Fabricant unique d’équipements pour salles blanches pour les semi-conducteurs et l’électronique

半导体制造

Résoudre les défis critiques de la fabrication microélectronique

Perte de rendement : les particules en suspension dans l'air sont l'ennemi n°1 du rendement des plaquettes. Nous proposons une filtration de qualité ISO Classe 1.
Sensible aux vibrations : les ventilateurs traditionnels vibrent et endommagent la lithographie de précision. Nos moteurs équilibrés garantissent des vibrations ultra faibles.
Risques ESD : L’électricité statique détruit les puces. Nous fournissons de la peinture et des matériaux antistatiques (ESD) pour tous les équipements.
 
 

Solutions d'air pour salles blanches pour semi-conducteurs : FFU et EFU pour Wafer Fab | FUFAN

Améliorez le rendement de vos plaquettes grâce aux systèmes de filtration à très faibles vibrations et sans AMC de FFU. Nous proposons des solutions pour salles blanches compatibles ISO classe 1, spécialement conçues pour les processus de photolithographie, de gravure et de couches minces.

Un équipement complet pour chaque zone
Grille de plafond et système de circulation d'air
 
Pourquoi Deshengxin ?
  • Contrôle intelligent : capacité de contrôle de groupe massive (surveillance de plus de 10 000 nœuds).
  • Aérodynamique : le ventilateur et le moteur sont réglés ensemble en interne pour minimiser les vibrations (vitales pour la lithographie).
 
Système CVC et pré-filtration
 

Pourquoi Deshengxin ?

  • Approvisionnement complet : Nous produisons toute la gamme de filtres, du G3 au U17, garantissant la compatibilité et un achat de maintenance unique.
 
Entrée du personnel et du matériel
 

Pourquoi Deshengxin ?

  • Personnalisation parfaite : Chaque agencement de vestiaire est différent. En tant que fabricant source, nous personnalisons les dimensions des douches à air et des armoires pour  maximiser l'utilisation de votre espace , garantissant ainsi un flux fluide pour le personnel.
  • Conception centrée sur l'utilisateur : Du  guidage vocal intelligent  dans les douches à air à la disposition ergonomique des armoires, notre équipement est conçu pour rationaliser le processus d'habillage, réduisant ainsi le temps d'entrée du personnel et minimisant les taux d'erreur.
 
Ligne de production et contrôle ESD local
 

 Pourquoi Deshengxin ?

  •  Protection locale intégrée :  nous proposons une boîte à outils complète pour le contrôle du micro-environnement.
  •  Contrôle statique :  nos  FFU ionisants  sont conçus pour neutraliser les risques ESD à la source, contrairement aux unités de filtrage à ventilateur standard.
  • Boîtiers polyvalents : Que vous ayez besoin  de bancs propres  pour l'assemblage ou  de cabines modulaires  (acrylique/acier/PVC) pour de gros équipements, nous fabriquons l'intégralité du boîtier et du système de filtration.
  • Ajustement parfait : Nous personnalisons la direction du flux d'air (verticale/horizontale) et les dimensions pour les adapter à votre processus spécifique, garantissant ainsi que chaque centimètre carré de votre ligne de production est protégé.

 

 
Pourquoi choisir un vrai fabricant plutôt qu'un assembleur ?
 
Fonctionnalité Deshengxin (usine source) Assembleurs ordinaires
Moteur de base Auto-fabriqué (en interne)   personnalisé pour un meilleur aérodynamisme. Moteurs génériques externalisés   , risque de décalage.
Gamme de produits Chaîne industrielle complète  FFU, douche à air, filtres, tôlerie. limités/mixtes ici, fans là-bas.  Filtres d’achats
Contrôle des coûts Prix ​​direct d'usine   Aucune majoration intermédiaire. Prix ​​plus élevé   Marges ajoutées des fournisseurs.
Délai de mise en œuvre Rapide et contrôlable   Nous contrôlons les matières premières. Incertain   Dépend de leurs sous-fournisseurs.
Après-vente Assistance technique à vie   Nous connaissons chaque vis de notre machine. Réponse lente   Besoin de contacter les usines d'origine.
 
Contrôle de précision pour les environnements sensibles
 
1. massives Capacité d'évolutivité et stabilité
Construit sur des protocoles de communication robustes (Modbus/TCP/IP), notre système prend en charge la mise en réseau stable de plus de 10 000 nœuds. Que ce soit pour un petit laboratoire ou une méga-usine, le système se développe de manière transparente sans latence du signal.
2. Cartographie de mise en page visualisée
Dites adieu aux codes complexes. Nous importons la disposition de la grille de plafond de votre salle blanche dans le logiciel, créant ainsi une carte visuelle. Vous pouvez vérifier l'état (On/Off/Speed) de chaque emplacement FFU spécifique directement sur l'écran.
3. Gestion précise du flux d'air et de l'énergie
Réalisez des économies opérationnelles. Vous pouvez définir des stratégies de contrôle de zone (par exemple, « Mode production » ou « Mode nuit/veille ») pour réduire les régimes pendant les heures non travaillées, réduisant ainsi considérablement les coûts d'électricité.
4. Diagnostic intelligent des défauts,
maintenance simplifiée. Si un seul FFU tombe en panne, le système déclenche une alarme instantanée et identifie les coordonnées exactes sur la carte. Cela élimine les vérifications manuelles et réduit considérablement les temps d’arrêt.
5. Interface localisée personnalisable
prête pour le monde entier. Étant donné que nous développons le code source en interne, nous pouvons personnaliser l'interface du logiciel dans votre langue locale. Cela garantit que vos opérateurs sur site peuvent gérer le système de manière intuitive, éliminant ainsi les barrières linguistiques et réduisant les erreurs opérationnelles.
Système de contrôle de groupe intelligent
Gérer plus de 10 000 FFU dans une grande usine est facile avec Deshengxin. Notre système de contrôle exclusif permet une surveillance en temps réel, des alarmes d'erreur et des ajustements de vitesse à partir d'un seul PC ou terminal mobile.
Le « cœur » de la salle blanche
Nos moteurs EC/DC internes sont testés pour plus de 40 000 heures de fonctionnement continu, offrant 30 % d'économies d'énergie par rapport aux moteurs AC traditionnels, soit une réduction massive des coûts pour les usines de semi-conducteurs fonctionnant 24h/24 et 7j/7.
Spécifications techniques : qualité semi-conducteur par rapport au FFU standard
 
Fonctionnalité  FFU standard Qualité semi-conducteur DSX FFU
Média filtrant Fibre de verre PTFE/ULPA (U15-U17)
Dégazage Niveaux standards Matériaux à faible teneur en bore et sans dégazage
Vibration < 1,0 mm/s < 0,5 mm/s (équilibré dynamique)
Système de contrôle Contrôle manuel de la vitesse Contrôle de groupe intelligent Modbus/TCP
Application Industrie générale Fabrication de plaquettes, emballage, tests

Prêt à construire votre salle blanche de classe ISO ?
Que vous ayez besoin d'une seule douche à air ou de 10 000 FFU pour une nouvelle usine, Deshengxin est votre partenaire de confiance.


 
 Questions courantes pour les salles blanches de semi-conducteurs
 
  • Les équipements de nettoyage de semi-conducteurs de troisième génération (SiC, GaN) sont confrontés à de sévères contraintes d'espace. Les FFU standard de 250 à 350 mm ne peuvent tout simplement pas s'adapter au dégagement vertical limité de ces outils avancés. Cet article présente l'EFU ultra-mince de 70 mm de DSX, conçu spécifiquement pour l'intégration d'équipements dans des espaces restreints. Avec une épaisseur opérationnelle totale d'environ 100 mm, une efficacité de filtration ULPA jusqu'à 99,9995 % (@0,12 μm) et une fabrication sur toute la chaîne d'approvisionnement, cette solution permet aux fabricants d'équipements de nettoyage d'optimiser l'espace interne sans compromettre les performances de la salle blanche.
     
  • Wujiang Deshengxin est un fabricant professionnel de FFU de semi-conducteurs en Chine, fournissant des unités de filtre à ventilateur à haut rendement pour les salles blanches de semi-conducteurs. Notre FFU EC présente des économies d'énergie de 30 à 50 %, une efficacité de filtration de 99,995 % et une conformité à la norme ISO 14644. OEM et ODM disponibles. Contactez-nous pour des solutions fiables pour salles blanches.

     
  • Deshengxin EC FFU (Fan Filter Unit) est doté d'une technologie de moteur à courant continu intégrée permettant des économies d'énergie de 30 à 50 %, une efficacité de filtration HEPA/ULPA jusqu'à 99,9995 %, une conception modulaire redondante et un contrôle intelligent Modbus/BACnet. Convient aux salles blanches de semi-conducteurs ISO de classe 1 à 5, aux installations biopharmaceutiques GMP et à la production de batteries au lithium. Tailles personnalisées, construction sécurisée ESD et intégration de filtres chimiques disponibles.
  • Alors que les livraisons mondiales d’équipements semi-conducteurs ont atteint 36,55 milliards de dollars au premier trimestre 2026, en hausse de 14 % sur un an grâce aux investissements liés à l’IA, la demande d’infrastructures de salles blanches avancées continue d’augmenter. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., avec son modèle de production à chaîne complète couvrant les FFU, les douches d'air, les boîtes de passage, les filtres HEPA, les bancs propres et les salles blanches modulaires, fournit des solutions de contrôle de la contamination conformes aux normes ISO, adaptées aux usines de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, aux emballages avancés et aux lignes de fabrication d'ultra-précision.

     
  • À mesure que les nœuds de fabrication de semi-conducteurs diminuent, la demande d’équipements de salle blanche précis, à faibles vibrations et peu encombrants est montée en flèche. Trouver un fournisseur fiable capable de respecter ces tolérances extrêmes tout en maîtrisant les coûts constitue un défi majeur. Avec plus de 20 ans d'expertise, Wujiang Deshengxin (DSX) Purification est l'un des principaux fabricants de solutions personnalisées pour salles blanches. En maintenant une production 100 % en interne de moteurs, de systèmes de contrôle et de filtres, DSX fournit des équipements performants et rentables, adaptés aux micro-environnements de semi-conducteurs complexes et aux commandes groupées à grande échelle.
     
  • Alors que les outils à semi-conducteurs et les conceptions modulaires de salles blanches deviennent de plus en plus compacts, les unités de filtre à ventilateur traditionnelles présentent souvent des problèmes de hauteur libre lors de l'intégration des équipements (applications EFU). Cet article présente la plateforme DSX Ultra Thin FFU, dotée d'un profil de profondeur totale de 70 mm conçu pour les plafonds à plénum bas, les mini-environnements et la filtration montée sur outils. La discussion explique comment le développement du moteur et du système de contrôle intégrés verticalement du DSX permet un facteur de forme réduit sans sacrifier l'uniformité du flux d'air ou la fiabilité à long terme. Les scénarios d'application incluent des EFEM de manipulation de plaquettes, des mises à niveau de stockeurs et des modules de fabrication de précision avancés où chaque millimètre d'espace vertical est critique.
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Articles techniques
  • La détermination du moment optimal pour remplacer les filtres HEPA ou ULPA dans les salles blanches ne doit pas être basée sur des calendriers, mais plutôt sur une surveillance conditionnelle utilisant une différence de pression (mesurée en Pascals, Pa). Remplacer les filtres trop tôt gaspille le budget, tandis que les remplacer trop tard compromet la vitesse du flux d'air et le rendement de production. La procédure standard consiste à enregistrer la « résistance initiale » (chute de pression) lorsque de nouveaux filtres sont installés à un débit d'air approprié (par exemple, 0,45 m/s). Les filtres doivent généralement être remplacés lorsque la différence de pression atteint deux (2x) la résistance initiale, ou immédiatement si l'unité de filtrage du ventilateur (FFU) ne peut plus maintenir les vitesses de flux d'air requises, même à la puissance maximale. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., en tant que fabricant de chaînes à part entière, garantit des spécifications de résistance initiale cohérentes, rendant la maintenance prédictive précise.
  • La contamination moléculaire aéroportée (AMC) constitue une grave menace de rendement dans les nœuds de production de plaquettes avancés (inférieurs à 10 nm), provoquant des défauts tels que la corrosion métallique (due aux acides) et le « T-topping » de photoréserve (issue de bases/amines). Un contrôle efficace nécessite l'intégration de filtres chimiques spécialisés dans les unités de filtrage des ventilateurs de plafond (FFU). Ce guide classe les filtres par contaminant cible : série MA pour les acides (SOx, HCl), série MB pour les bases/amines (NH3, crucial pour la lithographie) et série MV pour les matières organiques/COV. Un défi crucial réside dans le fait que les filtres chimiques ajoutent une résistance significative (pression statique). Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. résout ce problème en tirant parti de plus de 20 ans d'expérience dans l'ensemble de l'industrie de la chaîne pour fabriquer ses propres moteurs EC/AC à couple élevé. Deshengxin conçoit des FFU à haute pression statique spécialement conçus pour maintenir les vitesses de flux d'air requises même lorsqu'ils sont chargés avec un média de filtration chimique dense.
  • Cette analyse compare les coûts opérationnels sur 5 ans des unités de filtre à ventilateur (FFU) AC et EC dans les usines de fabrication de semi-conducteurs à grande échelle. Pour une installation représentative exécutant 5 000 FFU en continu, le passage des moteurs à courant alternatif traditionnels à la technologie EC (à commutation électronique) moderne et à haut rendement entraîne des économies substantielles. Sur la base d'estimations prudentes d'une économie de 50 watts par unité et de coûts d'électricité de 0,10 $/kWh, une installation devrait économiser plus de 219 000 $ par an en coûts directs d'électricité uniquement, pour un total de plus d'un million de dollars sur cinq ans. Des économies supplémentaires significatives sont réalisées grâce à la réduction des charges de refroidissement CVC en raison de la faible émission de chaleur des moteurs EC. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. maximise ce retour sur investissement grâce à son avantage de « chaîne industrielle complète », en fabriquant en interne ses propres moteurs EC hautes performances spécifiquement pour ses FFU, garantissant ainsi une efficacité de premier plan à un coût initial compétitif.
En tant que fournisseur leader d'équipements pour salles blanches en Chine, nous disposons d'une équipe de vente professionnelle, de nombreux fournisseurs, d'une forte présence sur le marché et d'excellents services à guichet unique.

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Téléphone:+86-0512-63212787-808
E-mail: nancy@shdsx.com
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