VEGYI SZŰRŐ

A korrózió és a szagszennyezés problémája ipari környezetben számos gyárban. nem egyetlen tényező okozza, és egyetlen megoldással sem lehet megoldani.

A SEMl F21-95 szabványa módszert biztosít a mikroelektronikai tisztaterek osztályozására az Airbore Molecular Contamination (AMC) szintjei alapján. Ez a gázfázisú szennyeződésekre vonatkozik, a 209E szövetségi szabvánnyal analóg a részecskeszennyeződésre vonatkozóan. A SEM F21-95 szabvány a tisztateret a gázfázisú szennyezőanyag kategóriája és az egyes kategóriák megengedett koncentrációja alapján osztályozza.

A gázfázisú szennyeződések négy kategóriája:

1. Savak (A kategória):

Maró hatású gázok, amelyek kémiailag savakként reagálnak (elektronakceptor)

2. Bázisok (B kategória): Korrozív qass-ok, amelyek kémiailag bázisként reagálnak (elektrondonor)

3. Kondenzálható anyagok (C kategória): Olyan szennyeződések, amelyek forráspontja jellemzően szobahőmérséklet felett van, és képesek lecsapódni az ostya felületén.

4. Adalékanyagok (D kategória):

Szennyezőanyagok, amelyek módosítják a félvezető anyagok elektromos tulajdonságait.

A SEMl F21-95 besorolást az 'M' betű követi, ezt követi a kategóriajelölő, majd a megengedett szennyezőanyag-koncentráció triliononként (ppt). Például az MA-10 osztályozása úgy értelmezhető, hogy a szobalevegőben lévő összes savas gáz maximális megengedett koncentrációja 10 ppt.

A levegőben szálló molekuláris szennyeződések osztályozása

Anyag kategória	1 ppt	10 ppt	100 ppt	1000 ppt	10 000 ppt
Savak	MA-1	MA-10	MA-100	MA-1000	MA-10 000
Alapok	MB-1	MB-10	MB-100	MB-1000	MB-10 000
Kondenzátorok	MC-1	MC-10	MC-100	MC-1000	MC-10 000
Adalékanyagok	MD-1	MD-10	MD-100	MD-1000	MD-10 000

'SEMlF21-95: A levegőben terjedő molekuláris szennyezőanyagok szintjének osztályozása tiszta környezetben'.1 ppb = 1 000 ppt és 1 ppm = 1 000 000 ppt.

A megengedett AMC (levegő molekuláris szennyeződések) koncentrációja a tisztatér osztályától, az alkalmazott eljárástól és az alkalmazott berendezésektől függ.

A 0,25 um-os folyamat tervezett AMC-határai

Folyamat lépés	MAX ülésidő	MA(ppt)	MB (ppt)	MC (ppt)	MD (ppt)
Elő-gateoxidáció	4 óra	13 000	13 000	1000	0.1
Szalicidáció	1 óra	180	13 000	35 000	1000
Kapcsolatfelvétel	24 óra	5	13 000	2000	100 000
DUV fotoritagráfia	2 óra	10 000	1000	100 000	10 000

Tipikus szennyeződések és koncentrációk a tisztatérben

Kategória	Szennyezőanyagok	Concentrationrangr, ppt                   Alacsony Magas
Savak	Sósav	20 000	400 000
	Hidrofluorsav	40 000	250 000
	Salétromsav	20 000	250 000
	Kénsav	10 000	300 000
	Foszforsav	10 000	400 000
	Ecetsav	10 000	250 000
	Nitrogén-dioxid	30 000	300 000
	Kén-dioxid	10 000	150 000
Alapok	Ammónia	10 000	200 000
	NMP	20 000	300 000
Kondenzátorok	Aceton	20 000	500 000
	Toluol	10 000	250 000
Adalékanyagok	Bórsav	ND	200 000
	Foszfort	ND	5000
	Arzin	ND	50 000

A szag- és gázszennyeződések ellenőrzésének négy fő technikája: maszkolás, égés, szellőztetés és eltávolítás. A közegpelleteket a gázszennyeződések adszorpció és oxidáció útján történő szabályozására használják. A vegyi szűrők adszorbeálásával és abszorbeálásával eltávolíthatók a molekuláris szennyeződések.

A levegő tisztítása a részecskék, gáz- és gőz halmazállapotú anyagok eltávolításával A részecskeszűrők nem hatékonyak a nemkívánatos gázokkal és gőzökkel szemben.

Amikor gáznemű vagy folyékony molekulák elérik az adszorbens felületét, és kémiai reakció nélkül maradnak, a jelenséget fizikai adszorpciónak vagy fiziszorpciónak nevezik.

A szenet más vegyszerekkel lehet impregnálni, hogy kezeletlen szénnel javítsanak bizonyos alacsony adszorpciós kapacitású gázokat. Ezek a vegyszerek reakcióba lépnek a gázokkal, hogy csökkentsék a szennyezőanyag-koncentrációt.

Egy másik módszer bizonyos gázok eltávolítására az, hogy felfogjuk és reagálunk velük. Ezt a folyamatot kemiszorpciónak nevezik.

Számos adszorpciós anyag áll rendelkezésre; mindegyik különleges affinitással rendelkezik bizonyos gőzökhöz.

A felület a szén méretének csökkenésével nőtt. A szemcseméret nagyon kicsi lehet, még akkor is, ha csak szénpor lesz belőle. A levegőgőzbe való kijutással, vagy a szoros tömörítéssel is nagy nyomásesést okoz. Az optimális méretet kísérletezéssel kell meghatározni.

A molekuláris szennyezőanyagok rendszerében a kezdeti szennyezőanyag-eltávolítási hatékonyság nem függ a tömegtől, a szénrészecskemérettől és a szénaktivitástól. A teljes felület és a felület kémiája a kezdeti hatékonyság meghatározásának két fontos paramétere.

Ha a légszennyezettség nagyon párás (mint egy esős napon), a nedvesség versenyképesen adszorbeálható célzott szennyezett gázokkal a szén-kapacitás érdekében. Ha azonban a reakció ischemiszorbeálódik, a nedvesség gyorsan fokozhatja a reakciót.

A hőmérséklet is befolyásolhatja az adszorpció sebességét, amikor a hőmérséklet egyre magasabb. nehezebb a szennyeződéseket a szénhez vonzani.