DSX-Logo

تولید کننده تجهیزات اتاق تمیز برای نیمه هادی و الکترونیک

半导体制造

حل چالش های حیاتی در تولید میکرو الکترونیک

از دست دادن عملکرد: ذرات معلق در هوا دشمن شماره 1 عملکرد ویفر هستند. ما فیلتر ISO کلاس 1 را ارائه می دهیم.
حساس به لرزش: فن های سنتی لیتوگرافی دقیق را لرزانده و آسیب می بینند. موتورهای متعادل ما لرزش بسیار کم را تضمین می کنند.
خطرات ESD: الکتریسیته ساکن تراشه ها را از بین می برد. ما رنگ و مواد ضد الکتریسیته ساکن (ESD) را برای تمام تجهیزات ارائه می دهیم.
 
 

راه حل های نیمه هادی Cleanroom Air: FFU & EFU for Wafer Fab | FFUFAN

无尘室解决方案英文(1).png
1
پیش فیلتر
2
فیلتر با راندمان متوسط
3
فیلتر شیمیایی
4
فیلتر HEPA
5
واحد فیلتر فن FFU
6
فیلتر شیمیایی
7
فیلتر HEPA/ULPA
8
FFU
9
غرفه تمیز
10
جعبه هپا
11
جعبه هپا یکبار مصرف
1
پیش فیلتر
2
فیلتر با راندمان متوسط
3
فیلتر شیمیایی
4
فیلتر HEPA
5
واحد فیلتر فن FFU
6
فیلتر شیمیایی
7
فیلتر HEPA/ULPA
8
FFU
9
غرفه تمیز
10
جعبه هپا
11
جعبه هپا یکبار مصرف

عملکرد ویفر خود را با لرزش بسیار کم و سیستم های فیلتراسیون بدون AMC FFU افزایش دهید. ما راه حل های اتاق تمیز سازگار با ISO کلاس 1 را ارائه می دهیم که به طور خاص برای فرآیندهای فوتولیتوگرافی، اچینگ و لایه نازک طراحی شده اند.

  • استانداردهای ارتعاش صفر برای لیتوگرافی
    استانداردهای ارتعاش صفر برای لیتوگرافی
  • فیلتراسیون پیشرفته AMC (بدون بور و فسفر)
    فیلتراسیون پیشرفته AMC (بدون بور و فسفر)
تجهیزات جامع برای هر منطقه
شبکه سقف و سیستم گردش هوا
 
deshengxin-ffu-با-خود-ساخته-موتور ec
مجموعه فیلترهای هوای با راندمان بالا Deshengxin، از جمله درجه های HEPA (H13، H14) و ULPA (U15، U16، U17) برای تصفیه اتاق تمیز.
فیلتر شیمیایی Deshengxin (حذف AMC) برای اتاق های تمیز نیمه هادی. کربن فعال و رزین تبادل یونی که برای خنثی کردن VOCها، اسیدها و بازها طراحی شده است.
چرا Deshengxin؟
  • کنترل هوشمند: قابلیت کنترل گروهی عظیم (نظارت بر بیش از 10000 گره).
  • آیرودینامیک: فن و موتور برای حداقل لرزش (برای لیتوگرافی حیاتی) در داخل خانه با هم تنظیم شده اند.
 
سیستم HVAC و پیش فیلتراسیون
 
سری پیش فیلتراسیون HVAC Deshengxin: فیلترهای پنل اصلی G3-G4 و فیلترهای کیسه ای با راندمان متوسط ​​F5-F9/V-bank. برای سیستم های MAU اتاق تمیز طراحی شده است.
فیلتر شیمیایی Deshengxin (حذف AMC) برای اتاق های تمیز نیمه هادی. کربن فعال و رزین تبادل یونی که برای خنثی کردن VOCها، اسیدها و بازها طراحی شده است.
فیلتر HEPA با دمای بالا (250 درجه سانتیگراد) با درزگیر سیلیکونی قرمز و قاب فولادی ضد زنگ SUS304. درجه H13/H14 برای کوره های خشک کن نیمه هادی.

چرا Deshengxin؟

  • تامین محدوده کامل: ما کل طیف فیلتر را تولید می کنیم - از G3 تا U17 - با اطمینان از سازگاری و خرید تعمیر و نگهداری یک مرحله ای.
 
ورود پرسنل و مواد لباس پوشیدن
 
سیستم ورود اتاق تمیز دارای تونل دوش هوا از جنس استنلس استیل SUS304 (جت های 25 متر بر ثانیه) و دستشویی / خشک کن القایی خودکار.
کمدهای اتاق تمیز از جنس استنلس استیل برای نگهداری کت و شلوار اسم حیوان دست اموز و دستگاه تمیز کردن خودکار کف کفش در اتاق لباس. طراحی مبلمان بدون گرد و غبار.
جعبه عبور دینامیک مجهز به فیلتر HEPA و لامپ استریلیزاسیون UV. سیستم قفل الکترونیکی برای جلوگیری از آلودگی متقابل در حین انتقال مواد.

چرا Deshengxin؟

  • سفارشی سازی Perfect Fit: چیدمان هر اتاق لباس مجلسی متفاوت است. به‌عنوان تولیدکننده منبع، ابعاد دوش‌های هوا و کمد لباس‌ها را سفارشی می‌کنیم تا  استفاده از فضای شما را به حداکثر برسانیم و جریان یکپارچه را برای پرسنل تضمین کنیم.
  • طراحی کاربر محور: از  راهنمای صوتی هوشمند  در دوش‌های هوا گرفته تا چیدمان‌های ارگونومیک کابینت، تجهیزات ما برای ساده‌سازی فرآیند لباس پوشیدن، کاهش زمان ورود پرسنل و به حداقل رساندن میزان خطا طراحی شده‌اند.
 
خط تولید و کنترل محلی ESD
 
Deshengxin یونیزه کننده FFU مجهز به میله های یون ساز یکپارچه برای خنثی سازی الکترواستاتیک فعال در فرآیندهای لیتوگرافی نیمه هادی.
نیمکت تمیز جریان آرام Deshengxin (ISO Class 5 / Class 100). موجود در پیکربندی جریان عمودی و افقی برای مونتاژ اتاق تمیز و بازرسی.
ایستگاه کاری غرفه تمیز قابل تنظیم که شبکه سقف مستقل FFU را نشان می دهد. موجود در مواد دیواری مختلف متناسب با ماشین آلات تولیدی خاص.

 چرا Deshengxin؟

  •  حفاظت محلی یکپارچه:  ما یک جعبه ابزار کامل برای کنترل میکرو محیطی ارائه می دهیم.
  •  کنترل استاتیک:  ما  FFU های یونیزه  برای خنثی کردن خطرات ESD در منبع مهندسی شده اند، برخلاف فیلترهای فن استاندارد.
  • محفظه های همه کاره: چه به نیاز داشته باشید  نیمکت های تمیز  برای مونتاژ یا  غرفه های مدولار (آکریلیک/فولاد/پی وی سی) برای تجهیزات بزرگ  ، ما کل مسکن و سیستم فیلتراسیون را تولید می کنیم.
  • تناسب کامل: ما جهت جریان هوا (عمودی/افقی) و ابعاد را متناسب با فرآیند خاص شما سفارشی می کنیم و اطمینان حاصل می کنیم که هر اینچ از خط تولید شما محافظت می شود.

 

 
چرا یک سازنده واقعی در مقابل اسمبلر انتخاب کنید؟
 
ویژگی Deshengxin (کارخانه منبع) مونتاژ کننده های معمولی
موتور هسته ساخت خود (در داخل)   برای بهترین آیرودینامیک سفارشی شده است. موتورهای ژنریک برون سپاری شده   ، خطر عدم تطابق.
محدوده محصول زنجیره کامل صنعت  FFU، دوش هوا، فیلترها، ورق فلز. فیلترهای محدود / ترکیبی   خرید اینجا، طرفداران آنجا.
کنترل هزینه قیمت مستقیم کارخانه   بدون علامت گذاری واسطه. قیمت بالاتر   حاشیه های اضافه شده از تامین کنندگان.
زمان سرب سریع و قابل کنترل   ما مواد خام را کنترل می کنیم. نامشخص   به تامین کنندگان فرعی خود وابسته است.
پس از فروش پشتیبانی فنی مادام العمر   ما همه پیچ های دستگاه خود را می شناسیم. پاسخ آهسته   نیاز به تماس با کارخانه های اصلی است.
 
کنترل دقیق برای محیط های حساس
 
1. مقیاس عظیم و پایداری توانایی
که بر اساس پروتکل های ارتباطی قوی (Modbus/TCP/IP) ساخته شده است، سیستم ما از شبکه پایدار بیش از 10000 گره پشتیبانی می کند. چه برای یک آزمایشگاه کوچک و چه برای یک مگا فاب، سیستم به طور یکپارچه بدون تأخیر سیگنال گسترش می یابد.
2. نگاشت چیدمان تجسمی شده
با کدهای پیچیده خداحافظی کنید. ما طرح شبکه سقف اتاق تمیز شما را به نرم افزار وارد می کنیم و یک نقشه بصری ایجاد می کنیم. می توانید وضعیت (روشن/خاموش/سرعت) هر مکان خاص FFU را مستقیماً روی صفحه بررسی کنید.
3. جریان هوا و مدیریت انرژی دقیق
، صرفه جویی های عملیاتی را باز کنید. می‌توانید استراتژی‌های کنترل منطقه (به‌عنوان مثال 'حالت تولید' در مقابل 'حالت شب/استندبای') را برای کاهش RPM در ساعات غیر کاری تنظیم کنید و هزینه‌های برق را به میزان قابل توجهی کاهش دهید.
4. عیب یابی هوشمند تعمیر
و نگهداری آسان شده است. اگر یک FFU منفرد از کار بیفتد، سیستم یک زنگ هشدار فوری ایجاد می کند و مختصات دقیق را روی نقشه مشخص می کند. این کار بررسی دستی را حذف می کند و زمان خرابی را به شدت کاهش می دهد.
5. رابط محلی قابل تنظیم
جهانی آماده است. از آنجا که ما کد منبع را در داخل توسعه می دهیم، می توانیم رابط نرم افزار را به زبان محلی شما سفارشی کنیم. این تضمین می‌کند که اپراتورهای شما می‌توانند سیستم را به طور مستقیم مدیریت کنند، موانع زبانی را از بین ببرند و خطاهای عملیاتی را کاهش دهند.
سیستم کنترل گروه هوشمند
مدیریت بیش از 10000 FFU در یک فاب بزرگ با Deshengxin آسان است. سیستم کنترل اختصاصی ما امکان نظارت در زمان واقعی، هشدار خطا و تنظیم سرعت را از یک رایانه شخصی یا پایانه تلفن همراه فراهم می کند.
نقشه برداری چیدمان تجسمی شده FFU
'قلب' اتاق تمیز
موتورهای EC/DC ما داخلی برای بیش از 40000 ساعت کارکرد مداوم آزمایش می‌شوند و 30 درصد در مصرف انرژی صرفه‌جویی می‌کنند در مقایسه با موتورهای AC سنتی - کاهش هزینه‌ای عظیم برای کارخانه‌های نیمه‌رسانا 24/7.
DSX EC/DC Motors est
مشخصات فنی: درجه نیمه هادی در مقابل FFU استاندارد
 
ویژگی  استاندارد FFU درجه نیمه هادی DSX FFU
فیلتر رسانه الیاف شیشه PTFE / ULPA (U15-U17)
خروج گاز سطوح استاندارد مواد کم بور / بدون گاز خروجی
لرزش < 1.0 میلی متر بر ثانیه <0.5 میلی‌متر بر ثانیه (متعادل پویا)
سیستم کنترل کنترل سرعت دستی کنترل گروه هوشمند Modbus/TCP
برنامه صنعت عمومی ویفر فاب، بسته بندی، تست
تولید FFU

آماده ساختن اتاق تمیز کلاس ISO خود هستید؟
چه برای یک کارخانه جدید به یک دوش هوا یا 10000 FFU نیاز داشته باشید، Deshengxin شریک مورد اعتماد شما است.


دریافت قیمت مستقیم کارخانه
 
 سوالات متداول برای اتاق های تمیز نیمه هادی
 
  • آیا FFU های شما می توانند استانداردهای ارتعاش مناطق لیتوگرافی را برآورده کنند؟
    در فتولیتوگرافی، حتی ریز ارتعاشات نامرئی نیز می توانند باعث تار شدن الگو و کاهش تسلیم شوند. این راهنمای فنی توضیح می دهد که چگونه FFUFAN به سطوح ارتعاش زیر 0.5 میلی متر بر ثانیه (RMS) دست می یابد. ما رویکرد مهندسی خود را بررسی می‌کنیم، از جمله پروانه‌های متوازن دینامیکی، پایه‌های موتور ضربه‌گیر، و طرح‌های ساختاری سفت و سخت که برای مناطق لیتوگرافی کلاس 1 ISO طراحی شده‌اند.
    ادامه مطلب
  • چگونه FFU با آلودگی مولکولی موجود در هوا (AMC) در کارخانه های ویفر مبارزه می کند؟
    آلودگی مولکولی موجود در هوا (AMC) - که به عنوان اسیدها (MA)، بازها (MB)، مواد متراکم شونده (MC) و ناخالصی ها (MD) طبقه بندی می شود - یک تهدید حیاتی برای فرآیندهای نیمه هادی زیر 10 نانومتر است. این راهنمای فنی نحوه مبارزه با این آلاینده ها را با استفاده از   استراتژی فیلتراسیون دو مرحله ای توضیح می دهد . ما تغییر از الیاف شیشه ای سنتی به   محیط های PTFE کم خروجی را  برای جلوگیری از آلودگی بور تجزیه و تحلیل می کنیم و نقش   فیلترهای شیمیایی تبادل یونی را  در حفاظت از مناطق حساس لیتوگرافی و اچینگ توضیح می دهیم.
    ادامه مطلب
  • تفاوت اساسی بین FFU و EFU در تولید نیمه هادی چیست؟

    در حالی که FFUهای استاندارد هوای کلی اتاق تمیز را مدیریت می کنند، واحدهای فیلتر فن تجهیزات (EFU) نیروهای ویژه کنترل آلودگی هستند. این راهنما تفاوت‌های مهندسی را با تمرکز بر چگونگی دستیابی EFUها به صفر و کنترل میکرو ارتعاش برای ابزارهای نیمه‌رسانای حساس می‌کند.

    ادامه مطلب
  • چگونه مشکل ESD (Static) را در اتاق تمیز حل می کنید؟
    پرداختن به تخلیه الکترواستاتیک (ESD) در اتاق‌های تمیز نیمه‌رسانا و الکترونیک نیازمند یک رویکرد چند وجهی است که هم تجمع تجهیزات و هم بارهای سطح محصول را برطرف می‌کند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. یک استراتژی سه لایه را بر اساس بیش از 20 سال تجربه تولید اجرا می کند. در مرحله اول، پیشگیری غیرفعال با استفاده از واحدهای فیلتر فن (FFUs) با محفظه های رسانا (فولاد ضد زنگ یا رنگ آمیزی ضد الکتریسیته ساکن) برای جلوگیری از تجمع شارژ روی سخت افزار انجام می شود. ثانیاً، خنثی سازی فعال توسط FFU های یونیزه کننده تخصصی که با میله های یونیزه ادغام شده اند، ارائه می شود که ناحیه کار را با یون های متعادل دوش می دهد تا بارهای روی محصولات حساس را خنثی کند. در نهایت، Deshengxin محیط های کامل ایمن برای ESD را از طریق نیمکت های تمیز رسانا و غرفه های تمیز مدولار برای اطمینان از کنترل استاتیک جامع فراهم می کند.
    ادامه مطلب
  • آیا FFU های شما می توانند فشار استاتیکی بالای مورد نیاز فیلترهای شیمیایی (AMC) را تحمل کنند؟
    اتاق‌های تمیز نیمه‌رسانا اغلب نیاز به افزودن فیلترهای شیمیایی آلودگی مولکولی هوا (AMC) (مثلاً سری MA/MB/MV) به واحدهای فیلتر فن (FFU) دارند، که مقاومت فشار ساکن را به‌طور قابل‌توجهی افزایش می‌دهد. FFUهای استاندارد اغلب نمی توانند جریان هوا را تحت این بار حفظ کنند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. این چالش را از طریق بیش از 20 سال تجربه زنجیره ای کامل در صنعت خود برطرف می کند. مهندسان Deshengxin FFUهای فشار استاتیک بالا را متخصص کردند. با استفاده از موتورهای خودساخته با گشتاور بالا و طرح‌های بهینه پروانه، Deshengxin تضمین می‌کند که FFUهای آن‌ها قدرت لازم برای غلبه بر مقاومت بالای فیلترهای شیمیایی را دارند و در عین حال جریان هوای پایدار را برای محیط‌های ساخت ویفر حفظ می‌کنند.
    ادامه مطلب
  • تفاوت بین فیلترهای HEPA و ULPA برای تولید لوازم الکترونیکی چیست؟
    تمایز اولیه بین فیلترهای HEPA (هوای ذرات با راندمان بالا) و ULPA (هوای ذرات بسیار کم) در مراکز تولید لوازم الکترونیکی بر روی راندمان فیلتراسیون و اندازه ذرات هدف. فیلترهای HEPA (درجات H13/H14) معمولاً 99.99٪ ذرات را در 0.3μm جذب می کنند و آنها را برای مناطق مونتاژ الکترونیکی استاندارد مناسب می کند. برعکس، فیلترهای ULPA (درجات U15-U17) برای فرآیندهای نیمه هادی بسیار تمیز و حیاتی مانند ساخت ویفر و لیتوگرافی ضروری هستند. فیلترهای ULPA ذرات بسیار کوچک‌تری را تا 0.12 میکرومتر با درجه‌بندی کارایی تا 99.999995 درصد جذب می‌کنند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.، با بهره‌گیری از بیش از 20 سال تجربه تولید زنجیره کامل، هر دو درجه فیلتر را در داخل تولید می‌کند و گزارش‌های آزمایش اسکن فردی را برای تأیید عملکرد برای الزامات سخت‌گیرانه اتاق تمیز ارائه می‌دهد.
    ادامه مطلب
  • مجموع 2 صفحه رفتن به صفحه
  • برو
 
مقالات فنی
  • راهنمای تعمیر و نگهداری: چه زمانی فیلترهای HEPA/ULPA خود را تعویض کنیم؟
    تعیین زمان بهینه برای جایگزینی فیلترهای HEPA یا ULPA در اتاق‌های تمیز نباید بر اساس برنامه‌های تقویم باشد، بلکه باید براساس نظارت بر اساس شرایط با استفاده از اختلاف فشار (اندازه‌گیری شده با پاسکال، Pa) باشد. تعویض زود هنگام فیلترها باعث هدر رفتن بودجه می شود، در حالی که تعویض دیرهنگام آنها سرعت جریان هوا و بازده تولید را به خطر می اندازد. روش استاندارد شامل ثبت 'مقاومت اولیه' (افت فشار) زمانی است که فیلترهای جدید در جریان هوای مناسب (مثلاً 0.45 متر بر ثانیه) نصب می شوند. فیلترها معمولاً زمانی باید تعویض شوند که اختلاف فشار به دو برابر (2 برابر) مقاومت اولیه برسد، یا بلافاصله اگر واحد فیلتر فن (FFU) دیگر نتواند سرعت جریان هوای مورد نیاز را حتی در حداکثر توان حفظ کند، فوراً تعویض شوند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.، به عنوان یک تولید کننده زنجیره تمام صنعت، مشخصات مقاومت اولیه ثابت را تضمین می کند و تعمیر و نگهداری پیش بینی را دقیق می کند.
    ادامه مطلب
  • کنترل AMC (آلودگی مولکولی هوا) در تولید ویفر
    آلودگی مولکولی هوابرد (AMC) یک تهدید جدی برای بازده در گره‌های تولید ویفر پیشرفته (زیر 10 نانومتر) ایجاد می‌کند و باعث ایجاد نقص‌هایی مانند خوردگی فلزی (از اسیدها) و مقاومت نوری «T-topping» (از بازها/آمین‌ها) می‌شود. کنترل مؤثر مستلزم ادغام فیلترهای شیمیایی تخصصی در واحدهای فیلتر فن سقفی (FFU) است. این راهنما فیلترها را بر اساس آلاینده هدف دسته بندی می کند: سری MA برای اسیدها (SOx، HCl)، سری MB برای بازها/آمین ها (NH3، برای لیتوگرافی بسیار مهم)، و سری MV برای مواد آلی/VOC. یک چالش مهم این است که فیلترهای شیمیایی مقاومت قابل توجهی (فشار استاتیک) را اضافه می کنند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. این مشکل را با استفاده از بیش از 20 سال تجربه زنجیره کامل در صنعت برای تولید موتورهای EC/AC با گشتاور بالا حل می کند. Deshengxin مهندسین FFUهای فشار استاتیک بالا را به طور خاص طراحی کرده اند تا سرعت جریان هوای مورد نیاز را حتی زمانی که با محیط فیلتراسیون شیمیایی متراکم بارگذاری می شوند، حفظ کنند.
    ادامه مطلب
  • AC در مقابل EC FFU: تجزیه و تحلیل هزینه انرژی 5 ساله برای کارخانه های بزرگ
    این تجزیه و تحلیل هزینه های عملیاتی 5 ساله واحدهای فیلتر AC در مقابل EC Fan Filter Units (FFU) را در کارخانه های نیمه هادی در مقیاس بزرگ مقایسه می کند. برای یک مرکز نمایندگی که به طور مداوم 5000 FFU را اجرا می کند، تغییر از موتورهای AC سنتی به فناوری مدرن و با راندمان بالا EC (Electronically Commutated) منجر به صرفه جویی قابل توجهی می شود. بر اساس برآوردهای محافظه کارانه از صرفه جویی 50 وات در هر واحد و هزینه برق 0.10 دلار در کیلووات ساعت، یک تاسیسات سالانه بیش از 219000 دلار آمریکا در هزینه های مستقیم برق صرفه جویی می کند که در مجموع بیش از 1 میلیون دلار در طول پنج سال است. صرفه جویی قابل توجه اضافی از طریق کاهش بارهای خنک کننده HVAC به دلیل انتشار گرمای کمتر موتورهای EC انجام می شود. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. این ROI را از طریق مزیت 'زنجیره صنعت کامل' خود به حداکثر می رساند و موتورهای EC با کارایی بالا خود را به طور خاص برای FFUهای خود تولید می کند و از راندمان بالاتر با هزینه اولیه رقابتی اطمینان می دهد.
    ادامه مطلب
ما به عنوان یک ارائه دهنده پیشرو تجهیزات اتاق تمیز در چین، تیم فروش حرفه ای، تامین کنندگان گسترده، حضور عمیق در بازار و خدمات یک مرحله ای عالی داریم.

با ما تماس بگیرید

تلفن: +86-0512-63212787-808
ایمیل: nancy@shdsx.com
WhatsApp：+86- 13646258112
افزودن：شماره 18 جاده تانگسین شرقی، شهر جدید Taihu، منطقه ووجیانگ، شهر سوژو، استان جیانگسو، چین

لینک های سریع

دسته بندی محصولات

برای خبرنامه ما ثبت نام کنید

حق چاپ © 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO., LTD. کلیه حقوق محفوظ است. ｜ نقشه سایت