一般的な製造用のクリーンルームを設計する場合、施設管理者は多くの場合、空気流量とエネルギー消費を優先します。ただし、などの環境では 精密計測研究所、電子顕微鏡室、先端半導体工場、音響性能と微振動制御が絶対的な最優先事項となります。
ファン フィルター ユニット (FFU) からの過度のノイズは、オペレーターの疲労を引き起こすだけではありません。音波とモーターの高調波は物理的な振動を高感度の光学機器に伝達し、ナノスケールの測定と製品の歩留まりを台無しにする可能性があります。
では、プレミアム低ノイズ FFU にはどの程度のノイズ レベルを期待する必要があるのでしょうか? Wijiang Deshengxin (DSX) 浄化は、 静寂の背後にある音響データとエンジニアリングを分解します。
クリーンルーム内の騒音は通常、A 加重スケール [dB(A)] を使用してデシベル単位で測定され、フィルター面の下の距離で 1.0 ～ 1.5 メートル 標準動作速度 0.45 m/s で測定されます。
標準的な商用 FFU: 一般的な市販の AC モーター FFU は、 58 dB(A) ～ 65 dB(A)の間の出力を生成します。これらのユニットが何百台も同時に稼働していると、クリーンルーム内が騒々しい工場フロアのように聞こえる可能性があり、通信が困難になり、深刻な高調波共鳴が発生します。
DSX Ultra-Quiet Standard: 真の DSX Purification によって設計された低ノイズ FFU は、 大幅に低減された音響レベルで動作し、標準的な動作負荷下で通常 48 dB(A) ～ 56 dB(A)を達成します 。
これを大局的に考えると、50 dB(A) は、静かな現代のオフィスや静かな図書館の背景騒音に相当します。大規模なクリーンルームアレイでは、この 10 デシベルの低減は、数学的に人間の耳では 半分の音量として認識されます。 標準ユニットの
金属製の箱の中に吸音フォームを入れるだけでは、音響の問題を解決するには十分ではありません。真の騒音と振動の低減には、エアフローとモーターをゼロから設計する必要があります。
DSX は 100% 垂直統合型のメーカーであるため、次の 3 つの独自技術により発生源でノイズを除去します。
1. 空気力学に基づいたインペラ設計（風切り音の抑制）
FFU 騒音の主な発生源は空気の「シュー」音です。 DSX エンジニアは、高度な 3D 流体力学を利用して、航空グレードのカスタム アルミニウム インペラを設計します。これらの後方に湾曲した遠心ブレードは空気をスムーズに切り裂き、ハウジング内に音響轟音を引き起こす乱流「渦流」を防ぎます。
2. EC モーターの高調波抑制 (機械的鳴きの除去)
従来の AC モーターは、磁気「ハム」と機械的磨耗に悩まされていました。 DSX は独自の EC (Electronically Commutated) ブラシレスモーター。当社のインテリジェントな制御ボードによって駆動されるこれらのモーターは、電気高調波を抑制するスムーズな無段階電子整流を備えています。その結果、完全な静音性と微振動ゼロで回転するモーターが誕生しました。
3. 内部音響バッフルと振動絶縁
DSX 低ノイズ FFU の内部アーキテクチャは、無響室として機能します。空気がHEPAフィルターに当たる前に穏やかに拡散するように気流経路を設計しています。さらに、モーターは特殊な防振ダンパーを使用して取り付けられており、回転モーターの運動エネルギーが金属ハウジングやクリーンルームの天井グリッドに伝達されないようにしています。
プロセスに走査型電子顕微鏡 (SEM)、フォトリソグラフィー、または重要なライフ サイエンスが含まれる場合、音響の完全性は空気の純度と同じくらい重要です。
既製の振動音の大きいファンで精密機器を危険にさらさないでください。
