초박형 EFU — 반도체 제조 장비의 공간 부족 문제 해결
  

 

반도체 문제 해결 '스페이스 크런치'

 

리소그래피, 에칭, 박막 증착 및 고급 패키징을 포함한 고급 반도체 제조에서 공정 장비는 고밀도 내부 구성 요소로 인해 점점 더 복잡해지고 있습니다. 일반적으로 기존 표준 FFU는 전체 두께가 250mm~350mm인 너무 커서 이러한 도구 내의 좁은 간격에 맞지 않습니다.

이로 인해 장비 엔지니어는 표준 FFU를 수용하기 위해 전체 장비 공간을 늘리 거나 내부 층류 정화를 타협하여 입자 오염으로 인한 수율 손실 위험을 감수해야 합니다.

 

숫자는 스스로를 말해줍니다:

매개변수	표준 FFU	데성신 70mm EFU
일반적인 두께	200 – 350mm	70mm(팬 하우징)
총 설치 두께	250 – 400mm	~100mm(필터 포함)
수직 공간 절약	—	최대 75% 감소

 

인포그래픽: Deshengxin 70mm 초박형 EFU - 표준 FFU에 비해 ​​두께가 최대 75% 감소

Deshengxin의 초박형 프로파일이 반도체 장비 공간 제약을 어떻게 해결하는지 보여주는 나란히 비교.

EFU와 FFU — 차이점 이해

두 시스템 모두 팬과 고효율 여과를 사용하지만 반도체 제조 환경에서는 근본적으로 다른 용도로 사용됩니다.

FFU란 무엇입니까?
FFU(팬 필터 장치)는 일반적으로 클린룸 천장 그리드에 설치되는 모듈형 공기 정화 장치입니다. 그 목적은 에 걸쳐 균일한 층류 공기 흐름을 생성하는 것입니다 . 전체 클린룸 공간 전체 시설에 필요한 청결도 수준을 유지하면서

 

EFU란 무엇입니까?

EFU(장비 팬 필터 장치)는 반도체 도구 위 또는 내부에 설치되는 국부적인 공기 정화 장치입니다. 중요한 공정 영역 주위에 직접적으로 목표 층류 공기 흐름을 제공하여 입자 오염으로부터 웨이퍼 수준 작업을 보호합니다.

 

특징	FFU(팬 필터 장치)	EFU(장비 팬 필터 장치)
설치 위치	클린룸 천장 그리드	장비 위 또는 내부에 장착됨
서비스 가능 지역	클린룸 전체	국지화된 미세 환경
기류	높은 볼륨	정밀 제어
기능	객실 청결 유지	중요한 프로세스 보호
일반적인 응용	클린룸 인프라	반도체 도구, 리소그래피, 에칭 장치
폼 팩터	표준 크기(2×4ft, 4×4ft)	맞춤 설계된 초박형 프로파일
진동 요구 사항	기준	엄격함(<0.5mm/s RMS)

 

FFU 시스템은 전체 클린룸 환경을 유지하는 반면, EFU 시스템은 민감한 제조 공정에 대한 국지적 오염 제어를 제공합니다. 반도체 제조에서 EFU는 표준 클린룸 공기가 처리할 수 없는 입자 오염으로부터 웨이퍼 수준 프로세스를 보호하는 데 필수적입니다.

 

Source Factory의 장점: 70mm 혁신을 달성하는 방법

많은 브랜드는 기성 표준 부품을 조립하는 데 의존하기 때문에 이렇게 극단적인 두께를 달성할 수 없습니다. 진정한 전체 공급망 소스 정화 공장인 Deshengxin은 처음부터 다시 엔지니어링합니다.

 

✓ 모든 중요한 애플리케이션에 대한 포괄적인 품질 관리

✓ 공장에서 직접 가격을 책정하여 매우 비용 효율적인 혁신

 

핵심 제품 특징

핵심 제품 특징

 

 

응용 시나리오

 

 

더 많은 시나리오

 

기술 사양

 

매개변수	사양 설명
총 높이(프로필)	팬 하우징 70mm; 총 두께 약. HEPA 필터 포함 100mm
여과 효율	HEPA H14(99.995%@0.3μm) / ULPA U15(99.9995%@0.12μm)
하우징 재질	SUS304 / SUS316 스테인레스강 / 알루미늄 합금 / 분체 도장 스틸
공기 속도	0.35 - 0.55 m/s (VFD를 통해 무단 조정 가능)
모터 유형	Deshengxin 맞춤형 초박형 EC 브러시리스 마이크로 모터
제어 시스템	RS485 스마트 그룹 제어 / 독립 손잡이 조절
일반적인 응용 분야	반도체 전공정 장비(EFEM), 첨단 패키징 장비, FPD/OLED 핵심 장비, 마이크로/나노 공정 장비
인증	CE, ISO 9001, CQC
테스트 표준	EN 1822:2009, IEST-RP-CC001

 

맞춤화 기능

모든 클린룸과 반도체 도구는 고유합니다. Deshengxin의 사내 엔지니어링 팀은 EFU 솔루션을 거의 모든 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
 

사용자 정의 옵션	설명
맞춤 측정기준	초박형 70mm 프로파일을 포함하여 모든 너비, 높이, 깊이
맞춤 모양	특정 장비 통합을 위한 L자형, 원형 ​​또는 노치 구성
기류 설계	최대 2m/s+의 높은 공기 흐름 솔루션
필터 효율	H13, H14, U15, U16 — HEPA부터 ULPA 등급까지
프레임 소재	알루미늄 합금, 아연도금강, 스테인레스강
제어 시스템	BACnet/Modbus를 사용한 개별, 터치스크린 또는 컴퓨터 기반 그룹 제어
전압 옵션	글로벌 수출 요구 사항에 맞게 맞춤화
저진동 시스템	EUV 리소그래피 및 계측 도구용

특정 하우징 재료, 글로벌 수출을 위한 맞춤형 전압, 특정 기계 섀시에 맞는 맞춤형 치수가 필요한 경우 당사의 R&D 팀은 귀하가 필요로 하는 정확한 장비를 설계하고 프로토타입을 제작할 수 있습니다.

요청 시 개별 테스트 인증서를 제공하여 완전한 추적성과 책임성을 보장합니다.

 

자주 묻는 질문

 

Q1: EFU(장비 팬 필터 장치)란 무엇입니까?
A: EFU는 반도체 장비 위나 내부에 직접 장착되는 자급식 공기 정화 모듈입니다. 실내 규모 여과용으로 설계된 FFU와 달리 EFU는 웨이퍼 제조, 리소그래피, 에칭과 같은 중요한 프로세스를 보호하기 위해 목표 층류 공기 흐름을 제공합니다.

Q2: EFU와 FFU의 차이점은 무엇입니까?
A: FFU는 천장에 장착되어 전체 클린룸을 정화하는 반면, EFU는 장비에 장착되어 민감한 도구 주위에 직접 국부적으로 깨끗한 공기를 제공합니다. EFU는 장비 통합을 위해 더 엄격한 진동 제어(<0.5mm/s)와 더 높은 수준의 맞춤화가 필요합니다.

Q3: Deshengxin의 EFU는 얼마나 얇습니까?
A: Deshengxin의 EFU는 총 설치 두께(필터 포함)가 약 100mm인 70mm 팬 하우징을 갖추고 있습니다. 이는 전 세계에서 가장 얇은 프로파일 중 하나입니다.

Q4: Deshengxin은 어떻게 이렇게 얇은 프로파일을 달성합니까?
A: 전체 체인 제조를 통해 모터, 팬 및 제어 시스템을 완전히 자체적으로 설계하고 생산합니다. 우리는 부피가 큰 기성 부품을 사용하는 대신 초박형 구조용으로 특별히 EC 브러시리스 마이크로 팬을 독자적으로 개발했습니다.

Q5: 70mm EFU는 어떤 클린룸 등급을 제공합니까?
A: HEPA H13/H14 필터를 사용하면 ISO 클래스 5 이상을 제공합니다. ULPA U15/U16 필터를 사용하면 ISO 클래스 3 이상을 달성할 수 있습니다.

Q6: EFU를 특정 반도체 도구에 맞게 맞춤화할 수 있습니까?
답: 그렇습니다. Deshengxin은 맞춤형 치수, 프레임 재료, 효율 등급, 제어 인터페이스는 물론 맞춤형 모양(L자형, 원형 ​​또는 노치)까지 제공합니다.

Q7: DSX의 생산능력은 얼마나 됩니까?
A: Deshengxin은 전체 체인 생산 능력을 갖춘 상당한 제조 시설을 운영하여 짧은 리드 타임으로 대량 주문과 맞춤형 솔루션에 신속하게 대응할 수 있습니다.

Q8: Deshengxin EFU를 사용하는 산업은 무엇입니까?
A: 반도체 제조(리소그래피, 에칭, 코팅, 웨이퍼 핸들링), 리튬 배터리 생산, 평판 디스플레이(LCD/OLED), SMT 및 전자제품 제조, 정밀 장비.

이점	설명
진정한 풀체인 제조	모터, 팬 및 제어 시스템은 타사  구성 요소 로 조립되지 않고 완전히 자체적으로 설계 및 생산됩니다.
업계 최고의 씬 프로파일	70mm 팬 하우징(총 설치 시 최대 100mm) — 전 세계에서 가장 얇은 EFU 설계 중 하나
저진동 및 저소음	항공우주 등급 동적 밸런스 교정은 EUV 리소그래피 및 웨이퍼 검사 도구 기준을 충족합니다.
맞춤화 기능	비표준 치수, 모양, 프레임 재질, 효율 등급 및 제어 인터페이스 사용 가능
입증된 품질 보증	입자 카운터 스캔 누출 감지로 100% 테스트되었습니다. 개별 테스트 인증서 사용 가능
비용 효율적인 혁신	수직적 통합을 통해 공장에서 직접 가격 책정 - 중간 가격 인상 없음
확장 가능한 대량 주문 용량	팹 건설을 위한 산업 규모의 생산 능력을 갖춘 대규모 제조 시설

 

리소스 및 연락처

 

  FFU(HEPA 필터 유닛) /EFU/BFU 솔루션

 

덕성신의 장점

Deshengxin을 다른 회사와 비교

판금 장비

 

굽힘 공정 비교

다른 항목의 비교

경쟁사의 외부 소싱의 과제

경쟁 우위: 공기 필터 자체 제조로 당사를 차별화합니다.

외부 제어 시스템: 업계 동료를 위한 기성 솔루션의 한계

대다수의 업계 동료들은 외부에서 조달되는 제어 시스템을 선택합니다. 이러한 기성 시스템에는 특정 요구 사항을 충족하기 위한 맞춤화가 부족한 경우가 많아 유연성이 감소하고 성능 제한이 발생할 수 있습니다.

또한 외부 공급업체에 의존하면 문제 해결이나 수정에 대한 응답 시간이 길어져 중요한 작업이 지연될 수 있습니다. 이러한 시스템을 기존 제품 및 프로세스와 통합하는 데 어려움이 발생하여 전체 시스템 성능에 영향을 미칠 수 있습니다.

개발 프로세스 및 품질 보증 조치에 대한 제한된 감독으로 인해 외부에서 조달된 제어 시스템의 품질과 신뢰성에 대한 우려가 지속됩니다. 본질적으로 외부 제어 시스템에는 사용자 정의 제약, 응답 시간 지연, 통합 문제, 운영 효율성을 저해할 수 있는 품질 관리 문제 등의 제한 사항이 있습니다.

测试---대부분의 업계 동료들은 외부에서 조달된 제어 시스템을 선택합니다. 이러한 기성 시스템에는 특정 요구 사항을 충족하기 위한 맞춤화가 부족한 경우가 많아 유연성이 감소하고 성능 제한이 발생할 수 있습니다.
 

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