حل چالش های حیاتی در تولید میکرو الکترونیک

از دست دادن عملکرد: ذرات معلق در هوا دشمن شماره 1 عملکرد ویفر هستند. ما فیلتر ISO کلاس 1 را ارائه می دهیم.
حساس به لرزش: فن های سنتی لیتوگرافی دقیق را لرزانده و آسیب می بینند. موتورهای متعادل ما لرزش بسیار کم را تضمین می کنند.
خطرات ESD: الکتریسیته ساکن تراشه ها را از بین می برد. ما رنگ و مواد ضد الکتریسیته ساکن (ESD) را برای تمام تجهیزات ارائه می دهیم.

راه حل های نیمه هادی Cleanroom Air: FFU & EFU for Wafer Fab | FFUFAN

پیش فیلتر

فیلتر با راندمان متوسط

فیلتر شیمیایی

فیلتر HEPA

واحد فیلتر فن FFU

فیلتر شیمیایی

فیلتر HEPA/ULPA

FFU

غرفه تمیز

جعبه هپا

جعبه هپا یکبار مصرف

پیش فیلتر

فیلتر با راندمان متوسط

فیلتر شیمیایی

فیلتر HEPA

واحد فیلتر فن FFU

فیلتر شیمیایی

فیلتر HEPA/ULPA

FFU

غرفه تمیز

جعبه هپا

جعبه هپا یکبار مصرف

عملکرد ویفر خود را با لرزش بسیار کم و سیستم های فیلتراسیون بدون AMC FFU افزایش دهید. ما راه حل های اتاق تمیز سازگار با ISO کلاس 1 را ارائه می دهیم که به طور خاص برای فرآیندهای فوتولیتوگرافی، اچینگ و لایه نازک طراحی شده اند.

استانداردهای لرزش صفر برای لیتوگرافی

تولید نیمه هادی نیازمند ثبات است. FFU و EFU ما از پروانه‌های متعادل پویا و پایه‌های جذب شوک تخصصی استفاده می‌کنند تا اطمینان حاصل شود که سطح ارتعاش زیر 0.5 میلی‌متر بر ثانیه باقی می‌ماند و از تجهیزات حساس لیتوگرافی محافظت می‌کند.
فیلتراسیون پیشرفته AMC (بدون بور و فسفر)

ویفرهای خود را از آلودگی مولکولی موجود در هوا محافظت کنید. فیلترهای شیمیایی ما به طور موثری VOCها، اسیدها و بازها را حذف می‌کنند و از عدم خطرات ناشی از گاز خروجی در مناطق بحرانی فرآیند اطمینان حاصل می‌کنند.

تجهیزات جامع برای هر منطقه

شبکه سقف و سیستم گردش هوا

واحدهای فیلتر فن FFU

طیف فیلترهای هوای با راندمان بالا Deshengxin، از جمله درجه های HEPA (H13، H14) و ULPA (U15، U16، U17) برای تصفیه اتاق تمیز.

فیلتر ULPA / HEPA

فیلتر شیمیایی Deshengxin (حذف AMC) برای اتاق های تمیز نیمه هادی. کربن فعال و رزین تبادل یونی که برای خنثی کردن VOCها، اسیدها و بازها طراحی شده است.

فیلترهای شیمیایی / فیلترهای AMC

چرا Deshengxin؟

کنترل هوشمند: قابلیت کنترل گروهی عظیم (نظارت بر بیش از 10000 گره).
آیرودینامیک: فن و موتور برای حداقل لرزش (برای لیتوگرافی حیاتی) در داخل خانه با هم تنظیم شده اند.

سیستم HVAC و پیش فیلتراسیون

سری پیش فیلتراسیون HVAC Deshengxin: فیلترهای پنل اصلی G3-G4 و فیلترهای کیسه ای با راندمان متوسط F5-F9/V-bank. طراحی شده برای سیستم های MAU اتاق تمیز.

فیلتر اولیه و متوسط

فیلتر شیمیایی AMC

فیلتر HEPA با دمای بالا (250 درجه سانتیگراد) با درزگیر سیلیکونی قرمز و قاب فولادی ضد زنگ SUS304. درجه H13/H14 برای کوره های خشک کن نیمه هادی.

فیلترهای با دمای بالا

چرا Deshengxin؟

تامین محدوده کامل: ما کل طیف فیلتر را تولید می کنیم - از G3 تا U17 - با اطمینان از سازگاری و خرید تعمیر و نگهداری یک مرحله ای.

ورود پرسنل و مواد لباس پوشیدن

سیستم ورودی اتاق تمیز دارای تونل دوش هوا از جنس استنلس استیل SUS304 (جت های 25 متر بر ثانیه) و دستشویی / خشک کن القایی خودکار.

پاکسازی فعال

کمدهای اتاق تمیز از جنس استنلس استیل برای نگهداری کت و شلوار اسم حیوان دست اموز و دستگاه تمیز کردن خودکار کف کفش در اتاق لباس. طراحی مبلمان بدون گرد و غبار.

مبلمان مجلسی

انتقال مواد

چرا Deshengxin؟

سفارشی سازی Perfect Fit: چیدمان هر اتاق لباس مجلسی متفاوت است. به‌عنوان تولیدکننده منبع، ابعاد دوش‌های هوا و کمد لباس‌ها را سفارشی می‌کنیم تا استفاده از فضای شما را به حداکثر برسانیم و جریان یکپارچه را برای پرسنل تضمین کنیم.
طراحی کاربر محور: از راهنمای صوتی هوشمند در دوش‌های هوا گرفته تا چیدمان‌های ارگونومیک کابینت، تجهیزات ما برای ساده‌سازی فرآیند لباس پوشیدن، کاهش زمان ورود پرسنل و به حداقل رساندن میزان خطا طراحی شده‌اند.

خط تولید و کنترل محلی ESD

Deshengxin یونیزه کننده FFU مجهز به میله های یونیزه کننده یکپارچه برای خنثی سازی الکترواستاتیک فعال در فرآیندهای لیتوگرافی نیمه هادی.

FFU (کنترل فعال ESD)

نیمکت تمیز جریان آرام Deshengxin (ISO Class 5 / Class 100). موجود در پیکربندی جریان عمودی و افقی برای مونتاژ اتاق تمیز و بازرسی.

نیمکت های تمیز جریان آرام

ایستگاه کاری غرفه تمیز قابل تنظیم که شبکه سقف مستقل FFU را نشان می دهد. موجود در مواد دیواری مختلف متناسب با ماشین آلات تولیدی خاص.

غرفه های تمیز مدولار

چرا Deshengxin؟

حفاظت محلی یکپارچه: ما یک جعبه ابزار کامل برای کنترل میکرو محیطی ارائه می دهیم.
کنترل استاتیک: ما FFU های یونیزه برای خنثی کردن خطرات ESD در منبع مهندسی شده اند، برخلاف فیلترهای فن استاندارد.
محفظه های همه کاره: چه به نیاز داشته باشید نیمکت های تمیز برای مونتاژ یا غرفه های مدولار (آکریلیک/فولاد/پی وی سی) برای تجهیزات بزرگ ، ما کل مسکن و سیستم فیلتراسیون را تولید می کنیم.
تناسب کامل: ما جهت جریان هوا (عمودی/افقی) و ابعاد را متناسب با فرآیند خاص شما سفارشی می کنیم و اطمینان حاصل می کنیم که هر اینچ از خط تولید شما محافظت می شود.

چرا یک سازنده واقعی در مقابل اسمبلر انتخاب کنید؟

ویژگی	Deshengxin (کارخانه منبع)	مونتاژ کننده های معمولی
موتور هسته	ساخت خود (در داخل) برای بهترین آیرودینامیک سفارشی شده است.	موتورهای ژنریک برون سپاری شده ، خطر عدم تطابق.
محدوده محصول	زنجیره کامل صنعت FFU، دوش هوا، فیلترها، ورق فلز.	فیلترهای محدود / ترکیبی خرید اینجا، طرفداران آنجا.
کنترل هزینه	قیمت مستقیم کارخانه بدون علامت گذاری واسطه.	قیمت بالاتر حاشیه های اضافه شده از تامین کنندگان.
زمان سرب	سریع و قابل کنترل ما مواد خام را کنترل می کنیم.	نامشخص به تامین کنندگان فرعی خود وابسته است.
پس از فروش	پشتیبانی فنی مادام العمر ما همه پیچ های دستگاه خود را می شناسیم.	پاسخ آهسته نیاز به تماس با کارخانه های اصلی است.

کنترل دقیق برای محیط های حساس

1. مقیاس عظیم و پایداری توانایی
که بر اساس پروتکل های ارتباطی قوی (Modbus/TCP/IP) ساخته شده است، سیستم ما از شبکه پایدار بیش از 10000 گره پشتیبانی می کند. چه برای یک آزمایشگاه کوچک و چه برای یک مگا فاب، سیستم به طور یکپارچه بدون تأخیر سیگنال گسترش می یابد.
2. نگاشت چیدمان تجسمی شده
با کدهای پیچیده خداحافظی کنید. ما طرح شبکه سقف اتاق تمیز شما را به نرم افزار وارد می کنیم و یک نقشه بصری ایجاد می کنیم. می توانید وضعیت (روشن/خاموش/سرعت) هر مکان خاص FFU را مستقیماً روی صفحه بررسی کنید.
3. جریان هوا و مدیریت انرژی دقیق
صرفه جویی های عملیاتی را باز کنید. می‌توانید استراتژی‌های کنترل منطقه (به‌عنوان مثال 'حالت تولید' در مقابل 'حالت شب/استندبای') را برای کاهش RPM در ساعات غیر کاری تنظیم کنید و هزینه‌های برق را به میزان قابل توجهی کاهش دهید.
4. عیب یابی هوشمند تعمیر
و نگهداری آسان شده است. اگر یک FFU منفرد از کار بیفتد، سیستم یک زنگ هشدار فوری ایجاد می کند و مختصات دقیق را روی نقشه مشخص می کند. این کار بررسی دستی را حذف می کند و زمان خرابی را به شدت کاهش می دهد.

5. رابط محلی قابل تنظیم
جهانی آماده است. از آنجا که ما کد منبع را در داخل توسعه می دهیم، می توانیم رابط نرم افزار را به زبان محلی شما سفارشی کنیم. این تضمین می‌کند که اپراتورهای شما می‌توانند سیستم را به طور مستقیم مدیریت کنند، موانع زبانی را از بین ببرند و خطاهای عملیاتی را کاهش دهند.

سیستم کنترل گروه هوشمند

مدیریت بیش از 10000 FFU در یک فاب بزرگ با Deshengxin آسان است. سیستم کنترل اختصاصی ما امکان نظارت در زمان واقعی، هشدار خطا و تنظیم سرعت را از یک رایانه شخصی یا پایانه تلفن همراه فراهم می کند.

'قلب' اتاق تمیز

موتورهای EC/DC ما داخلی برای بیش از 40000 ساعت کارکرد مداوم آزمایش می‌شوند و 30 درصد در مصرف انرژی صرفه‌جویی می‌کنند در مقایسه با موتورهای AC سنتی - کاهش هزینه‌ای عظیم برای کارخانه‌های نیمه‌رسانا 24/7.

مشخصات فنی: درجه نیمه هادی در مقابل FFU استاندارد

ویژگی	استاندارد FFU	درجه نیمه هادی DSX FFU
فیلتر رسانه	الیاف شیشه	PTFE / ULPA (U15-U17)
خروج گاز	سطوح استاندارد	مواد کم بور / بدون گاز خروجی
لرزش	< 1.0 میلی متر بر ثانیه	<0.5 میلی‌متر بر ثانیه (متعادل پویا)
سیستم کنترل	کنترل سرعت دستی	کنترل گروه هوشمند Modbus/TCP
برنامه	صنعت عمومی	ویفر فاب، بسته بندی، تست

آماده ساختن اتاق تمیز کلاس ISO خود هستید؟

چه برای یک کارخانه جدید به یک دوش هوا یا 10000 FFU نیاز داشته باشید، Deshengxin شریک مورد اعتماد شما است.

دریافت قیمت مستقیم کارخانه

سوالات متداول برای اتاق های تمیز نیمه هادی

EFU بسیار نازک 70 میلی متر: راه حل صرفه جویی در فضا برای تجهیزات تمیز کردن نیمه هادی نسل سوم

تجهیزات تمیز کردن نیمه هادی نسل سوم (SiC، GaN) با محدودیت های فضایی شدید روبرو هستند. FFUهای استاندارد در 250-350 میلی متر به سادگی نمی توانند در فاصله عمودی محدود این ابزارهای پیشرفته قرار بگیرند. این مقاله EFU فوق نازک 70 میلی‌متری DSX را معرفی می‌کند – که به‌طور خاص برای یکپارچه‌سازی تجهیزات با فضای محدود طراحی شده است. این راه حل با ضخامت عملیاتی ~ 100 میلی متر، راندمان فیلتراسیون ULPA تا 99.9995% (@0.12μm) و تولید زنجیره تامین کامل، به سازندگان تجهیزات نظافتی اجازه می دهد تا فضای داخلی را بدون به خطر انداختن عملکرد اتاق تمیز به حداکثر برسانند.

ادامه مطلب
سازنده نیمه هادی FFU - واحد فیلتر هواکش Wujiang Deshengxin Cleanroom

Wujiang Deshengxin یک تولید کننده حرفه ای نیمه هادی FFU در چین است که واحدهای فیلتر فن با راندمان بالا را برای اتاق های تمیز نیمه هادی تامین می کند. EC FFU ما دارای 30-50٪ صرفه جویی در انرژی، 99.995٪ راندمان فیلتراسیون و مطابقت با ISO 14644 است. OEM و ODM موجود است. برای راه حل های مطمئن اتاق تمیز با ما تماس بگیرید.

ادامه مطلب
تولید کننده FFU نیمه هادی | واحدهای فیلتر فن EC Wujiang Deshengxin برای اتاق های تمیز

Deshengxin EC FFU (واحد فیلتر فن) دارای فناوری یکپارچه موتور DC است که به 30-50٪ صرفه جویی در انرژی، راندمان فیلتراسیون HEPA/ULPA تا 99.9995٪، طراحی اضافی ماژولار، و کنترل هوشمند Modbus/BACnet دست می یابد. مناسب برای اتاق های تمیز نیمه هادی کلاس 1-5 ISO، امکانات GMP بیوفارما و تولید باتری لیتیومی. اندازه های سفارشی، ساخت و ساز ایمن برای ESD و ادغام فیلتر شیمیایی موجود است.

ادامه مطلب
چگونه رشد تجهیزات نیمه هادی باعث افزایش تقاضای اتاق تمیز می شود | دشنگ سین

از آنجایی که محموله های جهانی تجهیزات نیمه هادی در سه ماهه اول 2026 به 36.55 میلیارد دلار رسید که 14 درصد نسبت به سال قبل به دلیل سرمایه گذاری های مرتبط با هوش مصنوعی افزایش یافته است، تقاضا برای زیرساخت های اتاق تمیز پیشرفته همچنان رو به افزایش است. Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.، با مدل تولید زنجیره کامل خود که FFU ها، دوش های هوا، جعبه های عبور، فیلترهای HEPA، نیمکت های تمیز و اتاق های تمیز مدولار را پوشش می دهد، راه حل های کنترل آلودگی منطبق با ISO را ارائه می کند که برای تولید ویفرهای نیمه هادی، بسته بندی پیشرفته خطوط پیشرفته و خطوط پیشرفته طراحی شده است.

ادامه مطلب
فوق نازک EFU سازنده | واحدهای فیلتر فن نیمه هادی | DSX

با کوچک شدن گره های تولید نیمه هادی، تقاضا برای تجهیزات اتاق تمیز با دقت، لرزش کم و صرفه جویی در فضا به شدت افزایش یافته است. یافتن یک تامین کننده قابل اعتماد که بتواند این تحمل های شدید را برآورده کند و در عین حال هزینه ها را پایین نگه دارد، یک چالش بزرگ است. با بیش از 20 سال تخصص، Wujiang Deshengxin (DSX) Purification به عنوان یک تولید کننده برتر راه حل های اتاق تمیز سفارشی می ایستد. DSX با حفظ 100% تولید داخلی موتورها، سیستم‌های کنترل و فیلترها، تجهیزات با کارایی بالا و مقرون به صرفه را برای محیط‌های ریز نیمه‌رسانای پیچیده و سفارش‌های انبوه در مقیاس بزرگ ارائه می‌کند.

ادامه مطلب
حل محدودیت‌های فضا در اتاق‌های تمیز: FFU بسیار نازک ۷۰ میلی‌متری برای تجهیزات بدون درز و ادغام EFEM

از آنجایی که ابزارهای نیمه هادی و طرح های اتاق تمیز مدولار به طور فزاینده ای فشرده می شوند، واحدهای فیلتر فن سنتی اغلب در طول یکپارچه سازی تجهیزات (برنامه های کاربردی EFU) چالش های فاصله گذاری ارتفاع را ارائه می دهند. این مقاله پلت فرم DSX Ultra Thin FFU را معرفی می‌کند که دارای پروفیل عمق کلی 70 میلی‌متری است که برای سقف‌های کم پلنوم، محیط‌های کوچک و فیلتراسیون روی ابزار طراحی شده است. این بحث به این موضوع می‌پردازد که چگونه توسعه موتور و سیستم کنترل یکپارچه عمودی DSX باعث کاهش ضریب فرم بدون به خطر انداختن یکنواختی جریان هوا یا قابلیت اطمینان طولانی‌مدت می‌شود. سناریوهای کاربردی عبارتند از EFEM های جابجایی ویفر، مقاوم سازی انبار، و ماژول های ساخت دقیق پیشرفته که در آن هر میلی متر از فضای عمودی حیاتی است.

ادامه مطلب

کل 4 صفحه برو به صفحه
برو

مقالات فنی

راهنمای تعمیر و نگهداری: چه زمانی فیلترهای HEPA/ULPA خود را تعویض کنیم؟

تعیین زمان بهینه برای جایگزینی فیلترهای HEPA یا ULPA در اتاق‌های تمیز نباید بر اساس برنامه‌های تقویم باشد، بلکه باید براساس نظارت بر اساس شرایط با استفاده از اختلاف فشار (اندازه‌گیری شده با پاسکال، Pa) باشد. تعویض زود هنگام فیلترها باعث هدر رفتن بودجه می شود، در حالی که تعویض دیرهنگام آنها سرعت جریان هوا و بازده تولید را به خطر می اندازد. روش استاندارد شامل ثبت 'مقاومت اولیه' (افت فشار) زمانی است که فیلترهای جدید در جریان هوای مناسب (مثلاً 0.45 متر بر ثانیه) نصب می شوند. فیلترها معمولاً زمانی باید تعویض شوند که اختلاف فشار به دو برابر (2 برابر) مقاومت اولیه برسد یا بلافاصله اگر واحد فیلتر فن (FFU) دیگر نتواند سرعت جریان هوای مورد نیاز را حتی در حداکثر توان حفظ کند، بلافاصله تعویض شوند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd.، به عنوان یک تولید کننده زنجیره تمام صنعت، مشخصات مقاومت اولیه ثابت را تضمین می کند و تعمیر و نگهداری پیش بینی را دقیق می کند.

ادامه مطلب
کنترل AMC (آلودگی مولکولی هوا) در تولید ویفر

آلودگی مولکولی هوابرد (AMC) یک تهدید جدی برای بازده در گره‌های تولید ویفر پیشرفته (زیر 10 نانومتر) ایجاد می‌کند و باعث ایجاد نقص‌هایی مانند خوردگی فلزی (از اسیدها) و مقاومت نوری «T-topping» (از بازها/آمین‌ها) می‌شود. کنترل مؤثر مستلزم ادغام فیلترهای شیمیایی تخصصی در واحدهای فیلتر فن سقفی (FFU) است. این راهنما فیلترها را بر اساس آلاینده هدف دسته بندی می کند: سری MA برای اسیدها (SOx، HCl)، سری MB برای بازها/آمین ها (NH3، برای لیتوگرافی بسیار مهم)، و سری MV برای مواد آلی/VOC. یک چالش مهم این است که فیلترهای شیمیایی مقاومت قابل توجهی (فشار استاتیک) را اضافه می کنند. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. این مشکل را با استفاده از بیش از 20 سال تجربه زنجیره کامل در صنعت برای تولید موتورهای EC/AC با گشتاور بالا حل می کند. مهندسان Deshengxin FFUهای فشار استاتیکی بالا را طراحی کرده اند که به طور خاص برای حفظ سرعت جریان هوای مورد نیاز حتی زمانی که با محیط های فیلتراسیون شیمیایی متراکم بارگیری می شوند، طراحی شده اند.

ادامه مطلب
AC در مقابل EC FFU: تجزیه و تحلیل هزینه انرژی 5 ساله برای کارخانه های بزرگ

این تجزیه و تحلیل هزینه های عملیاتی 5 ساله واحدهای فیلتر AC در مقابل EC Fan Filter Units (FFU) را در کارخانه های نیمه هادی در مقیاس بزرگ مقایسه می کند. برای یک مرکز نمایندگی که به طور مداوم 5000 FFU کار می کند، تغییر از موتورهای AC سنتی به فناوری مدرن و با راندمان بالا EC (Electronically Commutated) باعث صرفه جویی قابل توجهی می شود. بر اساس برآوردهای محافظه کارانه از صرفه جویی 50 وات در هر واحد و هزینه برق 0.10 دلار در کیلووات ساعت، یک تاسیسات سالانه بیش از 219000 دلار آمریکا در هزینه های مستقیم برق صرفه جویی می کند که در مجموع به بیش از 1 میلیون دلار در طول پنج سال می رسد. صرفه جویی قابل توجه اضافی از طریق کاهش بارهای خنک کننده HVAC به دلیل انتشار حرارت کمتر موتورهای EC انجام می شود. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. این ROI را از طریق مزیت 'زنجیره کامل صنعت' خود به حداکثر می رساند و موتورهای EC با کارایی بالا خود را به طور خاص برای FFUهای خود تولید می کند و از راندمان بالاتر با هزینه اولیه رقابتی اطمینان حاصل می کند.

ادامه مطلب

با تیم پشتیبانی ما تماس بگیرید

تولید کننده تجهیزات اتاق تمیز برای نیمه هادی و الکترونیک

حل چالش های حیاتی در تولید میکرو الکترونیک

راه حل های نیمه هادی Cleanroom Air: FFU & EFU for Wafer Fab | FFUFAN

با ما تماس بگیرید

لینک های سریع

دسته بندی محصولات

برای خبرنامه ما ثبت نام کنید