A harmadik generációs félvezető tisztítóberendezések (SiC, GaN) komoly helyszűkülettel néznek szembe. A 250–350 mm-es szabványos FFU-k egyszerűen nem férnek bele e fejlett szerszámok korlátozott függőleges távolságába. Ez a cikk bemutatja a DSX 70 mm-es Ultra-Thin EFU-ját, amelyet kifejezetten a szűkös helyigényű berendezések integrációjához terveztek. A ~100 mm-es teljes működési vastagság, az akár 99,9995%-os (@0,12 μm) ULPA szűrési hatékonyság és a teljes ellátási láncú gyártás révén ez a megoldás lehetővé teszi a tisztítóberendezések gyártói számára, hogy maximalizálják a belső teret a tisztatér teljesítményének veszélyeztetése nélkül.
 

A ventilátorszűrő egységek (FFU) és a berendezés ventilátorszűrő egységek (EFU) a modern tisztaterekben használatos alapvető légáramlási rendszerek. Míg az FFU-k fenntartják a tisztatér teljes környezetének tisztaságát, az EFU-k helyi, ultra-tiszta légáramlást biztosítanak bizonyos gyártóberendezések számára. Ez a cikk elmagyarázza az FFU és EFU rendszerek közötti főbb különbségeket, a félvezető- és elektronikai gyártásban való alkalmazásukat, valamint a legmegfelelőbb légáramlási megoldás kiválasztását. Emellett innovatív, alacsony profilú EFU-konstrukciókat is bemutat, amelyeket úgy fejlesztettek ki, hogy megfeleljenek a modern félvezető berendezések szigorú helyigényének.

Bevezetés: A gyógyszerészeti tisztatéri paradigmaváltás A gyógyszergyártásban a tét nem is lehetne nagyobb. A szabályozási követelmények szigorodásával és a terméktisztasággal kapcsolatos elvárások fokozódásával a tisztatér-tervezés az egy méretben használható megközelítésből egy árnyaltabb alkalmazási területté fejlődött.

A DSX (Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.) vertikálisan integrált EFU-megoldásokat kínál a gyógyszer- és élettudományi ipar számára. 30 000 nm-es létesítményünk és szabadalmaztatott EC motorjaink felhasználásával steril minőségű EFU-kat (304/316L rozsdamentes acél) gyártunk, amelyek precíz légáramlás-szabályozást és szigorú GMP-megfelelést biztosítanak az aszeptikus feldolgozási és laboratóriumi környezetben.

A DSX vertikálisan integrált EFU-megoldásokat kínál kifejezetten a precíziós gyártóipar számára. A szabadalmaztatott EC motorok és fejlett szűrők házon belüli, 30 000 nm-es létesítményünkben történő gyártásával kiküszöböljük a mikrovibrációt és a levegőben terjedő molekuláris szennyeződést (AMC), így maximális hozamot biztosítunk a félvezető és a csúcstechnológiás gyártás számára.

A modern tudományos kutatásban az ISO szabvány szerinti levegőtisztaság elérése csak a kezdet. Legyen szó a félvezető kutatásról és fejlesztésről, a biotechnológiáról vagy a precíziós metrológiáról, a berendezés belsejében lévő környezet ugyanolyan kritikus, mint maga a tisztatér. Itt válik nélkülözhetetlenné a berendezés ventilátorszűrő egysége (EFU).