この記事では、以下の包括的な概要を説明します。 半導体製造装置向けの超薄型EFU（装置ファンフィルターユニット） 技術。これは、標準的な FFU が収まらない高度な半導体ツールの限られた内部スペースという重大な課題に対処します。このソリューションである 70 mm の超薄型 EFU が紹介され、カスタム設計の EC ブラシレス マイクロ ファン、自社製造のミニプリーツ HEPA/ULPA フィルター、および最適化された内部形状を通じて、フル サプライ チェーンの製造がどのようにしてこの画期的な進歩を可能にするのかについて詳細に説明されています。主要な技術仕様、AMC 汚染制御、スマート制御機能、およびフロントエンドおよびバックエンド機器にわたるアプリケーション シナリオがカバーされています。
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この記事では、ファン フィルター ユニット (FFU) とエア ハンドリング ユニット (AHU) を比較し、その構造、気流制御、クリーンルーム環境での代表的な用途について説明します。
FFU と層流フードのどちらを選択するかは、きれいな空気の目標によって異なります。層流フードは、研究室作業や医薬品の取り扱いなどの局所的な無菌作業に厳密な一方向の空気流を提供します。 FFU は、大面積のクリーンルームの適用範囲、機器統合 (EFU)、および半導体やリチウム電池の製造などの産業用途向けに設計されたモジュール式のスケーラブルなユニットです。 FFU は一部の設計レイアウトで層流フードを置き換えることができますが、専用フードの正確な使用時点の滅菌制御には匹敵しません。これを誤解すると、乱気流、デッドゾーン、コストの増加につながります。このガイドでは、エアフローのタイプ、適用範囲、システム設計、およびアプリケーションの適合性を詳しく説明しており、エンジニアとバイヤーが正しい選択をできるように支援します。
ISO 5 準拠のエア フィルターの重要な要件を学びます。この技術ガイドでは、粒子濃度の制限 (最大 3,520 個の粒子 ≥0.5μm/m 3 )、H14/U15 ろ過の必要性、および Deshengxin の垂直統合製造がクラス 100 環境で安定した層流と漏れなしの性能をどのように保証するかについて説明します。
