DSX-логотипі

Жартылай өткізгіштер мен электроникаға арналған бір реттік таза бөлме жабдығын өндіруші

半导体制造

Микроэлектроника өндірісіндегі маңызды міндеттерді шешу

Шығымды жоғалту: ауадағы бөлшектер пластинаның шығымдылығының №1 жауы болып табылады. Біз ISO 1 класс сүзгісін ұсынамыз.
Дірілге сезімтал: дәстүрлі желдеткіштер дірілдейді және дәл литографияны зақымдайды. Біздің теңдестірілген қозғалтқыштар өте төмен дірілді қамтамасыз етеді.
ESD тәуекелдері: статикалық электр чиптерді бұзады. Біз барлық жабдықты антистатикалық (ESD) бояумен және материалдармен қамтамасыз етеміз.
 
 

Жартылай өткізгішті таза бөлмедегі ауа шешімдері: вафли фабрикасына арналған FFU & EFU | FFUFAN

无尘室解决方案英文(1).png
1
АЛДЫНДАҒЫ СҮЗГІ
2
Орташа тиімділік сүзгісі
3
Химиялық сүзгі
4
HEPA сүзгісі
5
FFU желдеткіш сүзгі бөлігі
6
Химиялық сүзгі
7
HEPA/ULPA сүзгісі
8
FFU
9
Таза кабина
10
HEPA қорапшасы
11
Бір рет қолданылатын HEPA BOX
1
АЛДЫНДАҒЫ СҮЗГІ
2
Орташа тиімділік сүзгісі
3
Химиялық сүзгі
4
HEPA сүзгісі
5
FFU желдеткіш сүзгі бөлігі
6
Химиялық сүзгі
7
HEPA/ULPA сүзгісі
8
FFU
9
Таза кабина
10
HEPA қорапшасы
11
Бір рет қолданылатын HEPA BOX

FFU ультра төмен діріл және AMC жоқ сүзу жүйелері арқылы вафли өнімділігін арттырыңыз. Біз фотолитография, ою және жұқа пленка процестері үшін арнайы әзірленген ISO 1-сыныппен үйлесімді таза бөлме шешімдерін ұсынамыз.

  • Литографияға арналған нөлдік діріл стандарттары
    Литографияға арналған нөлдік діріл стандарттары
  • Жетілдірілген AMC фильтрациясы (бор және фосфорсыз)
    Жетілдірілген AMC фильтрациясы (бор және фосфорсыз)
Әр аймаққа арналған кешенді жабдық
Төбелік тор және ауа айналымы жүйесі
 
deshengxin-ffu-өздігінен жасалған-ec-моторы бар
Таза бөлмені тазартуға арналған HEPA (H13, H14) және ULPA (U15, U16, U17) сорттарын қоса, жоғары тиімді ауа сүзгілерінің Deshengxin ауқымы.
Жартылай өткізгішті тазалау бөлмелеріне арналған Deshengxin химиялық сүзгісі (AMC жою). Белсендірілген көмір және ион алмастырғыш шайырлы орта VOC, қышқылдар мен негіздерді бейтараптандыруға арналған.
Нел�<ктен Дешэнсин?
  • Smart Control: жаппай топтық басқару мүмкіндігі (10 000+ түйінді бақылау).
  • Аэродинамика: желдеткіш пен қозғалтқыш ең аз діріл (литография үшін өте маңызды) үшін үйде бірге реттеледі.
 
HVAC және алдын ала сүзу жүйесі
 
Deshengxin HVAC алдын ала сүзгі сериясы: G3-G4 негізгі панель сүзгілері және F5-F9 орташа тиімділік қап/V-банк сүзгілері. Таза бөлме MAU жүйелеріне арналған.
Жартылай өткізгішті тазалау бөлмелеріне арналған Deshengxin химиялық сүзгісі (AMC жою). Белсендірілген көмір және ион алмастырғыш шайырлы орта VOC, қышқылдар мен негіздерді бейтараптандыруға арналған.
Қызыл силиконды тығыздағышпен және SUS304 баспайтын болаттан жасалған қаңқасы бар жоғары температуралы HEPA сүзгісі (250°C). Жартылай өткізгішті кептіру пештеріне арналған H13/H14 маркасы.

Нел�<ктен Дешэнсин?

  • Толық ауқымды жабдықтау: Біз үйлесімділікті және техникалық қызмет көрсетуді бір терезеден сатып алуды қамтамасыз ететін G3-тен U17-ге дейінгі барлық сүзгі спектрін шығарамыз.
 
Персонал мен материалды киюге кіру
 
SUS304 баспайтын болаттан жасалған ауа душ туннелі (25 м/с ағындар) және автоматты индукциялық қол жуғыш / кептіргіш бар таза бөлмеге кіру жүйесі.
Қоян костюмін сақтауға арналған тот баспайтын болаттан жасалған таза бөлме шкафтары және халат бөлмесіндегі аяқ киімнің табанын тазалауға арналған автоматты машина. Шаңсыз жиһаз дизайны.
HEPA фильтрациясымен және УК зарарсыздандыру шамымен жабдықталған динамикалық өту қорабы. Материалды тасымалдау кезінде айқаспалы ластануды болдырмау үшін электронды блоктау жүйесі.

Нел�<ктен Дешэнсин?

  • Perfect Fit теңшеу: Әр киім бөлмесінің орналасуы әртүрлі. Бастапқы өндіруші ретінде біз үшін ауа душтары мен гардеробтардың өлшемдерін реттейміз . кеңістікті барынша пайдалану қызметкерлердің үздіксіз ағынын қамтамасыз ете отырып,
  • Пайдаланушыға бағытталған дизайн: Ауа душындағы тен бастап  Smart Voice Guidance-  , шкафтың эргономикалық орналасуына дейін біздің жабдық киім кию процесін оңтайландыруға, қызметкерлердің кіру уақытын қысқартуға және қателіктерді азайтуға арналған.
 
Өндіріс желісі және жергілікті ESD бақылауы
 
Жартылай өткізгішті литография процестерінде белсенді электростатикалық бейтараптандыруға арналған біріктірілген ионизатор жолақтарымен жабдықталған Deshengxin Иондаушы FFU.
Deshengxin Laminar Flow Clean Bench (ISO Class 5 / Class 100). Таза бөлмені жинау және тексеру үшін тік және көлденең ағын конфигурацияларында қол жетімді.
Төбенің тәуелсіз FFU торын көрсететін теңшелетін таза кабина жұмыс станциясы. Арнайы өндіріс машиналарына сәйкес келетін әртүрлі қабырға материалдарында қол жетімді.

 Нел�<ктен Дешэнсин?

  •  Біріктірілген жергілікті қорғау:  Біз микро ортаны бақылауға арналған толық құралдар жинағын ұсынамыз.
  •  Статикалық бақылау:  Біздің  иондаушы FFU  стандартты желдеткіш сүзгі қондырғыларынан айырмашылығы, ESD тәуекелдерін көзде бейтараптандыру үшін жасалған.
  • Әмбебап қоршаулар: қажет пе  таза орындықтар немесе үлкен жабдық үшін  Құрастыруға арналған  модульдік стендтер (акрил/болат/ПВХ)  , біз бүкіл корпус пен сүзу жүйесін жасаймыз.
  • Керемет сәйкестік: Біз ауа ағынының бағытын (тік/көлденең) және өлшемдерін сіздің нақты процессіңізге сәйкестендіріп, өндірістік желіңіздің әрбір дюймінің қорғалуын қамтамасыз етеміз.

 

 
Неліктен нақты өндіруші мен құрастырушыны таңдау керек?
 
Ерекшелік Deshengxin (көз зауыты) Қарапайым құрастырушылар
Негізгі қозғалтқыш Өздігінен жасалған (үйде)   Ең жақсы аэродинамика үшін теңшелген. Аутсорсингтік   жалпы қозғалтқыштар, сәйкес келмеу қаупі.
Өнім ассортименті Толық өнеркәсіп тізбегі  FFU, ауа душы, сүзгілер, қаңылтыр. Шектеулі / Аралас   сатып алу сүзгілері осында, жанкүйерлер сонда.
Шығындарды бақылау Зауыттық тікелей баға   Делдал үстемелері жоқ. жоғары баға қосылған маржа.  Жабдықтаушылардан
Тоқтау Жылдам және бақыланатын   Біз шикізатты бақылаймыз. Белгісіз   олардың қосалқы жеткізушілеріне тәуелді.
Сатудан кейінгі Өмір бойы техникалық қолдау   Біз машинадағы әрбір бұранданы білеміз. Баяу әрекет   Бастапқы зауыттармен байланысу керек.
 
Сезімтал орталар үшін дәл бақылау
 
1. Жаппай масштабтау мүмкіндігі және тұрақтылық
Тұрақты байланыс протоколдарына (Modbus/TCP/IP) негізделген біздің жүйе 10 000+ түйіндердің тұрақты желісін қолдайды. Кішігірім зертхана немесе мега-фаб болсын, жүйе сигнал кідірісінсіз үздіксіз кеңейеді.
2. Көрнекі макет салыстыру
Күрделі кодтармен қош айтыңыз. Біз визуалды карта жасай отырып, таза бөлме төбесінің торының орналасуын бағдарламалық құралға импорттаймыз. Әрбір нақты FFU орнының күйін (қосу/өшіру/жылдамдық) экранда тікелей тексеруге болады.
3. Ауа ағынын және энергияны дәл басқару
операциялық үнемдеуді ашыңыз. Аймақты басқару стратегияларын (мысалы, 'Өндіріс режимі' мен 'Түнгі/Күту режимі') электр қуатының шығындарын айтарлықтай азайта отырып, жұмыс емес уақыттарда айналым жылдамдығын төмендетуге орнатуға болады.
4. Ақылды ақаулық диагностикасы
Техникалық қызмет көрсету жеңілдетілді. Егер жалғыз FFU сәтсіз болса, жүйе лезде дабылды іске қосады және картадағы нақты координатаны анықтайды. Бұл қолмен тексеруді болдырмайды және тоқтау уақытын айтарлықтай азайтады.
5. Теңшелетін локализацияланған интерфейс
Жаһандық дайын. Біз бастапқы кодты өзімізде әзірлейтіндіктен, бағдарламалық құрал интерфейсін жергілікті тіліңізге теңшей аламыз. Бұл сіздің сайттағы операторларыңыздың жүйені интуитивті түрде басқара алатынына кепілдік береді, тіл кедергілерін жояды және операциялық қателерді азайтады.
Смарт топты басқару жүйесі
басқару Deshengxin көмегімен оңай. 10 000+ FFU Үлкен фабрикада Біздің меншікті басқару жүйеміз нақты уақыттағы бақылауға, қате дабылдарына және бір компьютерден немесе мобильді терминалдан жылдамдықты реттеуге мүмкіндік береді.
FFU визуалды орналасу картасы
Таза бөлменің 'Жүрегі'
Біздің үйдегі EC/DC қозғалтқыштары 40 000+ сағат үздіксіз жұмыс істеуге сыналған, бұл дәстүрлі айнымалы ток қозғалтқыштарымен салыстырғанда 30% қуат үнемдеуді ұсынады — тәулік бойы жұмыс істейтін жартылай өткізгіш зауыттар үшін шығындарды айтарлықтай төмендетеді.
DSX EC/DC Motors болжамды
Техникалық сипаттамалар: Жартылайөткізгіштер дәрежесі және стандартты FFU
 
Ерекшелік  Стандартты FFU DSX FFU Жартылай өткізгіштер дәрежесі
Тасымалдағышты сүзу Шыны талшық PTFE / ULPA (U15-U17)
Газды шығару Стандартты деңгейлер Төмен бор/газ шығаратын материалдар
Діріл < 1,0 мм/с < 0,5 мм/с (динамикалық теңгерілген)
Басқару жүйесі Жылдамдықты қолмен басқару Modbus/TCP Intelligent Group Control
Қолданба Жалпы өнеркәсіп Вафли фабрикасы, орау, сынау
FFU өндірісі

ISO класындағы таза бөлмені құруға дайынсыз ба?
Сізге бір ауа душы немесе жаңа зауыт үшін 10 000 FFU қажет пе, Deshengxin сіздің сенімді серіктесіңіз болып табылады.


Тікелей зауыт бағасын алыңыз
 
 Жартылай өткізгішті тазалау бөлмелеріне арналған жалпы сұрақтар
 
  • 70 мм ультра жұқа EFU: үшінші буын жартылай өткізгішті тазалау жабдығына арналған кеңістікті үнемдейтін шешім
    Үшінші буындағы жартылай өткізгішті тазалау жабдығы (SiC, GaN) қатты кеңістік шектеулеріне тап болады. 250–350 мм стандартты FFU осы жетілдірілген құралдардың шектеулі тік саңылауына сыймайды. Бұл мақалада DSX 70 мм ультра жұқа EFU - кеңістік шектеулі жабдықты біріктіру үшін арнайы әзірленген. Жалпы жұмыс қалыңдығы ~100мм, ULPA фильтрациясының тиімділігі 99,9995% (@0,12μm) дейін және толық жеткізу тізбегі бойынша бұл шешім тазалау жабдығы өндірушілеріне таза бөлменің өнімділігін төмендетпестен ішкі кеңістікті барынша арттыруға мүмкіндік береді.
     
    Толығырақ оқу
  • Жартылай өткізгішті FFU өндірушісі - Wujiang Deshengxin таза бөлме желдеткіш сүзгі қондырғысы
    Wujiang Deshengxin - Қытайдағы кәсіби жартылай өткізгіш FFU өндірушісі, жартылай өткізгішті тазалау бөлмелері үшін жоғары тиімді желдеткіш сүзгі қондырғыларын жеткізеді. Біздің EC FFU 30-50% қуат үнемдеу, 99,995% фильтрация тиімділігі және ISO 14644 сәйкестігімен ерекшеленеді. OEM және ODM қол жетімді. Таза бөлменің сенімді шешімдері үшін бізге хабарласыңыз.

     
    Толығырақ оқу
  • Жартылай өткізгішті FFU өндірушісі | Таза бөлмелерге арналған Wujiang Deshengxin EC желдеткіш сүзгі қондырғылары
    Deshengxin EC FFU (Желдеткіш сүзгі блогы) 30-50% қуат үнемдеуге, 99,9995% дейін HEPA/ULPA сүзу тиімділігіне, модульдік артық дизайнға және интеллектуалды Modbus/BACnet басқаруына қол жеткізетін біріктірілген тұрақты тұрақты қозғалтқыш технологиясын ұсынады. ISO 1-5 сыныпты жартылай өткізгішті тазалау бөлмелері, биофарма GMP қондырғылары және литий батареяларын өндіру үшін қолайлы. Арнайы өлшемдер, ESD-қауіпсіз құрылыс және химиялық сүзгіні біріктіру қол жетімді.
    Толығырақ оқу
  • Жартылай өткізгішті жабдықтың өсуі таза бөлмеге сұранысты қалай тудырады | Дешэнсин
    2026 жылдың 1-тоқсанында жартылай өткізгіш жабдықтардың жаһандық жеткізілімі 36,55 миллиард долларға жеткендіктен, AI-ға байланысты инвестициялар есебінен өткен жылмен салыстырғанда 14%-ға өсті, таза бөлменің озық инфрақұрылымына сұраныс арта түсуде. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. FFU, ауа душтары, өту жәшіктері, HEPA сүзгілері, таза орындықтар және модульдік таза бөлмелерді қамтитын толық тізбекті өндіріс үлгісімен жартылай өткізгіш пластиналар фабрикаларына, жетілдірілген қаптамаларға және ультра прецирлеу линияларына бейімделген ластануды бақылау шешімдерін ұсынады.

     
    Толығырақ оқу
  • Ультра жұқа EFU өндірушісі | Жартылай өткізгіш желдеткіш сүзгі қондырғылары | DSX
    Жартылай өткізгішті өндіру түйіндері қысқарған сайын, дәлдікке, төмен дірілге және кеңістікті үнемдейтін таза бөлме жабдықтарына сұраныс күрт өсті. Шығындарды төмендете отырып, осы шектен тыс төзімділіктерді қанағаттандыра алатын сенімді жеткізушіні табу - маңызды мәселе. 20 жылдан астам тәжірибесі бар Wujiang Deshengxin (DSX) Purification арнайы таза бөлме шешімдерінің жетекші өндірушісі болып табылады. Қозғалтқыштардың, басқару жүйелерінің және сүзгілердің 100% ішкі өндірісін қамтамасыз ете отырып, DSX күрделі жартылай өткізгіш микроорталарға және ауқымды көлемді тапсырыстарға бейімделген жоғары өнімді, үнемді жабдықты жеткізеді.
     
    Толығырақ оқу
  • Таза бөлмелердегі кеңістік шектеулерін шешу: біркелкі жабдық пен EFEM интеграциясы үшін ультра жұқа 70 мм FFU
    Жартылай өткізгішті құралдар мен модульдік таза бөлме конструкциялары барған сайын ықшамдалған сайын, дәстүрлі желдеткіш сүзгі қондырғылары жабдықты біріктіру (EFU қолданбалары) кезінде жиі биіктіктен тазарту қиындықтарын тудырады. Бұл мақалада төменгі пленарлық төбелерге, шағын орталарға және құралға орнатылған фильтрацияға арналған 70 мм жалпы тереңдік профилі бар DSX Ultra Thin FFU платформасы таныстырылады. Талқылау DSX-тің тік біріктірілген қозғалтқышы мен басқару жүйесінің дамуы ауа ағынының біркелкілігін немесе ұзақ мерзімді сенімділігін жоғалтпай азайтылған пішін факторына қалай мүмкіндік беретінін қамтиды. Қолдану сценарийлеріне пластинаны өңдеудің EFEM құрылғылары, жинақтағыштарды жаңарту және тік кеңістіктің әрбір миллиметрі маңызды болып табылатын жетілдірілген дәлдіктегі өндіріс модульдері кіреді.
    Толығырақ оқу
  • Барлығы 4 бет Бетке өту
  • Бар
 
Техникалық мақалалар
  • Техникалық қызмет көрсету нұсқаулығы: HEPA/ULPA сүзгілерін қашан ауыстыру керек?
    Таза бөлмелердегі HEPA немесе ULPA сүзгілерін ауыстырудың оңтайлы уақытын анықтау күнтізбелік кестелерге негізделмей, қысым дифференциалын (Паскаль, Памен өлшенген) жағдайға негізделген бақылауға негізделуі керек. Сүзгілерді тым ерте ауыстыру бюджетті ысырап етеді, ал оларды тым кеш ауыстыру ауа ағынының жылдамдығын және өндіріс өнімділігін төмендетеді. Стандартты процедура жаңа сүзгілер тиісті ауа ағынында (мысалы, 0,45 м/с) орнатылған кезде 'бастапқы кедергіні' (қысымның төмендеуі) жазуды қамтиды. Сүзгілерді әдетте қысым дифференциалы бастапқы қарсылыққа екі есе (2x) жеткенде немесе желдеткіш сүзгі бөлігі (FFU) тіпті максималды қуатта да қажетті ауа ағынының жылдамдығын сақтай алмаса, дереу ауыстырылуы керек. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. толық салалық тізбекті өндіруші ретінде болжамды техникалық қызмет көрсетуді дәл етіп, тұрақты бастапқы қарсылық сипаттамаларын қамтамасыз етеді.
    Толығырақ оқу
  • Вафель өндірісіндегі AMC (ауадағы молекулалық ластану) бақылау
    Ауадағы молекулярлық ластану (AMC) пластинаның жетілдірілген өндіріс түйіндерінде (су-10 нм) өнімге үлкен қауіп төндіреді, бұл металл коррозиясы (қышқылдардан) және фоторезисттік «Т-төбеге» (негіздерден/аминдерден) сияқты ақауларды тудырады. Тиімді бақылау арнайы химиялық сүзгілерді төбеге арналған желдеткіш сүзгі қондырғыларына (FFUs) біріктіруді талап етеді. Бұл нұсқаулық сүзгілерді мақсатты ластаушы бойынша жіктейді: қышқылдар үшін MA сериялары (SOx, HCl), негіздер/аминдер үшін MB сериялары (NH3, литография үшін маңызды) және органикалық заттар/VOC үшін MV сериялары. Маңызды мәселе химиялық сүзгілердің айтарлықтай қарсылық (статикалық қысым) қосады. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. мұны өзінің жоғары айналу моменті EC/AC қозғалтқыштарын өндіру үшін 20 жылдан астам толық салалық тізбек тәжірибесін пайдалану арқылы шешеді. Deshengxin инженерлері тығыз химиялық фильтрация құралдарымен жүктелген кезде де ауа ағынының қажетті жылдамдығын ұстап тұру үшін арнайы әзірленген жоғары статикалық қысымды FFUs.
    Толығырақ оқу
  • Айнымалы ток пен EC FFU: ірі зауыттар үшін 5 жылдық энергия құнының талдауы
    Бұл талдау ауқымды жартылай өткізгіш зауыттардағы айнымалы ток пен EC желдеткіш сүзгі қондырғыларының (FFU) 5 жылдық операциялық шығындарын салыстырады. Үздіксіз 5000 FFU жұмыс істейтін өкілді мекеме үшін дәстүрлі айнымалы ток қозғалтқыштарынан заманауи, жоғары тиімді EC (электрондық коммутацияланған) технологиясына ауысу айтарлықтай үнемдеуге әкеледі. Бір бірлікке 50 ватт үнемдеу және 0,10 доллар/кВт/сағ электр энергиясы шығындары туралы консервативті бағалауларға сүйене отырып, нысан бес жыл ішінде тек электр энергиясының тікелей шығындарынан жыл сайын 219 000 АҚШ долларынан астамын үнемдейді. Қосымша айтарлықтай үнемдеу EC қозғалтқыштарының жылу шығаруының төмен болуына байланысты HVAC салқындату жүктемелерін азайту арқылы жүзеге асырылады. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. бұл ROI-ді өзінің «толық сала тізбегі» артықшылығы арқылы жоғарылатады, өзінің жоғары өнімділігі жоғары EC қозғалтқыштарын арнайы FFU үшін өз үйінде жасап, бәсекеге қабілетті бастапқы бағамен жоғары деңгейлі тиімділікті қамтамасыз етеді.
    Толығырақ оқу
Қытайдағы Cleanroom жабдықтарының жетекші жеткізушісі ретінде бізде кәсіби сату тобы, кең жеткізушілер, нарықта терең қатысу және тамаша бір терезе қызметтері бар.

БІЗБЕН ХАБАРЛАСЫҢЫ

Телефон:+86-0512-63212787-808
Электрондық пошта: nancy@shdsx.com
WhatsApp:+86- 13646258112
Қосу: Шығыс Тунсин жолының №18, Тайху Нью-Таун, Уцзян ауданы, Сучжоу қаласы. Цзянсу провинциясы, Қытай

ЖЫЛДАМ СІЛТЕМЕЛЕР

ӨНІМДЕР САНАТЫ

БІЗДІҢ ЖАҢАЛЫҚ Бюллетеньге ТІРКЕЛІҢІЗ

Авторлық құқық © 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO.,LTD.Барлық құқықтар қорғалған.｜ Сайт картасы