第 3 世代半導体洗浄装置 (SiC、GaN) は、厳しいスペース制約に直面しています。 250 ～ 350 mm の標準 FFU は、これらの高度なツールの限られた垂直方向のクリアランスに収まりません。この記事では、スペースに制約のある機器統合用に特別に設計された DSX の 70mm 超薄型 EFU を紹介します。動作時の総厚さ約 100mm、最大 99.9995% (@0.12μm) の ULPA 濾過効率、フルサプライチェーン製造を備えたこのソリューションにより、洗浄装置メーカーはクリーンルームのパフォーマンスを損なうことなく内部スペースを最大化できます。
 

この記事では、以下の包括的な概要を説明します。 半導体製造装置向けの超薄型EFU（装置ファンフィルターユニット） 技術。これは、標準的な FFU が収まらない高度な半導体ツールの限られた内部スペースという重大な課題に対処します。このソリューションである 70 mm の超薄型 EFU が紹介され、カスタム設計の EC ブラシレス マイクロ ファン、自社製造のミニプリーツ HEPA/ULPA フィルター、および最適化された内部形状を通じて、フル サプライ チェーンの製造がどのようにしてこの画期的な進歩を可能にするのかについて詳細に説明されています。主要な技術仕様、AMC 汚染制御、スマート制御機能、およびフロントエンドおよびバックエンド機器にわたるアプリケーション シナリオがカバーされています。

2026 年世界の FFU メーカー トップ 5 – 業界リーダーの比較FFU クリーン ルームの紹介ファン フィルター ユニット (FFU) は、空気中の有害な粒子を除去することにより、クリーンルーム、研究室、医療施設、微小環境に浄化された空気を供給する電動空気濾過装置です。

Wijiang Deshengxin は中国の半導体 FFU の専門メーカーで、半導体クリーンルーム用の高効率ファン フィルター ユニットを供給しています。当社の EC FFU は、30 ～ 50% のエネルギー節約、99.995% の濾過効率、および ISO 14644 準拠を特徴としています。 OEMおよびODMが利用可能です。信頼性の高いクリーンルーム ソリューションについてはお問い合わせください。

 

Deshengxin EC FFU (ファン フィルター ユニット) は、30 ～ 50% のエネルギー節約を達成する統合 DC モーター テクノロジー、最大 99.9995% の HEPA/ULPA 濾過効率、モジュール式冗長設計、およびインテリジェントな Modbus/BACnet 制御を特徴としています。 ISO クラス 1 ～ 5 の半導体クリーンルーム、バイオ医薬品 GMP 施設、リチウム電池生産に適しています。カスタムサイズ、ESD安全構造、ケミカルフィルターの統合も可能です。

2026 年第 1 四半期の世界の半導体装置出荷額は、AI 関連投資により前年比 14% 増の 365 億 5000 万ドルに達し、高度なクリーンルーム インフラストラクチャに対する需要は急増し続けています。 Wijiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. は、FFU、エア シャワー、パス ボックス、HEPA フィルター、クリーン ベンチ、モジュラー クリーンルームをカバーするフルチェーン生産モデルを備え、半導体ウェーハ製造工場、高度なパッケージング、超精密製造ライン向けにカスタマイズされた ISO 準拠の汚染制御ソリューションを提供しています。