэрүүдэд ISO стандартын цэвэр өрөөний стандартыг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Энэ нийтлэлд түүний ажиллах зарчим, бүтэц, хэрэглээ, давуу талуудыг тайлбарласан болно.

Энэхүү нийтлэл нь орчин үеийн цэвэр өрөөнд тусгайлан боловсруулсан сэнс шүүлтүүрийн нэгжүүдийн (FFUs) чухал үүргийг судлах болно. Энэ нь био эмийн GMP, нарийн электроник, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд нэг төрлийн арга барил яагаад бүтэлгүйтдэгийг тайлбарладаг. Энэхүү бүтээл нь ISO стандартын ангилал, бохирдлын эрсдэл (микроб, ESD, тоосонцор) болон 100% босоо үйлдвэрлэлийн давуу талуудыг багтаасан болно. DSX-ийн дотооддоо мотор, шүүлтүүр, хянагч үйлдвэрлэх нь зохицуулалтын нийцэл, эрчим хүчний хэмнэлт, бүтээгдэхүүний найдвартай байдлыг хангах агаарын урсгалын тусгай шийдлүүдийг бий болгодог.
 

FFU нь цэвэр өрөөнүүдийг цэвэрлэх гол төхөөрөмж юм. 20 гаруй жилийн судалгаа, боловсруулалт, үйлдвэрлэлийн туршлагатай Deshengxin, FFU-ийн эх үүсвэрийн үйлдвэрээс танилцуулсан энэхүү нийтлэлд FFU-ийн талаархи хамгийн түгээмэл 10 асуултад гүн гүнзгий дүн шинжилгээ хийсэн болно. Хувьсах гүйдлийн ба EC моторын сонголт, дуу чимээний хяналт, тохируулсан хэмжээ, шүүлтүүр солих мөчлөг, бүлгийн хяналтын систем зэрэг гол сэдвүүдийг хамарна. Deshengxin нь илүү хэмнэлттэй, ухаалаг, найдвартай цэвэр орчны шийдлүүдийг танд өгөхийн тулд сэнс болон шүүлтүүрт өөрийн боловсруулсан үндсэн технологиудыг хэрхэн ашиглаж байгааг мэдэж аваарай.

Хагас дамжуулагчийн зангилаа багасах тусам уламжлалт FFU угсралт хангалтгүй болно. Deshengxin (DSX) нь 30,000 мкв талбайтай байгууламжийг хэрхэн ашиглаж, үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг дотооддоо үйлдвэрлэж, дэлхийн үйлдвэрүүдэд зүйрлэшгүй ISO 1-р ангиллын цэвэршилт, AMC хяналт, бичил чичиргээний тогтвортой байдлыг хангадаг талаар олж мэдээрэй.

Фотолитографийн хувьд үл үзэгдэх бичил чичиргээ хүртэл хэв маягийг бүдгэрүүлж, ургац алдахад хүргэдэг. Энэхүү техникийн гарын авлага нь FFUFAN нь чичиргээний түвшинг 0.5 мм/с (RMS) -аас доош түвшинд хэрхэн хүрдэгийг тайлбарладаг. Бид динамик тэнцвэртэй сэнс, цочрол шингээгч моторын бэхэлгээ, ISO 1-р ангиллын литографийн бүсэд тохирсон хатуу бүтцийн дизайн зэрэг инженерийн арга барилаа судалж байна.

Агаарт дусаах молекулын бохирдол (AMC)-хүчил (MA), суурь (MB), конденсац (MC), нэмэлт бодис (MD) гэж ангилдаг бөгөөд 10 нм-ээс доош хагас дамжуулагчийн процесст ноцтой аюул учруулж байна. Энэхүү техникийн гарын авлагад ашиглан эдгээр бохирдуулагчтай хэрхэн тэмцэх талаар дэлгэрэнгүй тайлбарласан болно  хоёр үе шаттай шүүлтүүрийн стратеги . Бид борын бохирдлоос сэргийлэхийн тулд уламжлалт шилэн эслэгээс рүү шилжсэнд дүн шинжилгээ хийж ,  хий бага ялгаруулдаг PTFE зөөвөрлөгч  үүргийг тайлбарлаж байна .' ион солилцооны химийн шүүлтүүрийн  мэдрэмтгий литографи болон сийлбэрийн бүсийг хамгаалах