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Fabricante integral de equipos para salas blancas para semiconductores y electrónica

半导体制造

Resolviendo desafíos críticos en la fabricación de microelectrónica

Pérdida de rendimiento: las partículas en el aire son el enemigo número uno del rendimiento de las obleas. Ofrecemos filtración de grado ISO Clase 1.
Sensible a las vibraciones: Los ventiladores tradicionales vibran y dañan la litografía de precisión. Nuestros motores equilibrados garantizan una vibración ultrabaja.
Riesgos de ESD: la electricidad estática destruye los chips. Proporcionamos pintura y materiales antiestáticos (ESD) para todos los equipos.
 
 

Soluciones semiconductoras de aire para salas blancas: FFU y EFU para Wafer Fab | FFUFÁN

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1
PREFILTRO
2
Filtro de eficiencia media
3
Filtro químico
4
Filtro HEPA
5
Unidad de filtrado de ventilador FFU
6
Filtro químico
7
Filtro HEPA/ULPA
8
FFU
9
cabina limpia
10
Caja HEPA
11
CAJA HEPA desechable
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PREFILTRO
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Filtro de eficiencia media
3
Filtro químico
4
Filtro HEPA
5
Unidad de filtrado de ventilador FFU
6
Filtro químico
7
Filtro HEPA/ULPA
8
FFU
9
cabina limpia
10
Caja HEPA
11
CAJA HEPA desechable

Mejore el rendimiento de sus obleas con los sistemas de filtración sin AMC y vibración ultrabaja de FFU. Proporcionamos soluciones de sala limpia compatibles con ISO Clase 1 diseñadas específicamente para fotolitografía, grabado y procesos de película delgada.

  • Estándares de vibración cero para litografía
    Estándares de vibración cero para litografía
  • Filtración AMC avanzada (sin boro ni fósforo)
    Filtración AMC avanzada (sin boro ni fósforo)
Equipamiento completo para cada zona
Sistema de circulación de aire y rejilla de techo
 
deshengxin-ffu-con-motor-ec-de-fabricación-propia
Gama Deshengxin de filtros de aire de alta eficiencia, incluidos los grados HEPA (H13, H14) y ULPA (U15, U16, U17) para purificación de salas blancas.
Filtro químico Deshengxin (eliminación AMC) para salas blancas de semiconductores. Medios de resina de intercambio iónico y carbón activado diseñados para neutralizar COV, ácidos y bases.
¿Por qué Deshengxin?
  • Control inteligente: capacidad de control de grupo masivo (monitoreo de más de 10 000 nodos).
  • Aerodinámica: el ventilador y el motor están sintonizados internamente para lograr una vibración mínima (vital para la litografía).
 
HVAC y sistema de prefiltración
 
Serie de prefiltración HVAC de Deshengxin: filtros de panel primario G3-G4 y filtros de bolsa/banco en V de eficiencia media F5-F9. Diseñado para sistemas MAU de salas blancas.
Filtro químico Deshengxin (eliminación de AMC) para salas blancas de semiconductores. Medios de resina de intercambio iónico y carbón activado diseñados para neutralizar COV, ácidos y bases.
Filtro HEPA de alta temperatura (250°C) con sellador de silicona roja y marco de acero inoxidable SUS304. Grado H13/H14 para hornos de secado de semiconductores.

¿Por qué Deshengxin?

  • Suministro de gama completa: Producimos todo el espectro de filtros, desde G3 hasta U17, garantizando compatibilidad y compras de mantenimiento en un solo lugar.
 
Entrada de personal y material
 
Sistema de entrada a sala limpia con túnel de ducha de aire de acero inoxidable SUS304 (chorros de 25 m/s) y lavadora/secadora de manos por inducción automática.
Armarios de sala blanca de acero inoxidable para guardar trajes de conejita y máquina automática de limpieza de suelas de zapatos en vestidor. Diseño de muebles sin polvo.
Dynamic Pass Box equipada con filtración HEPA y lámpara de esterilización UV. Sistema de bloqueo electrónico para evitar la contaminación cruzada durante la transferencia de material.

¿Por qué Deshengxin?

  • Personalización de ajuste perfecto: La distribución de cada vestidor es diferente. Como fabricante original, personalizamos las dimensiones de las duchas de aire y los guardarropas para  maximizar la utilización del espacio , garantizando un flujo perfecto para el personal.
  • Diseño centrado en el usuario: Desde  guía por voz inteligente  en duchas de aire hasta diseños de gabinetes ergonómicos, nuestro equipo está diseñado para agilizar el proceso de vestimenta, reducir el tiempo de entrada del personal y minimizar las tasas de error.
 
Línea de producción y control ESD local
 
Deshengxin Ionizing FFU equipada con barras ionizadoras integradas para la neutralización electrostática activa en procesos de litografía de semiconductores.
Banco limpio de flujo laminar Deshengxin (ISO Clase 5 / Clase 100). Disponible en configuraciones de flujo vertical y horizontal para montaje e inspección en salas blancas.
Estación de trabajo de cabina limpia personalizable que muestra una rejilla de techo FFU independiente. Disponible en varios materiales de pared para adaptarse a maquinaria de producción específica.

 ¿Por qué Deshengxin?

  •  Protección Local Integrada:  Ofrecemos un completo conjunto de herramientas para el control de microambientes.
  •  Control estático:  Nuestras  FFU ionizantes  están diseñadas para neutralizar los riesgos de ESD en la fuente, a diferencia de las unidades de filtro de ventilador estándar.
  • Gabinetes versátiles: Ya sea que necesite  Bancos Limpios  para montaje o  Cabinas Modulares  (Acrílico/Acero/PVC) para equipos grandes, fabricamos todo el alojamiento y el sistema de filtración.
  • Ajuste perfecto: Personalizamos la dirección del flujo de aire (vertical/horizontal) y las dimensiones para adaptarlas a su proceso específico, garantizando que cada centímetro de su línea de producción esté protegido.

 

 
¿Por qué elegir un fabricante real frente a un ensamblador?
 
Característica Deshengxin (fábrica de fuentes) ensambladores ordinarios
Motor central De fabricación propia (interna)   Personalizado para obtener la mejor aerodinámica. Motores genéricos subcontratados   , riesgo de desajuste.
Gama de productos Cadena Industrial Completa  FFU, Ducha de Aire, Filtros, Chapa. Filtros de compras limitadas/mixtas   aquí, fans allá.
Control de costos Precio directo de fábrica   Sin márgenes de intermediarios. Mayor precio   Márgenes añadidos de los proveedores.
Plazo de entrega Rápido y Controlable   Controlamos las materias primas. Incierto   Depende de sus subproveedores.
Postventa Soporte técnico de por vida   Conocemos cada tornillo de nuestra máquina. Respuesta lenta   Necesidad de contactar a las fábricas originales.
 
Control de precisión para entornos sensibles
 
1. Capacidad de escalamiento masivo y estabilidad
Construido sobre protocolos de comunicación robustos (Modbus/TCP/IP), nuestro sistema admite la conexión en red estable de más de 10,000 nodos. Ya sea para un laboratorio pequeño o una megafabrica, el sistema se expande perfectamente sin latencia de señal.
2. Mapeo de diseño visualizado
Diga adiós a los códigos complejos. Importamos el diseño de la rejilla del techo de su sala blanca al software, creando un mapa visual. Puede verificar el estado (Encendido/Apagado/Velocidad) de cada ubicación FFU específica directamente en la pantalla.
3. Gestión precisa del flujo de aire y la energía.
Libere ahorros operativos. Puede configurar estrategias de control de zona (por ejemplo, 'Modo de producción' frente a 'Modo nocturno/de espera') para reducir las RPM durante las horas no laborales, lo que reduce significativamente los costos de electricidad.
4. Diagnóstico inteligente de fallos
Mantenimiento simplificado. Si falla una sola FFU, el sistema activa una alarma instantánea y señala la coordenada exacta en el mapa. Esto elimina la verificación manual y reduce drásticamente el tiempo de inactividad.
5. Interfaz localizada personalizable
lista para todo el mundo. Debido a que desarrollamos el código fuente internamente, podemos personalizar la interfaz del software en su idioma local. Esto garantiza que sus operadores en el sitio puedan administrar el sistema de manera intuitiva, eliminando las barreras del idioma y reduciendo los errores operativos.
Sistema de control de grupo inteligente
Administrar más de 10 000 FFU en una fábrica grande es fácil con Deshengxin. Nuestro sistema de control patentado permite monitoreo en tiempo real, alarmas de error y ajustes de velocidad desde una sola PC o terminal móvil.
Mapeo de diseño visualizado de FFU
El 'corazón' de la sala limpia
Nuestros motores EC/DC internos se prueban durante más de 40 000 horas de funcionamiento continuo, lo que ofrece un ahorro de energía del 30 % en comparación con los motores de CA tradicionales, una enorme reducción de costos para las fábricas de semiconductores que funcionan las 24 horas, los 7 días de la semana.
DSX EC/DC Motors est
Especificaciones técnicas: grado semiconductor frente a FFU estándar
 
Característica  FFU estándar Grado de semiconductor DSX FFU
Medios filtrantes Fibra de vidrio PTFE / ULPA (U15-U17)
desgasificación Niveles estándar Materiales con bajo contenido de boro y sin desgasificación
Vibración < 1,0 mm/s < 0,5 mm/s (Equilibrado dinámico)
Sistema de control Control de velocidad manual Control de grupo inteligente Modbus/TCP
Solicitud Industria General Fabricación de obleas, embalaje y pruebas
producción de UFU

¿Listo para construir su sala limpia de clase ISO?
Ya sea que necesite una sola ducha de aire o 10 000 FFU para una nueva planta, Deshengxin es su socio de confianza.


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 Preguntas comunes para salas limpias de semiconductores
 
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Como proveedor líder de equipos para salas blancas en China, contamos con un equipo de ventas profesional, una amplia gama de proveedores, una profunda presencia en el mercado y excelentes servicios integrales.

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