לוגו DSX

יצרן ציוד לחדר נקי חד פעמי עבור מוליכים למחצה ואלקטרוניקה

半导体制造

פתרון אתגרים קריטיים בייצור מיקרו-אלקטרוניקה

אובדן תפוקה: חלקיקים מוטסים הם האויב מספר 1 של תפוקת פרוסות. אנו מציעים סינון בדרגה ISO Class 1.
רגיש לרטט: מאווררים מסורתיים רוטטים ופוגעים בליטוגרפיה מדויקת. המנועים המאוזנים שלנו מבטיחים רטט נמוך במיוחד.
סיכוני ESD: חשמל סטטי הורס שבבים. אנו מספקים צביעה אנטי סטטית (ESD) וחומרים לכל הציוד.
 
 

פתרונות אוויר לחדר נקי של מוליכים למחצה: FFU ו-EFU עבור Wafer Fab | FFUFAN

无尘室解决方案英文(1).png
1
מסנן מראש
2
מסנן יעילות בינונית
3
מסנן כימי
4
מסנן HEPA
5
יחידת מסנן מאוורר FFU
6
מסנן כימי
7
מסנן HEPA/ULPA
8
FFU
9
תא נקי
10
תיבת HEPA
11
קופסת HEPA חד פעמית
1
מסנן מראש
2
מסנן יעילות בינונית
3
מסנן כימי
4
מסנן HEPA
5
יחידת מסנן מאוורר FFU
6
מסנן כימי
7
מסנן HEPA/ULPA
8
FFU
9
תא נקי
10
תיבת HEPA
11
קופסת HEPA חד פעמית

שפר את תפוקת הפרוסים שלך עם מערכות הסינון הנמוכות במיוחד של FFU ומערכות סינון ללא AMC. אנו מספקים פתרונות לחדר נקי תואם ISO Class 1 שתוכננו במיוחד עבור תהליכי פוטוליטוגרפיה, תחריט ותהליכי סרט דק.

  • תקני אפס רטט לליטוגרפיה
    תקני אפס רטט לליטוגרפיה
  • סינון AMC מתקדם (ללא בורון וזרחן)
    סינון AMC מתקדם (ללא בורון וזרחן)
ציוד מקיף לכל אזור
רשת תקרה ומערכת מחזור אוויר
 
deshengxin-ffu-עם-תוצרת עצמית-ec-motor
מבחר Deshengxin של מסנני אוויר בעלי יעילות גבוהה, כולל דרגות HEPA (H13, H14) ו-ULPA (U15, U16, U17) לטיהור חדר נקי.
מסנן כימי של Deshengxin (הסרת AMC) לחדרים נקיים מוליכים למחצה. מדיית שרף חילופי פחמן פעיל ויונים שנועדה לנטרל VOCs, חומצות ובסיסים.
למה Deshengxin?
  • שליטה חכמה: יכולת שליטה קבוצתית מסיבית (ניטור של 10,000+ צמתים).
  • אווירודינמיקה: מאוורר ומנוע מכוונים יחד בתוך הבית למינימום רטט (חיוני לליטוגרפיה).
 
מערכת HVAC וסינון קדם
 
סדרת סינון קדם-סינון HVAC של Deshengxin: מסנני פאנל ראשוני G3-G4 ומסנני שקיות/V-Bank F5-F9 ביעילות בינונית. מיועד למערכות MAU בחדר נקי.
מסנן כימי של Deshengxin (הסרת AMC) לחדרים נקיים מוליכים למחצה. מדיית שרף חילופי פחמן פעיל ויונים שנועדה לנטרל VOCs, חומצות ובסיסים.
מסנן HEPA בטמפרטורה גבוהה (250 מעלות צלזיוס) עם איטום סיליקון אדום ומסגרת נירוסטה SUS304. דרגת H13/H14 עבור תנורי ייבוש מוליכים למחצה.

למה Deshengxin?

  • אספקה ​​מלאה: אנו מייצרים את כל ספקטרום המסננים - מ-G3 ועד U17 - ומבטיחים תאימות ורכישת תחזוקה חד-פעמית.
 
כניסת לבוש חומרי וכוח אדם
 
מערכת כניסה לחדר נקי הכוללת מנהרת מקלחת אוויר מנירוסטה מסוג SUS304 (סילוני 25 מטר/שניה) ומכונת כביסה/מייבש אינדוקציה אוטומטית.
ארונות חדר נקי מנירוסטה לאחסון חליפות ארנב ומכונת ניקוי אוטומטית של סוליות נעליים בחדר חלוקים. עיצוב רהיטים נטול אבק.
בוקס דינמי מאובזר עם סינון HEPA ומנורת עיקור UV. מערכת נעילה אלקטרונית למניעת זיהום צולב במהלך העברת החומר.

למה Deshengxin?

  • התאמה אישית של התאמה מושלמת: כל פריסת חדר הלבשה שונה. כיצרן מקור, אנו מתאימים אישית את הממדים של מקלחות אוויר וארונות בגדים כדי  למקסם את ניצול השטח שלך , ומבטיחים זרימה חלקה לצוות.
  • עיצוב ממוקד משתמש: החל  מהדרכה קולית חכמה  במקלחות אוויר ועד לפריסות ארונות ארגונומיות, הציוד שלנו נועד לייעל את תהליך הלבוש, להפחית את זמן הכניסה לצוות ולמזער את שיעורי השגיאות.
 
קו ייצור ובקרת ESD מקומית
 
Deshengxin Ionizing FFU מצויד במוטות יינון משולבים לניטרול אלקטרוסטטי אקטיבי בתהליכי ליתוגרפיה מוליכים למחצה.
Deshengxin Laminar Flow Clean Bench (ISO Class 5 / Class 100). זמין בתצורות זרימה אנכית ואופקית להרכבה ובדיקה בחדר נקי.
תחנת עבודה נקייה להתאמה אישית המציגה רשת תקרת FFU עצמאית. זמין בחומרי קיר שונים כדי להתאים למכונות ייצור ספציפיות.

 למה Deshengxin?

  •  הגנה מקומית משולבת:  אנו מציעים ערכת כלים מלאה לבקרת מיקרו-סביבה.
  •  בקרה סטטית:  שלנו  ה-FFU המייננים  מתוכננים לנטרל סיכוני ESD במקור, בניגוד ליחידות מסנן מאוורר סטנדרטיות.
  • מארזים מגוונים: בין אם אתם זקוקים  לספסלים נקיים  להרכבה או  תאים מודולריים  (אקריליק/פלדה/PVC) לציוד גדול, אנו מייצרים את כל מערכת הדיור והסינון.
  • התאמה מושלמת: אנו מתאימים אישית את כיוון זרימת האוויר (אנכי/אופקי) ואת הממדים כך שיתאימו לתהליך הספציפי שלך, ומבטיחים שכל אינץ' בקו הייצור שלך מוגן.

 

 
למה לבחור יצרן אמיתי לעומת אסמבלר?
 
תכונה Deshengxin (מפעל מקור) מרכיבים רגילים
מנוע ליבה ייצור עצמי (בבית)   מותאם אישית לאווירודינמיקה הטובה ביותר. מנועים גנריים במיקור חוץ   , סכנת אי התאמה.
מגוון מוצרים שרשרת תעשייה מלאה  FFU, מקלחת אוויר, מסננים, גיליון מתכת. מסנני קנייה מוגבלים / מעורבים   כאן, מאווררים שם.
בקרת עלויות מחיר ישיר במפעל   אין סימון מתווכים. מחיר גבוה יותר   תוספת מרווחים מספקים.
זמן אספקה מהיר ובקרה   אנו שולטים בחומרי הגלם. לא בטוח   תלוי בספקי המשנה שלהם.
לאחר מכירות תמיכה טכנית לכל החיים   אנו מכירים כל בורג במכונה שלנו. תגובה איטית   צריך ליצור קשר עם מפעלים מקוריים.
 
בקרת דיוק עבור סביבות רגישות
 
1. יכולת קנה מידה ויציבות מסיבית
מבוססת על פרוטוקולי תקשורת חזקים (Modbus/TCP/IP), המערכת שלנו תומכת ברשת היציבה של 10,000+ צמתים. בין אם עבור מעבדה קטנה או מגה-פאב, המערכת מתרחבת בצורה חלקה ללא השהיית אותות.
2. מיפוי פריסה חזותי
היפרד מקודים מורכבים. אנו מייבאים את פריסת רשת התקרה של חדר נקי לתוכנה, ויוצרים מפה ויזואלית. אתה יכול לבדוק את המצב (מופעל/כבוי/מהירות) של כל מיקום FFU ספציפי ישירות על המסך.
3. זרימת אוויר מדויקת וניהול אנרגיה
פתח חיסכון תפעולי. אתה יכול להגדיר אסטרטגיות של בקרת אזורים (למשל, 'מצב ייצור' לעומת 'מצב לילה/המתנה') להורדת סל'ד בשעות שאינן עבודה, ולהפחית משמעותית את עלויות החשמל.
4. אבחון תקלות חכם
תחזוקה קלה. אם FFU בודד נכשל, המערכת מפעילה אזעקה מיידית ומציינת את הקואורדינטה המדויקת במפה. זה מבטל בדיקה ידנית ומפחית באופן דרסטי את זמן ההשבתה.
5. ממשק מקומי הניתן להתאמה אישית
גלובלי מוכן. מכיוון שאנו מפתחים את קוד המקור בבית, אנו יכולים להתאים אישית את ממשק התוכנה לשפה המקומית שלך. זה מבטיח שהמפעילים באתר שלך יכולים לנהל את המערכת באופן אינטואיטיבי, תוך ביטול מחסומי שפה וצמצום שגיאות תפעול.
מערכת בקרת קבוצות חכמה
ניהול של יותר מ-10,000 FFUs במפעל גדול הוא קל עם Deshengxin. מערכת הבקרה הקניינית שלנו מאפשרת ניטור בזמן אמת, אזעקות שגיאה והתאמת מהירות ממחשב או מסוף נייד בודד.
מיפוי פריסה חזותי של FFU
ה'לב' של חדר נקי
מנועי ה-EC/DC שלנו הפנימיים נבדקים במשך 40,000+ שעות של פעולה רציפה, ומציעים חיסכון באנרגיה של 30% בהשוואה למנועי AC מסורתיים - הפחתה מסיבית בעלויות עבור מפעלי מוליכים למחצה 24/7.
DSX EC/DC Motors אומדן
מפרט טכני: דרגת מוליכים למחצה לעומת FFU סטנדרטי
 
תכונה  FFU סטנדרטי דרגת מוליכים למחצה DSX FFU
סינון מדיה סיבי זכוכית PTFE / ULPA (U15-U17)
הוצאת גז רמות סטנדרטיות חומרים בעלי רמת בורון נמוכה / אפס יציאת גז
רֶטֶט < 1.0 מ'מ/שנייה < 0.5 מ'מ/שניה (מאוזן דינמי)
מערכת בקרה בקרת מהירות ידנית Modbus/TCP Intelligent Group Control
בַּקָשָׁה תעשייה כללית ופל פאב, אריזה, בדיקה
ייצור FFU

מוכן לבנות את חדר נקי מסוג ISO שלך?
בין אם אתה צריך מקלחת אוויר בודדת או 10,000 FFUs למפעל חדש, Deshengxin הוא השותף המהימן שלך.


קבל הצעת מחיר ישירה מהמפעל
 
 שאלות נפוצות עבור חדרים נקיים מוליכים למחצה
 
  • EFU דק במיוחד 70 מ'מ: הפתרון החוסך מקום עבור ציוד ניקוי מוליכים למחצה מהדור השלישי
    ציוד ניקוי מוליכים למחצה מהדור השלישי (SiC, GaN) עומד בפני אילוצי שטח חמורים. FFUs סטנדרטיים ב-250-350 מ'מ פשוט אינם יכולים להתאים למרווח האנכי המוגבל של הכלים המתקדמים הללו. מאמר זה מציג את ה-EFU הדק במיוחד בגודל 70 מ'מ של DSX - תוכנן במיוחד עבור שילוב ציוד מוגבל בחלל. עם עובי תפעולי כולל של ~100 מ'מ, יעילות סינון ULPA עד 99.9995% (@0.12μm), וייצור בשרשרת אספקה ​​מלאה, פתרון זה מאפשר ליצרני ציוד ניקוי למקסם את החלל הפנימי מבלי להתפשר על ביצועי חדר נקי.
     
    קרא עוד
  • יצרן FFU מוליכים למחצה - יחידת מסנן מאוורר חדר נקי של Wujiang Deshengxin
    Wujiang Deshengxin היא יצרנית FFU של מוליכים למחצה מקצועית בסין, המספקת יחידות מסנן מאוורר ביעילות גבוהה לחדרים נקיים של מוליכים למחצה. ה-EC FFU שלנו כולל חיסכון של 30-50% באנרגיה, יעילות סינון של 99.995% ותאימות ל-ISO 14644. OEM ו-ODM זמינים. פנו אלינו לקבלת פתרונות אמינים לחדר נקי.

     
    קרא עוד
  • יצרן FFU מוליכים למחצה | יחידות מסנן מאוורר של Wujiang Deshengxin EC לחדרים נקיים
    Deshengxin EC FFU (יחידת מסנן מאווררים) כולל טכנולוגיית מנוע DC משולבת המשיגה חיסכון באנרגיה של 30-50%, יעילות סינון HEPA/ULPA עד 99.9995%, עיצוב מיותר מודולרי ובקרת Modbus/BACnet חכמה. מתאים לחדרי מוליכים למחצה ISO Class 1-5, מתקני biopharma GMP וייצור סוללות ליתיום. גדלים מותאמים אישית, בנייה בטוחה ב-ESD ושילוב מסננים כימיים זמינים.
    קרא עוד
  • כיצד צמיחת ציוד מוליכים למחצה מניע את הביקוש לחדר נקי | Deshengxin
    מכיוון שהמשלוחים העולמיים של ציוד מוליכים למחצה הגיעו ל-36.55 מיליארד דולר ברבעון הראשון של 2026, עלייה של 14% בהשוואה לשנה המונעת מהשקעות הקשורות לבינה מלאכותית, הביקוש לתשתית חדרים נקיים מתקדמים ממשיך לעלות. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., עם מודל הייצור שלה בשרשרת מלאה המכסה FFUs, מקלחות אוויר, קופסאות מעבר, מסנני HEPA, ספסלים נקיים וחדרים נקיים מודולריים, מספקת פתרונות בקרת זיהום תואמי ISO המותאמים למוצרי פרוסות מוליכים למחצה, אריזה מתקדמת וקווי דיוק אולטרה-דיוק.

     
    קרא עוד
  • יצרן EFU דק במיוחד | יחידות מסנן מאוורר מוליכים למחצה | DSX
    ככל שצמתי ייצור מוליכים למחצה מתכווצים, הדרישה לציוד דיוק, רטט נמוך וחיסכון במקום זינקה שחקים. מציאת ספק אמין המסוגל לעמוד בסובלנות קיצונית אלו תוך שמירה על עלויות היא אתגר גדול. עם למעלה מ-20 שנות מומחיות, Wujiang Deshengxin (DSX) Purification עומדת כיצרנית מובילה של פתרונות לחדר נקי מותאמים אישית. על ידי שמירה על 100% ייצור פנימי של מנועים, מערכות בקרה ומסננים, DSX מספקת ציוד בעל ביצועים גבוהים וחסכוניים המותאם למיקרו-סביבות מוליכים למחצה מורכבות ולהזמנות בכמות גדולה.
     
    קרא עוד
  • פתרון אילוצי מקום בחדרים נקיים: FFU דק במיוחד 70 מ'מ לציוד חלק ושילוב EFEM
    ככל שכלי מוליכים למחצה ועיצובי חדרים נקיים מודולריים הופכים ליותר ויותר קומפקטיים, יחידות מסנן מאוורר מסורתיות מציגות לעתים קרובות אתגרי מרווח גובה במהלך שילוב ציוד (יישומי EFU). מאמר זה מציג את פלטפורמת DSX Ultra Thin FFU, הכוללת פרופיל עומק כולל של 70 מ'מ שתוכנן עבור תקרות מליאה נמוכות, מיני-סביבות וסינון מותקן על כלים. הדיון מכסה כיצד פיתוח המנוע והבקרה המשולב אנכית של DSX מאפשר גורם צורה מופחת מבלי לוותר על אחידות זרימת האוויר או אמינות ארוכת טווח. תרחישי יישומים כוללים EFEMs לטיפול בפרוסות, שיפוצים במלאי, ומודולי ייצור מדויקים מתקדמים שבהם כל מילימטר של שטח אנכי הוא קריטי.
    קרא עוד
 
מאמרים טכניים
  • מדריך תחזוקה: מתי להחליף את מסנני HEPA/ULPA?
    קביעת הזמן האופטימלי להחלפת מסנני HEPA או ULPA בחדרים נקיים לא צריכה להתבסס על לוחות זמנים, אלא על ניטור מבוסס תנאים באמצעות הפרש לחץ (נמדד ב-Pascals, Pa). החלפת מסננים מוקדמת מדי מבזבזת תקציב, בעוד שהחלפתם מאוחרת מדי פוגעת במהירות זרימת האוויר ובתפוקת הייצור. ההליך הסטנדרטי כולל רישום ה'התנגדות הראשונית' (ירידה בלחץ) כאשר מסננים חדשים מותקנים בזרימת אוויר תקינה (למשל, 0.45 מ'/שנייה). יש להחליף מסננים בדרך כלל כאשר הפרש הלחץ מגיע פי שניים (פי 2) מההתנגדות הראשונית, או מיד אם יחידת מסנן המאוורר (FFU) אינה יכולה יותר לשמור על מהירויות זרימת האוויר הנדרשות אפילו בהספק מרבי. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., כיצרנית רשתות בתעשייה מלאה, מבטיחה מפרט התנגדות ראשוני עקבי, מה שהופך את התחזוקה החזויה למדויקת.
    קרא עוד
  • שליטה ב-AMC (זיהום מולקולרי באוויר) בייצור פרוסות
    זיהום מולקולרי באוויר (AMC) מהווה איום חמור להישבר בצמתי ייצור פרוסות מתקדמים (תת 10nm), הגורם לפגמים כמו קורוזיה מתכתית (מחומצות) ו-'T-topping' פוטו-רזיסט (מבסיסים/אמינים). בקרה יעילה דורשת שילוב מסננים כימיים מיוחדים ביחידות מסנן מאוורר תקרה (FFU). מדריך זה מחלק מסננים לפי מזהם מטרה: סדרת MA לחומצות (SOx, HCl), סדרת MB עבור בסיסים/אמינים (NH3, חיוני לליטוגרפיה), וסדרת MV עבור חומרים אורגניים/VOCs. אתגר קריטי הוא שמסננים כימיים מוסיפים עמידות משמעותית (לחץ סטטי). Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. פותרת זאת על ידי מינוף של למעלה מ-20 שנות ניסיון בשרשרת מלאה בתעשייה לייצור מנועי EC/AC בעלי מומנט גבוה משלה. Deshengxin מהנדסים FFUs בלחץ סטטי גבוה שתוכננו במיוחד כדי לשמור על מהירויות זרימת אוויר נדרשות גם כשהם עמוסים באמצעי סינון כימיים צפופים.
    קרא עוד
  • AC vs. EC FFU: ניתוח עלות אנרגיה ל-5 שנים עבור פאבים גדולים
    ניתוח זה משווה את העלויות התפעוליות ל-5 שנים של יחידות סינון מאוורר AC לעומת EC Fan Filter (FFUs) בפקודות מוליכים למחצה בקנה מידה גדול. עבור מתקן ייצוגי המריץ 5,000 FFUs ברציפות, מעבר ממנועי AC מסורתיים לטכנולוגיית EC (מומלצת אלקטרונית) מודרנית ויעילה גבוהה מביא לחסכון משמעותי. בהתבסס על אומדנים שמרניים של חיסכון של 50 וואט ליחידה ועלויות חשמל של 0.10 דולר לקוט'ש, מתקן עומד לחסוך למעלה מ-219,000 דולר בשנה בהוצאות חשמל ישירות בלבד, בסך של למעלה ממיליון דולר במשך חמש שנים. חיסכון משמעותי נוסף מושג באמצעות עומסי קירור HVAC מופחתים עקב פליטת חום נמוכה יותר של מנועי EC. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ממקסמת החזר ROI זה באמצעות יתרון 'שרשרת התעשייה המלאה' שלה, מייצרת מנועי EC בעלי ביצועים גבוהים בעצמה במיוחד עבור ה-FFUs שלה, מה שמבטיח יעילות ברמה העליונה בעלות תחרותית מראש.
    קרא עוד
כספקית מובילה של ציוד חדר נקי בסין, יש לנו צוות מכירות מקצועי, ספקים נרחבים, נוכחות מעמיקה בשוק ושירותים מעולים בנקודת גישה.

צור איתנו קשר

טלפון:+86-0512-63212787-808
דוא'ל: nancy@shdsx.com
WhatsApp：+86- 13646258112
הוסף: מס' 18 של East Tongxin Road, TaihuNew Town, מחוז Wujiang, Suzhou City. Provincie Jiangsu, סין

קישורים מהירים

קטגוריית מוצרים

הירשם לניוזלטר שלנו

זכויות יוצרים © 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO., LTD. כל הזכויות שמורות.｜ מפת אתר