Ano ang Weighing Room o Dispensing Booth? Ang Weighing Room o Dispensing Booth ay isang napaka-espesyalista at nakapaloob na lugar na iniakma upang magbigay ng kontrolado at tumpak na kapaligiran para sa tumpak na pagtimbang at pagbibigay ng iba't ibang materyales. Narito ang isang detalyadong breakdown ng mga pangunahing tampok nito, applicati

Sa photolithography, kahit na ang invisible micro-vibrations ay maaaring magdulot ng pattern blurring at yield loss. Ipinapaliwanag ng teknikal na gabay na ito kung paano nakakamit ng FFFUFAN ang mga antas ng vibration sa ibaba 0.5 mm/s (RMS). Ine-explore namin ang aming engineering approach, kabilang ang dynamically balanced impellers, shock-absorbing motor mounts, at rigid structural designs na iniakma para sa ISO Class 1 Lithography zones.

Ang Airborne Molecular Contamination (AMC)—na ikinategorya bilang Acids (MA), Bases (MB), Condensable (MC), at Dopants (MD)—ay nagdudulot ng kritikal na banta sa mga sub-10nm na proseso ng semiconductor. Ang teknikal na gabay na ito ay nagdedetalye kung paano labanan ang mga contaminant na ito gamit ang  Dual-Stage Filtration Strategy . Sinusuri namin ang paglipat mula sa tradisyonal na glass fiber patungo sa  Low-Outgassing PTFE media  para maiwasan ang kontaminasyon ng Boron at ipaliwanag ang papel ng  mga kemikal na filter ng Ion Exchange  sa pagprotekta sa mga sensitibong Lithography at Etching zone.'

Ang pagtukoy sa pinakamainam na oras upang palitan ang mga filter ng HEPA o ULPA sa mga cleanroom ay hindi dapat nakabatay sa mga iskedyul ng kalendaryo, ngunit sa halip sa pagsubaybay na nakabatay sa kondisyon gamit ang pressure differential (sinusukat sa Pascals, Pa). Ang pagpapalit ng mga filter ng masyadong maaga ay nag-aaksaya ng badyet, habang ang pagpapalit ng mga ito sa huli ay nakompromiso ang bilis ng daloy ng hangin at ang ani ng produksyon. Kasama sa karaniwang pamamaraan ang pagtatala ng 'initial resistance' (pressure drop) kapag ang mga bagong filter ay na-install sa wastong airflow (hal., 0.45 m/s). Ang mga filter sa pangkalahatan ay dapat palitan kapag ang pressure differential ay umabot ng dalawang beses (2x) sa unang resistensya, o kaagad kung ang Fan Filter Unit (FFU) ay hindi na makapagpanatili ng kinakailangang airflow velocities kahit na sa pinakamataas na lakas. Ang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., bilang isang full-industry chain manufacturer, ay nagsisiguro ng pare-pareho ang mga specs ng paunang pagtutol, na ginagawang tumpak ang predictive maintenance.

Ang Airborne Molecular Contamination (AMC) ay nagdudulot ng matinding banta na magbunga sa mga advanced na wafer production node (sub-10nm), na nagdudulot ng mga depekto tulad ng metallic corrosion (mula sa mga acid) at photoresist na 'T-topping' (mula sa mga base/amines). Ang epektibong kontrol ay nangangailangan ng pagsasama ng mga espesyal na filter ng kemikal sa ceiling Fan Filter Units (FFUs). Kinakategorya ng gabay na ito ang mga filter ayon sa target na contaminant: serye ng MA para sa mga acid (SOx, HCl), serye ng MB para sa mga base/amines (NH3, mahalaga para sa lithography), at serye ng MV para sa mga organic/VOC. Ang isang kritikal na hamon ay ang mga filter ng kemikal ay nagdaragdag ng makabuluhang pagtutol (static na presyon). Niresolba ito ng Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. sa pamamagitan ng paggamit ng higit sa 20 taon ng full-industry chain experience para gumawa ng sarili nitong high-torque EC/AC motors. Ang mga inhinyero ng Deshengxin ay mga high-static pressure na FFU na partikular na idinisenyo upang mapanatili ang mga kinakailangang bilis ng daloy ng hangin kahit na puno ng siksik na chemical filtration media.