Filtre chimique
Le problème de la corrosion et de la contamination des odeurs dans l'environnement industriel à plusieurs factories. Il n'est pas causé par un seul facteur et ne peut pas être résolu par une seule solution.
SEML Standard F21-95 fournit une méthode de classification des salles blanches microélectroniques avec résumé aux niveaux de contamination moléculaire de la borne (AMC). Ceci est destiné aux phasentaminants du gaz, analogue à la norme fédérale 209E pour la contamination par les particules. Sémstandard F21-95 classe une salle blanche basée sur la catégorie du phasentaminant gazier et le niveau de concentration admissible pour chaque catégorie.
Les quatre catégories de contaminants en phase gazeuse:
1.ACIDS (catégorie A):
Gaz corrosifs qui réagissent chimiquement sous forme d'acides (un électronaccepteur)
2.Bases (catégorie B): Qasses corrosives qui réagissent chimiquement sous forme de bases (un donneur d'électrons)
3.Condensables (catégorie C): contaminants dont le point d'ébullition est généralement au-dessus de la température ambiante et ne cesse de condensation sur la surface de la plaquette.
4.Dopants (catégorie D):
Contaminants qui modifient les propriétés électriques du matériau semi-conducteur.
La classification SEML F21-95 est identifiée par la lettre 'M ', suivie par le concepteur de catégorie, puis la concentration contaminante admissible en partie par trilion (PPT) .folexample, une classification de MA-10I interprétée avec un niveau de conception maximum de 10 PPT de tous les gaz acides dans l'air de la pièce.
Classification des contaminants moléculaires aéroportés
| Catégorie de matériel | 1 ppt | 10 ppt | 100 ppt | 1 000 ppt | 10 000 ppt |
| Acides | Ma-1 | MA-10 | MA-100 | MA-1000 | MA-10 000 |
| Bases | MB-1 | MB-10 | MB-100 | MB-1000 | MB-10 000 |
| Condensables | MC-1 | MC-10 | MC-100 | MC-1000 | MC-10 000 |
| Dopants | Md-1 | MD-10 | MD-100 | MD-1000 | MD-10 000 |
'SEMLF21-95: Classification des niveaux de contaminants moléculaires aéroportés dans les environnements de nettoyage '. 1 ppb = 1 000 ppt et 1 ppm = 1 000 000 ppt.
La concentration AMC admissible (contaminants moléculaires aéroportées) dépend de la classe de salle blanche, du processus utilisé et de l'équipement utilisé.
Limites AMC projetées pour le processus de 0,25 UM
| Étape de traitement | Max Sit Time | Ma (ppt) | MB (PPT) | MC (PPT) | MD (PPT) |
| Pré-gateoxydation | 4 heures | 13 000 | 13 000 | 1 000 | 0.1 |
| Salicidation | 1 heure | 180 | 13 000 | 35 000 | 1 000 |
| Formation de contacts | 24 heures | 5 | 13 000 | 2 000 | 100 000 |
| Duv Photorithagraphie | 2 heures | 10 000 | 1 000 | 100 000 | 10 000 |
Contaminants et concentrations typiques en salle blanche
| Catégorie | Contaminants | Concentrationrangr, ppt Bas |
Acides | Acide chlorhydrique | 20 000 | 400，000 |
| Acide hydrofluorique | 40 000 | 250 000 |
| Acide nitrique | 20 000 | 250 000 |
| Acide sulfurique | 10 000 | 300 000 |
| Acide phosphorique | 10 000 | 400 000 |
| Acide acétique | 10 000 | 250 000 |
| Dioxyde d'azote | 30 000 | 300 000 |
| Dioxyde de soufre | 10 000 | 150 000 |
Bases | Ammoniac | 10 000 | 200 000 |
| NMP | 20 000 | 300 000 |
Condensables | Acétone | 20 000 | 500 000 |
| Toluène | 10 000 | 250 000 |
Dopants | Acide borique | Nd | 200 000 |
| Phosphore | Nd | 5 000 |
| Arsine | Nd | 50 000 |
Quatre techniques principales pour contrôler l'odeur et les contaminants du gaz: le masquage, la combustion, la ventilation et l'élimination. Les pastilles de média sont utilisées pour contrôler les contaminants du gaz par adsorp-tion et oxydation. Le filtre chimique peut être éliminé les contaminants moléculaires par des principes d'absorption adsorbants et absorbants.
Pour purifier l'air en éliminant les matières particulaires, les filtres à composés gazeux gazeux et vaporeux n'ont pas l'efficacité sur les gaz et les vapeurs indésirables.
Lorsque des molécules gazeuses ou liquides atteignent la surface d'un adsorbant et restent sans réaction chimique, le phénomène est appelé adsorption physique ou physisorption.
Le carbone peut être imprégné d'autres produits chimiques pour améliorer certains gaz de la capacité de lowsorptive par le carbone non traité. Ces produits chimiques réagissent avec les gaz pour réduire la concentration de contaminants.
Une autre façon de supprimer des gaz spécifiques consiste à attraper et à réagir avec eux. Ce processus est appeléchémisorption.
De nombreux matériaux adsorptifs sont disponibles; chacun d'eux avec une affinité spéciale pour certains VAPORS.
La surface a augmenté lorsque les dimensions du carbone deviennent plus petites.La particules peut être très petite, même si elle devient simplement la poussière de carbone. Le Sizemust optimal est déterminé par expérimentation.
Dans le système de contaminants moléculaires, l'efficacité initiale d'élimination des contaminants ne dépend pas de la pondération, de la taille des particules du carbone et de l'activité du carbone, de la surface totale et de la chimie de surface a été des paramètres importants pour déterminer l'efficacité initiale.
Si la pollution atmosphérique est très humide (comme un jour de pluie), l'humidité peut être adsorbée de manière compétitive avec des gaz contaminés ciblés pour la capacité du carbone, cependant, la réaction ischémisée, l'humidité peut augmenter rapidement la réaction.
La température peut également affecter le taux d'adsorption lorsque la température est plus élevée. Il est plus difficile d'attirer les contaminants vers le carbone.
