Үшінші буындағы жартылай өткізгішті тазалау жабдығы (SiC, GaN) қатты кеңістік шектеулеріне тап болады. 250–350 мм стандартты FFU осы жетілдірілген құралдардың шектеулі тік саңылауына сыймайды. Бұл мақалада DSX 70 мм ультра жұқа EFU - кеңістік шектеулі жабдықты біріктіру үшін арнайы әзірленген. Жалпы жұмыс қалыңдығы ~100мм, ULPA фильтрациясының тиімділігі 99,9995% (@0,12μm) дейін және толық жеткізу тізбегі арқылы бұл шешім тазалау жабдығы өндірушілеріне таза бөлменің өнімділігін төмендетпестен ішкі кеңістікті барынша арттыруға мүмкіндік береді.
 

Желдеткіш сүзгі қондырғылары (FFU) және жабдық желдеткіш сүзгі бөліктері (EFU) заманауи таза бөлмелерде қолданылатын маңызды ауа ағыны жүйелері болып табылады. FFU бүкіл таза бөлме ортасының тазалығын сақтай отырып, EFU белгілі бір өндірістік жабдық үшін жергілікті ультра таза ауа ағынын қамтамасыз етеді. Бұл мақалада FFU және EFU жүйелері арасындағы негізгі айырмашылықтар, олардың жартылай өткізгіштер мен электроника өндірісіндегі қолданылуы және ауа ағынының ең қолайлы шешімін таңдау жолы түсіндіріледі. Ол сондай-ақ заманауи жартылай өткізгіш жабдықтардың қатаң кеңістік талаптарын қанағаттандыру үшін әзірленген инновациялық төмен профильді EFU конструкцияларын ұсынады.

Кіріспе: Фармацевтикалық таза бөлме парадигмасының ауысуы Фармацевтикалық өндірісте үлестер жоғары болуы мүмкін емес. Нормативтік талаптардың күшеюіне және өнімнің тазалығына үміт артуына байланысты таза бөлме дизайны бір өлшемге сәйкес келетін тәсілден анағұрлым нюансты, қолданбалы дизайнға айналды.

DSX (Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.) фармацевтика және өмір туралы ғылымдар салаларына тігінен біріктірілген EFU шешімдерін ұсынады. 30 000 шаршы метр қондырғымызды және меншікті EC қозғалтқыштарын пайдалана отырып, біз ауа ағынын дәл бақылауды және асептикалық өңдеу және зертханалық орталар үшін қатаң GMP сәйкестігін қамтамасыз ететін зарарсыздандырылған EFU (304/316L тот баспайтын болат) шығарамыз.

DSX дәл өңдеу өнеркәсібі үшін арнайы тігінен біріктірілген EFU шешімдерін ұсынады. 30 000 шаршы метрлік қондырғымызда меншікті EC қозғалтқыштары мен жетілдірілген сүзгілерді өзімізде өндіру арқылы біз микро-діріл мен ауадағы молекулалық ластануды (AMC) жойып, жартылай өткізгіштер мен жоғары технологиялық өндірісте максималды өнімділікті қамтамасыз етеміз.

Заманауи ғылыми зерттеулерде ISO стандартындағы ауа тазалығына қол жеткізу тек бастамасы ғана. Жартылай өткізгіш ҒЗТКЖ, биотехнология немесе дәл метрологияда болсын, жабдықтың ішіндегі орта таза бөлменің өзі сияқты маңызды. Мұнда жабдық желдеткіш сүзгі бөлігі (EFU) қажет емес болады