FUSARIUM FILTER
Quaestio de corrosionis et odoris contagione in ambitu industriae in multis officinarum. ab uno non causatur, nec una solutione resolvi potest.
SEMl vexillum F21-95 methodum praebet schedularum microelectronicarum microelectronicarum classificandi quoad Airbori Molecularis Contaminationis (AMC) gradus. Hoc est gasi phasecontaminantium, analogum ad vexillum Foederatum 209E pro contaminatione particulata.
Quattuor genera contaminantium gas- phase:
1.Acids (genus A);
Corrosivus vapores qui agunt chemica sicut acida (electronacceptor)
2.Bases (genus B) Corrosive qasses quae agere chemica bases (electronic donator)
3.Condensables (categoriae C): Contaminantes, quorum punctum fervere solent super cella temperies et in superficie laganum condensandae capaces sunt.
4.Dopants (genus D);
Contaminantes qui proprietates electricas materiae semiconductoris mitigant.
Classificatio SEMl F21-95 notatur per litteram 'M, sequitur categoriam designatorem, tunc licita ex parte per trilionem concentratio contaminantium (ppt). Folexamplum, divisio MA-10 interpretata quod maxime licita concentratio omnium vaporum acidorum 10 ppt in aula aeris.
Classification of Airborne hypothetica Contaminantes
| Materia Categoria |
1 ppt |
10 ppt |
100 ppt |
1,000 ppt |
10,000 ppt |
| Acida |
MA-1 |
MA-10 |
MA-100 |
MA-1000 |
MA-10,000 |
| bases |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
MB-1000 |
MB-10,000 |
| Condensables |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10,000 |
| Dopants |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-M |
MD-10000 |
'SEMlF21-95: Classification of Airborne Molecular Contaminant Levels in CleanEnvironments'.1 ppb=1,000 ppt, and 1ppm=1,000,000 ppt.
AMC licita (contaminantium hypotheticarum aerium) retrahitur a genere tersionis, processus usus, et instrumenti adhibiti.
AMC fines proiecti ad 0,25 um Processus
| Processus Gradus |
MAX Sit Time |
MA(ppt) |
MB (ppt) |
MC (ppt) |
MD (ppt) |
| Pre-gateoxidation |
IV hrs |
13,000 |
13,000 |
1,000 |
0.1 |
| Salicidation |
I hrs |
180 |
13,000 |
35,000 |
1,000 |
| Contactus institutionis |
24 hrs |
5 |
13,000 |
2,000 |
100,000 |
| DUV Photorithagraphy |
2 hrs |
10,000 |
1,000 |
100,000 |
10,000 |
Typical Contaminantes et Concentrationes in Cleanroom
| Categoria |
Contaminantes |
Concentrationrangr, ppt Maximum Maximum |
Acida |
Acidum hydrochloricum |
20000 |
400，000 |
| Acidi hydrofluoric |
40,000 |
250,000 |
| Acidum nitricum |
20000 |
250,000 |
| Acidum sulphuricum |
10,000 |
300,000 |
| Acidum phosphoricum |
10,000 |
400,000 |
| Acidum aceticum |
10,000 |
250,000 |
| Nitrogen dioxide |
30,000 |
300,000 |
| Sulphur dioxide |
10,000 |
150,000 |
bases |
Ammonia |
10,000 |
200,000 |
| NMP |
20000 |
300,000 |
Condensables |
Acetone |
20000 |
500,000 |
| Toluene |
10,000 |
250,000 |
Dopants |
Acidum boricum |
ND |
200,000 |
| Phosphor tur |
ND |
5,000 |
| Arsine |
ND |
50,000 |
Quattuor principales artes ad moderandum odorem et gasi contaminantes: larvam, combustionem, evacuationem et remotionem. Media globulos ad gasi contaminantium per adsorp-tionem et oxidationem moderandum adhibentur. Filtrum chemica contaminantium hypotheticum removeri potest ex principiis adsorbingendis et absorbentibus.
Ad purgandum aerem, materia particulata eliminando, composito gaseoso et vaporoso Filtra particulata, efficax in non habentibus vapores et vapores.
Cum moleculae gaseae vel liquidae ad superficiem adsorbente perveniunt et sine ullo chemica reactione manent, phaenomenon corporis adsorptio vel physisorptio appellatur.
Carbo carbonis cum aliis oeconomis imbui potest ad certos vapores capacitatis lowadsorptivas per carbonem increatum emendare. Hae oeconomiae cum vaporibus agunt ad intentionem contaminantem reducendam.
Alius modus gasorum specificorum delere est cum illis capere et agere. Hic processus vocatur chemisorption.
Multae materiae adsorptivae praesto sunt, unaquaeque earum speciali affinitate pro certis vaporis.
Area superficialis augetur cum dimensiones carbonis minuuntur. Particulae valde parvae esse possunt, quamvis pulvis carbonis iustus fit. Etiam problemata elapsus in aerem vaporem creat, vel guttam pressionis altae arcte causavit. Magnitudo optimalis experimentis determinanda est.
In systemate contaminante hypothetica, contagione initialis remotio efficientiae non dependet a pondere, carbonis particula magnitudine, ac actione carbonis, Tota superficiei chemiae et superficiei chemiae sunt duo parametri magni momenti ad efficientiam initialem determinandam.
Si aer pollutio valde humida est (sicut in die pluvioso), umor certatim adsorberi potest cum vaporibus carbonis capacitatis contaminatis iaculis, attamen reactionem ischemisorbed, umor reactionem celeriter augere potest.
Temperatus etiam potest ratem adsorptionis afficere, cum temperatus est questus altior. Difficilius est contaminantes ad carbonem attrahere.
