Ауадағы молекулярлық ластану (AMC) пластинаның жетілдірілген өндіріс түйіндерінде (су-10 нм) өнімге үлкен қауіп төндіреді, бұл металл коррозиясы (қышқылдардан) және фоторезисттік «Т-төбеге» (негіздерден/аминдерден) сияқты ақауларды тудырады. Тиімді бақылау арнайы химиялық сүзгілерді төбеге арналған желдеткіш сүзгі қондырғыларына (FFUs) біріктіруді талап етеді. Бұл нұсқаулық сүзгілерді мақсатты ластаушы бойынша жіктейді: қышқылдар үшін MA сериялары (SOx, HCl), негіздер/аминдер үшін MB сериялары (NH3, литография үшін маңызды) және органикалық заттар/VOC үшін MV сериялары. Маңызды мәселе химиялық сүзгілердің айтарлықтай қарсылық (статикалық қысым) қосады. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. мұны өзінің жоғары айналу моменті EC/AC қозғалтқыштарын өндіру үшін 20 жылдан астам толық салалық тізбек тәжірибесін пайдалану арқылы шешеді. Deshengxin инженерлері тығыз химиялық фильтрация құралдарымен жүктелген кезде де ауа ағынының қажетті жылдамдығын ұстап тұру үшін арнайы әзірленген жоғары статикалық қысымды FFUs.

Бұл талдау ауқымды жартылай өткізгіш зауыттардағы айнымалы ток пен EC желдеткіш сүзгі қондырғыларының (FFU) 5 жылдық операциялық шығындарын салыстырады. Үздіксіз 5000 FFU жұмыс істейтін өкілді мекеме үшін дәстүрлі айнымалы ток қозғалтқыштарынан заманауи, жоғары тиімді EC (электрондық коммутацияланған) технологиясына ауысу айтарлықтай үнемдеуге әкеледі. Бір бірлікке 50 ватт үнемдеу және $0,10/кВт/сағ электр энергиясы шығындары туралы консервативті бағалауларға сүйене отырып, объект тек электр энергиясының тікелей шығындарынан жыл сайын 219 000 АҚШ долларын үнемдейді, бұл бес жыл ішінде жалпы сомасы 1 миллион доллардан асады. Қосымша айтарлықтай үнемдеу EC қозғалтқыштарының жылу шығаруының төмен болуына байланысты HVAC салқындату жүктемелерін азайту арқылы жүзеге асырылады. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. бұл ROI-ді «толық сала тізбегі» артықшылығы арқылы ұлғайтады, өзінің жоғары өнімділігі жоғары EC қозғалтқыштарын FFU үшін арнайы өз үйінде жасап, бәсекеге қабілетті бастапқы бағамен жоғары деңгейлі тиімділікті қамтамасыз етеді.

H1: Бөлме жағында ауыстырылатын (RSR) FFU: нөлдік тоқтап тұрған таза бөлмеге техникалық қызмет көрсетуге арналған түпкілікті шешім. Бөлме жағында ауыстырылатын (RSR) FFU алтын стандартқа айналды, ол EN мүмкіндік береді

Бұл нұсқаулық DeshengXin компаниясының таза ауа технологиясындағы инновациялар мен сапаға адалдығына баса назар аудара отырып, FFU классификацияларының, қолданбаларының және таңдау критерийлерінің егжей-тегжейлі талдауын қамтамасыз етеді.

Бұл нұсқаулықтың маңызды рөлін егжей-тегжейлі сипаттайды антистатикалық FFUs . Таза бөлменің қауіпсіздігі мен тиімділігін оңтайландыру үшін теңшеу опцияларын, сәйкестік стандарттарын және инженерлік үздік тәжірибелерді көрсететін жоғары технологиялық салалардағы

FFU санын есептеу әдісі және Deshengxin техникалық қолдауы1. FFUFFU анықтамасы мен мақсаты, желдеткіш сүзгі бірлігін білдіреді, модульдік, өздігінен жұмыс істейтін және жоғары тиімді ауа тазарту құрылғысы. Ол таза және тұрақты ауаны қамтамасыз ету үшін таза бөлмелерде кеңінен қолданылады, ауаның тазалығын қамтамасыз етеді.