HEPA および ULPA フィルターは、クリーンルーム空気濾過システムの必須コンポーネントです。どちらも非常に小さな浮遊粒子を除去するように設計されていますが、濾過効率、通気抵抗、使用環境が異なります。この記事では、HEPA フィルターと ULPA フィルターの違い、その性能特性、および半導体、製薬、電子機器製造のクリーンルームに適したろ過ソリューションを選択する方法について説明します。

クリーンルーム内の HEPA または ULPA フィルターの最適な交換時期は、カレンダーのスケジュールに基づいて決定するのではなく、圧力差 (ペンシルベニア州パスカルで測定) を使用した状態ベースの監視に基づいて決定する必要があります。フィルターの交換が早すぎると予算が無駄になりますが、フィルターの交換が遅すぎると気流速度と生産収率が損なわれます。標準手順では、新しいフィルターを適切な空気流 (例: 0.45 m/s) で取り付けたときの「初期抵抗」 (圧力降下) を記録します。通常、フィルタは、圧力差が初期抵抗の 2 倍 (2x) に達した場合、またはファン フィルタ ユニット (FFU) が最大出力でも必要な気流速度を維持できなくなった場合に直ちに交換する必要があります。 Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. は、総合産業チェーン メーカーとして、一貫した初期抵抗仕様を保証し、正確な予知保全を実現します。

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