ການປົນເປື້ອນຂອງໂມເລກຸນໃນອາກາດ (AMC) ເຮັດໃຫ້ເກີດໄພຂົ່ມຂູ່ຮ້າຍແຮງຕໍ່ຜົນຜະລິດໃນໂຫນດການຜະລິດ wafer ຂັ້ນສູງ (sub-10nm), ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກພ່ອງເຊັ່ນ: ການກັດກ່ອນຂອງໂລຫະ (ຈາກອາຊິດ) ແລະ photoresist 'T-topping' (ຈາກຖານ / amines). ການຄວບຄຸມທີ່ມີປະສິດຕິຜົນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການລວມຕົວກອງສານເຄມີພິເສດເຂົ້າໄປໃນຫນ່ວຍການກັ່ນຕອງພັດລົມເພດານ (FFUs). ຄູ່ມືນີ້ຈັດປະເພດການກັ່ນຕອງຕາມສິ່ງປົນເປື້ອນເປົ້າຫມາຍ: ຊຸດ MA ສໍາລັບອາຊິດ (SOx, HCl), ຊຸດ MB ສໍາລັບພື້ນຖານ / amines (NH3, ສໍາຄັນສໍາລັບ lithography), ແລະຊຸດ MV ສໍາລັບອິນຊີ / VOCs. ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສໍາຄັນແມ່ນວ່າການກັ່ນຕອງສານເຄມີເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານທີ່ສໍາຄັນ (ຄວາມກົດດັນສະຖິດ). Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ແກ້ໄຂບັນຫານີ້ໂດຍການໃຊ້ປະສົບການລະບົບຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາເຕັມຮູບແບບຫຼາຍກວ່າ 20 ປີເພື່ອຜະລິດເຄື່ອງຈັກ EC / AC ທີ່ມີແຮງບິດສູງຂອງຕົນເອງ. ວິສະວະກອນ Deshengxin ຄວາມກົດດັນສະຖິດສູງ FFUs ທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອຮັກສາຄວາມໄວການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດເຖິງແມ່ນວ່າໃນເວລາທີ່ບັນຈຸມີສື່ການກັ່ນຕອງສານເຄມີທີ່ຫນາແຫນ້ນ.
ການວິເຄາະນີ້ປຽບທຽບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານ 5 ປີຂອງ AC ກັບ EC Fan Filter Units (FFUs) ໃນ fabs semiconductor ຂະຫນາດໃຫຍ່. ສໍາລັບສະຖານທີ່ຕົວແທນທີ່ດໍາເນີນການ 5,000 FFUs ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ການປ່ຽນຈາກມໍເຕີ AC ແບບດັ້ງເດີມໄປສູ່ເຕັກໂນໂລຢີ EC (Electronically Commutated) ທີ່ທັນສະໄຫມ, ມີປະສິດທິພາບສູງເຮັດໃຫ້ການປະຫຍັດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ອີງຕາມການຄາດຄະເນການປະຢັດ 50 ວັດຕໍ່ຫົວໜ່ວຍ ແລະ ຄ່າໄຟຟ້າ 0,10 ໂດລາຕໍ່ກິໂລວັດຊົ່ວໂມງ, ສະຖານທີ່ຊ່ວຍປະຢັດຄ່າໄຟຟ້າໂດຍກົງພຽງແຕ່ 219,000 ໂດລາສະຫະລັດຕໍ່ປີ, ລວມທັງໝົດ 1 ລ້ານກວ່າໂດລາໃນໄລຍະ 5 ປີ. ການປະຫຍັດທີ່ສໍາຄັນເພີ່ມເຕີມແມ່ນຮັບຮູ້ໂດຍຜ່ານການຫຼຸດຜ່ອນການໂຫຼດຄວາມເຢັນ HVAC ເນື່ອງຈາກການປ່ອຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງມໍເຕີ EC. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ເພີ່ມ ROI ນີ້ໃຫ້ສູງສຸດໂດຍຜ່ານ 'ຕ່ອງໂສ້ອຸດສາຫະກໍາເຕັມຮູບແບບ' ປະໂຫຍດ, ການຜະລິດມໍເຕີ EC ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຂອງຕົນເອງໂດຍສະເພາະສໍາລັບ FFUs ຂອງຕົນ, ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບຊັ້ນນໍາໃນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ແຂ່ງຂັນ.
ຊອກຫາຜູ້ຜະລິດການກັ່ນຕອງ HEPA gel seal ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ບໍ? Deshengxin (DSX) ສະຫນອງການແກ້ໄຂການຕອງຂອງແຫຼວແບບປະທັບຕາແບບພິເສດສໍາລັບເຂດການຢາລະດັບ A/B ແລະ ISO 1-5 fabs semiconductor. ໃນຖານະເປັນໂຮງງານປະສົມປະສານຕາມແນວຕັ້ງທີ່ມີຄວາມຊໍານານ 20+ ປີ, ພວກເຮົາສະເຫນີ 100% ການກັ່ນຕອງ H14 ກັບ U17 ທີ່ມີການທົດສອບການຮົ່ວໄຫຼທີ່ມີຂະຫນາດທີ່ກໍາຫນົດເອງແລະຄວາມສົມບູນຂອງອາກາດດີກວ່າ.
H1: Room-Side Replaceable (RSR) FFU: The Ultimate Solution for Zero-Downtime Cleanroom Maintenance 引言:ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສໍາຄັນເຊັ່ນ: ຫ້ອງທົດລອງຢາ ແລະ fabs semiconductor ຂັ້ນສູງ, ການຢຸດເຮັດວຽກແມ່ນສັດຕູຂອງຜົນຜະລິດ. Room-side replaceable (RSR) FFU ໄດ້ກາຍເປັນມາດຕະຖານຄໍາ, ອະນຸຍາດໃຫ້ en
ຄູ່ມືນີ້ສະຫນອງການວິເຄາະລາຍລະອຽດຂອງການຈັດປະເພດ FFU, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ແລະເງື່ອນໄຂການຄັດເລືອກ, ເນັ້ນຫນັກໃສ່ຄວາມມຸ່ງຫມັ້ນຂອງ DeshengXin ຕໍ່ກັບນະວັດກໍາແລະຄຸນນະພາບໃນເຕັກໂນໂລຊີອາກາດສະອາດ.
ຄູ່ມືນີ້ລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບບົດບາດສໍາຄັນຂອງ FFUs ຕ້ານສະຖິດ ຢູ່ໃນອຸດສາຫະກໍາເຕັກໂນໂລຢີສູງ, ເນັ້ນທາງເລືອກການປັບແຕ່ງ, ມາດຕະຖານການປະຕິບັດຕາມ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດດ້ານວິສະວະກໍາເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມປອດໄພແລະປະສິດທິພາບຂອງຫ້ອງສະອາດ.