이 문서에서는 다음에 대한 포괄적인 개요를 제공합니다. 초박형 EFU(Equipment Fan Filter Unit) 기술. 반도체 제조장비용 이는 표준 FFU가 들어갈 수 없는 고급 반도체 도구의 제한된 내부 공간이라는 중요한 문제를 해결합니다. 70mm 초박형 EFU인 솔루션이 소개되며 전체 공급망 제조를 통해 맞춤형 엔지니어링 EC 브러시리스 마이크로 팬, 자체 제작 미니 주름 HEPA/ULPA 필터 및 최적화된 내부 기하학적 구조를 통해 이러한 혁신이 어떻게 가능해졌는지에 대한 자세한 설명이 제공됩니다. 주요 기술 사양, AMC 오염 제어, 스마트 제어 기능, 프런트엔드 및 백엔드 장비 전반의 애플리케이션 시나리오를 다룹니다.
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이 기사에서는 팬 필터 장치(FFU)와 공기 조화 장치(AHU)를 비교하여 구조, 공기 흐름 제어 및 클린룸 환경의 일반적인 응용 분야를 설명합니다.
FFU와 층류 후드 중에서 선택하는 것은 청정 공기 목표에 따라 다릅니다. 층류 후드는 실험실 작업 및 의약품 취급과 같은 국부적인 멸균 작업을 위해 엄격한 단방향 공기 흐름을 제공합니다. FFU는 대규모 클린룸 적용 범위, 장비 통합(EFU) 및 반도체 또는 리튬 배터리 생산과 같은 산업 응용 분야를 위해 설계된 확장 가능한 모듈식 장치입니다. FFU는 일부 엔지니어링 레이아웃에서 층류 후드를 대체할 수 있지만 전용 후드의 정확한 사용 시점 멸균 제어와 일치할 수는 없습니다. 이를 오해하면 난류, 데드존, 비용 증가가 발생합니다. 이 가이드는 공기 흐름 유형, 적용 범위, 시스템 설계 및 적용 분야 적합성을 분석하여 엔지니어와 구매자가 올바른 선택을 할 수 있도록 돕습니다.
ISO 5를 준수하는 공기 필터에 대한 중요한 요구 사항을 알아보세요. 이 기술 가이드에서는 입자 농도 제한(최대 3,520개 입자 ≥0.5μm/m 3 ), H14/U15 여과의 필요성, Deshengxin의 수직 통합 제조가 클래스 100 환경에서 안정적인 층류 공기 흐름과 누출 없음 성능을 보장하는 방법을 다룹니다.
