-
3세대 반도체 세정장비(SiC, GaN)는 심각한 공간 제약에 직면해 있다. 250~350mm의 표준 FFU는 이러한 고급 도구의 제한된 수직 간격에 맞지 않습니다. 이 기사에서는 공간이 제한된 장비 통합을 위해 특별히 설계된 DSX의 70mm 초박형 EFU를 소개합니다. ~100mm의 총 작동 두께, 최대 99.9995%(@0.12μm)의 ULPA 여과 효율 및 전체 공급망 제조를 갖춘 이 솔루션을 통해 청소 장비 제조업체는 클린룸 성능을 저하시키지 않으면서 내부 공간을 최대화할 수 있습니다.
-
Wujiang Deshengxin은 중국의 전문 반도체 FFU 제조업체로, 반도체 클린룸용 고효율 팬 필터 장치를 공급합니다. 당사의 EC FFU는 30-50%의 에너지 절감, 99.995%의 여과 효율성 및 ISO 14644 준수를 특징으로 합니다. OEM 및 ODM 가능. 신뢰할 수 있는 클린룸 솔루션을 원하시면 당사에 문의하십시오.
-
Deshengxin EC FFU(팬 필터 장치)는 30-50%의 에너지 절약을 달성하는 통합 DC 모터 기술, 최대 99.9995%의 HEPA/ULPA 여과 효율, 모듈식 중복 설계 및 지능형 Modbus/BACnet 제어 기능을 갖추고 있습니다. ISO 클래스 1-5 반도체 클린룸, 바이오제약 GMP 시설, 리튬 배터리 생산에 적합합니다. 맞춤형 크기, ESD 안전 구조 및 화학 필터 통합이 가능합니다.
-
2026년 1분기 전 세계 반도체 장비 출하량이 AI 관련 투자에 힘입어 전년 동기 대비 14% 증가한 365억 5천만 달러에 달하면서 첨단 클린룸 인프라에 대한 수요가 계속해서 급증하고 있습니다. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.는 FFU, 에어 샤워, 패스 박스, HEPA 필터, 클린 벤치 및 모듈형 클린룸을 포괄하는 전체 체인 생산 모델을 통해 반도체 웨이퍼 팹, 고급 패키징 및 초정밀 제조 라인에 맞는 ISO 준수 오염 제어 솔루션을 제공합니다.
-
반도체 제조 노드가 축소됨에 따라 정밀성, 저진동 및 공간 절약형 클린룸 장비에 대한 수요가 급증했습니다. 비용을 낮추면서 이러한 극단적인 허용 오차를 충족할 수 있는 신뢰할 수 있는 공급업체를 찾는 것은 중요한 과제입니다. 20년 이상의 전문 지식을 갖춘 Wujiang Deshengxin(DSX) Purification은 맞춤형 클린룸 솔루션의 최고의 제조업체로 자리매김하고 있습니다. DSX는 모터, 제어 시스템 및 필터를 100% 자체 생산을 유지함으로써 복잡한 반도체 미세 환경 및 대규모 대량 주문에 맞는 고성능, 비용 효율적인 장비를 제공합니다.
-
반도체 도구 및 모듈식 클린룸 설계가 점점 더 소형화됨에 따라 기존 팬 필터 장치는 장비 통합(EFU 응용 분야) 중에 높이 여유 문제가 종종 발생합니다. 이 기사에서는 낮은 플레넘 천장, 소형 환경 및 도구 장착형 필터를 위해 설계된 총 깊이 프로파일 70mm를 특징으로 하는 DSX Ultra Thin FFU 플랫폼을 소개합니다. 토론에서는 DSX의 수직 통합 모터 및 제어 시스템 개발을 통해 공기 흐름 균일성이나 장기적인 신뢰성을 희생하지 않고 폼 팩터를 줄일 수 있는 방법을 다룹니다. 애플리케이션 시나리오에는 1밀리미터의 수직 공간이 중요한 웨이퍼 처리 EFEM, 스토커 개조 및 고급 정밀 제조 모듈이 포함됩니다.
