Cad is Seomra Meáite nó Booth Dáilte ann? Is limistéar an-speisialaithe agus iata é Seomra Meáite nó Booth Dáilte atá oiriúnaithe chun timpeallacht rialaithe agus bheacht a sholáthar chun ábhair éagsúla a mheá agus a dháileadh go cruinn. Seo miondealú mionsonraithe ar a phríomhghnéithe, applicati
I bhfótalitagrafaíocht, is féidir fiú micrea-chreathadh dofheicthe a bheith ina chúis le doiléir patrún agus caillteanas toraidh. Míníonn an treoir theicniúil seo conas a bhaineann FFUFAN leibhéil chreathadh amach faoi bhun 0.5 mm/s (RMS). Déanaimid iniúchadh ar ár gcur chuige innealtóireachta, lena n-áirítear imeallaí atá cothromaithe go dinimiciúil, gléasanna mótair a ionsúnn turraingí, agus dearaí struchtúracha dochta atá oiriúnaithe do chriosanna Litagrafaíochta Aicme 1 ISO.
Is bagairt chriticiúil é Éilliú Móilíneach Aerbheirthe (AMC) - arna chatagóiriú mar Aigéid (MA), Boinn (MB), Comhdhlúiteáin (MC), agus Dopants (MD) do phróisis leathsheoltóra fo-10nm. Sonraíonn an treoir theicniúil seo conas na hábhair salaithe seo a chomhrac trí úsáid a bhaint as Straitéis Scagacháin Dé-Chéim . Déanaimid anailís ar an aistriú ó shnáithíní gloine traidisiúnta go meáin PTFE Íseal-Outgassing chun éilliú bórón a chosc agus mínímid ról na scagairí ceimiceacha Malartú ian maidir le criosanna íogaire Litagrafaíochta agus Eitseála a chosaint.”
Cé go mbainistíonn FFUanna caighdeánacha aer seomra glan ginearálta, is iad na hAonaid Scagaire Fan Trealaimh (EFUanna) na fórsaí speisialta um rialú éillithe. Déanann an treoir seo na difríochtaí innealtóireachta a mhiondealú, ag díriú ar an gcaoi a n-éiríonn le EFUanna rialú náid-outgassing agus micrea-chreathadh d'uirlisí leathsheoltóra íogair.
Níor cheart an t-am is fearr chun scagairí HEPA nó ULPA a athsholáthar i seomraí glana a chinneadh bunaithe ar sceidil féilire, ach ar mhonatóireacht bunaithe ar riocht ag baint úsáide as difreálach brú (arna thomhas i Pascals, Pa). Má chuirtear an buiséad dramhaíola róluath in ionad scagairí, agus má dhéantar iad a athchur ró-dhéanach, cuireann sé sin isteach ar threoluas an tsreafa aeir agus ar an táirgeacht. Is éard atá i gceist leis an ngnáthnós imeachta ná an “fhriotaíocht tosaigh” (titim brú) a thaifeadadh nuair a shuiteálfar scagairí nua ag an sruth aeir cuí (m.sh., 0.45 m/s). Ba cheart scagairí a athsholáthar go ginearálta nuair a shroicheann an difreálach brú faoi dhó (2x) an fhriotaíocht tosaigh, nó láithreach mura féidir leis an Aonad Scagaire Fan (FFU) na treoluasanna sreabhadh aeir riachtanacha a choinneáil fiú ag an uaschumhacht. Cinntíonn Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd, mar mhonaróir slabhra lán-tionscail, specs friotaíochta tosaigh comhsheasmhach, rud a fhágann go bhfuil cothabháil thuarthach cruinn.
Cruthaíonn Éilliú Móilíneach Aerbheirthe (AMC) bagairt mhór ar tháirgeacht i nóid ard-tháirgthe sliseog (fo-10nm), rud a chruthaíonn lochtanna mar chreimeadh miotalach (ó aigéid) agus “T-barráil” fótairéiteach (ó bhunanna/aimíní). Éilíonn rialú éifeachtach scagairí ceimiceacha speisialaithe a chomhtháthú in Aonaid Scagaire Feanáin uasteorainn (FFUanna). Déanann an treoir seo na scagairí a chatagóiriú de réir sprice-éillithe: sraith MA le haghaidh aigéid (SOx, HCl), sraith MB do bhunanna/aimíní (NH3, ríthábhachtach don liteagrafaíocht), agus sraith MV le haghaidh orgánacha/VOCanna. Dúshlán ríthábhachtach é go gcuireann scagairí ceimiceacha friotaíocht suntasach (brú statach). Réitíonn Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd é seo trí níos mó ná 20 bliain de thaithí slabhra iomlán tionscail a ghiaráil chun a mhótair EC/AC ard-chasmhóiminte féin a mhonarú. Innealtóirí Deshengxin FFUanna brú ard-statach atá deartha go sonrach chun na treoluasanna sreafa aeir riachtanacha a choinneáil fiú nuair a bhíonn siad luchtaithe le meáin scagacháin cheimiceacha dlúth.