FILTER KIMIA
Masalah korosi lan kontaminasi bau ing lingkungan industri ing akeh pabrik. iku ora disebabake dening faktor siji lan ora bisa ditanggulangi dening solusi siji.
Standar SEMl F21-95 nyedhiyakake metode klasifikasi kamar resik mikroelektronik kanthi tingkat Kontaminasi Molekul Udara (AMC). Iki kanggo kontaminasi fase gas, analog karo standar Federal 209E kanggo kontaminasi partikel.SEMstandar F21-95 nggolongake kamar resik adhedhasar kategori kontaminasi fase gas, lan tingkat konsentrasi sing diidini kanggo saben kategori.
Papat kategori kontaminan fase gas:
1. Asam (kategori A):
Gas korosif sing bereaksi sacara kimia minangka asam (reseptor elektron)
2.Basa (kategori B): Qasses korosif sing bereaksi sacara kimia minangka basa (donor elektron)
3. Condensables (kategori C): Contaminants kang titik didih biasane ndhuwur suhu kamar lan bisa condensing ing lumahing wafer.
4. Dopan (kategori D):
Kontaminasi sing ngowahi sifat listrik bahan semikonduktor.
Klasifikasi SEMl F21-95 diidentifikasi kanthi huruf 'M',diterusake karo kategoridesignator,banjur konsentrasi contaminant sing diidinake ing bagean saben triliun(ppt).
Klasifikasi Kontaminan Molekul Airborne
| Kategori Material |
1 ppt |
10 ppt |
100 ppt |
1.000 ppt |
10.000 ppt |
| Asam |
MA-1 |
MA-10 |
MA-100 |
MA-1000 |
MA-10.000 |
| dhasar |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
MB-1000 |
MB-10.000 |
| Condensables |
MC-1 |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10.000 |
| Dopan |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10.000 |
'SEMlF21-95:Klasifikasi Tingkat Kontaminasi Molekul Udhara ing Lingkungan Bersih'.1 ppb=1.000 ppt,lan 1ppm=1.000.000 ppt.
Konsentrasi AMC (kontaminan molekul udara) sing diidini gumantung marang kelas kamar resik, proses sing digunakake, lan peralatan sing digunakake.
Batesan AMC sing digambarake kanggo Proses 0,25 um
| Langkah Proses |
MAX Sit Time |
MA(ppt) |
MB (ppt) |
MC (ppt) |
MD (ppt) |
| Pre-gateoxidation |
4 jam |
13.000 |
13.000 |
1.000 |
0.1 |
| Salisida |
1 jam |
180 |
13.000 |
35.000 |
1.000 |
| Formasi Kontak |
24 jam |
5 |
13.000 |
2.000 |
100.000 |
| DUV Photoritagraphy |
2 jam |
10.000 |
1.000 |
100.000 |
10.000 |
Kontaminan lan Konsentrasi Umum ing Kamar Resik
| kategori |
rereged |
Konsentrasirangr, ppt Kurang Dhuwur |
Asam |
Asam klorida |
20.000 |
400,000 |
| Asam hidrofluorat |
40.000 |
250.000 |
| Asam Nitrat |
20.000 |
250.000 |
| Asam sulfat |
10.000 |
300.000 |
| Asam fosfat |
10.000 |
400.000 |
| Asam asetat |
10.000 |
250.000 |
| Nitrogen dioksida |
30.000 |
300.000 |
| Sulfur dioksida |
10.000 |
150.000 |
dhasar |
amonia |
10.000 |
200.000 |
| NMP |
20.000 |
300.000 |
Condensables |
Aseton |
20.000 |
500.000 |
| Toluene |
10.000 |
250.000 |
Dopan |
Asam borat |
ND |
200.000 |
| Fosfor kita |
ND |
5.000 |
| Arsine |
ND |
50.000 |
Papat Techniques utama kanggo Ngontrol ambu ora enak lan rereged gas: masking, pangobongan,.ventilasi lan aman.Pellets Media digunakake kanggo ngontrol rereged gas dening adsorp-tion lan oksidasi.Chemical Filter bisa dibusak rereged molekul dening adsorbing lan nresep prinsip.
Kanggo ngresiki hawa kanthi ngilangi materi partikel, senyawa gas lan uap, saringan partikel ora efektif kanggo gas lan uap sing ora dikarepake.
Nalika molekul gas utawa cair tekan permukaan adsorben lan tetep tanpa reaksi kimia, fenomena kasebut diarani adsorpsi fisik utawa fisisorpsi.
Karbon bisa diresapi karo bahan kimia liyane kanggo nambah gas tartamtu saka kapasitas nyerep rendah dening karbon sing ora diolah. Bahan kimia kasebut bereaksi karo gas kanggo nyuda konsentrasi kontaminan.
Cara liya kanggo mbusak gas tartamtu yaiku nyekel lan bereaksi karo gas kasebut. Proses iki diarani chemisorption.
Akeh bahan adsorptif kasedhiya; saben wong duwe karemenan khusus kanggo uap tartamtu.
Tlatah lumahing tambah nalika dimensi karbon saya cilik. Ukuran partikel bisa dadi cilik banget, sanajan mung dadi bledug karbon. Iki uga nggawe masalah oncat menyang uap udhara, utawa packing tightly nyebabake tekanan dhuwur mudhun. Ukuran optimal kudu ditemtokake kanthi eksperimen.
Ing sistem rereged molekuler, efisiensi mbusak rereged awal ora gumantung ing bobot, ukuran partikel karbon, lan aktivitas karbon, Total area lumahing lan kimia lumahing loro paramèter penting kanggo nemtokake efficiency dhisikan.
Yen polusi udhara banget lembab (kaya ing dina udan), Kelembapan bisa adsorbed competitively karo gas terkontaminasi diangkah kanggo kapasitas karbon, Nanging.f reaksi ischemisorbed, Kelembapan bisa nambah reaksi kanthi cepet.
Suhu uga bisa mengaruhi tingkat adsorpsi nalika suhu wis gettinghigher.it harder kanggo narik rereged menyang karbon.
