Logo DSX

Výrobce zařízení pro čisté prostory na jednom místě pro polovodiče a elektroniku

半导体制造

Řešení kritických výzev ve výrobě mikroelektroniky

Ztráta výnosu: Vzduchem přenášené částice jsou nepřítelem č. 1 při výtěžnosti plátků. Nabízíme filtraci třídy ISO 1.
Citlivé na vibrace: Tradiční ventilátory vibrují a poškozují přesnou litografii. Naše vyvážené motory zajišťují ultra nízké vibrace.
Rizika ESD: Statická elektřina ničí čipy. Poskytujeme antistatické (ESD) nátěry a materiály pro všechna zařízení.
 
 

Semiconductor Cleanroom Air Solutions: FFU & EFU for Wafer Fab | FFUFAN

无尘室解决方案英文(1).png
1
PŘEDFILTR
2
Středně účinný filtr
3
Chemický filtr
4
HEPA filtr
5
Filtrační jednotka ventilátoru FFU
6
Chemický filtr
7
HEPA/ULPA filtr
8
FFU
9
Čistý stánek
10
HEPA box
11
Jednorázový HEPA BOX
1
PŘEDFILTR
2
Středně účinný filtr
3
Chemický filtr
4
HEPA filtr
5
Filtrační jednotka ventilátoru FFU
6
Chemický filtr
7
HEPA/ULPA filtr
8
FFU
9
Čistý stánek
10
HEPA box
11
Jednorázový HEPA BOX

Zvyšte výtěžnost svých waferů pomocí FFU s ultra nízkými vibracemi a filtračními systémy bez AMC. Poskytujeme řešení pro čisté prostory kompatibilní s třídou ISO 1 speciálně navržená pro fotolitografii, leptání a tenkovrstvé procesy.

  • Standardy nulových vibrací pro litografii
    Standardy nulových vibrací pro litografii
  • Pokročilá filtrace AMC (bez boru a fosforu)
    Pokročilá filtrace AMC (bez boru a fosforu)
Komplexní vybavení pro každou zónu
Stropní mřížka a systém cirkulace vzduchu
 
deshengxin-ffu-s-self-made-ec-motor
Řada vysoce účinných vzduchových filtrů Deshengxin, včetně tříd HEPA (H13, H14) a ULPA (U15, U16, U17) pro čištění čistých prostor.
Chemický filtr Deshengxin (AMC Removal) pro čisté prostory pro polovodiče. Média s aktivním uhlím a iontoměničovou pryskyřicí určená k neutralizaci VOC, kyselin a zásad.
Proč Deshengxin?
  • Smart Control: Možnost masivního skupinového řízení (monitorování více než 10 000 uzlů).
  • Aerodynamika: Ventilátor a motor jsou interně vyladěny pro minimální vibrace (nezbytné pro litografii).
 
HVAC a předfiltrační systém
 
Předfiltrační řada Deshengxin HVAC: primární panelové filtry G3-G4 a filtry se střední účinností F5-F9/V-banka. Navrženo pro systémy MAU v čistých prostorách.
Chemický filtr Deshengxin (AMC Removal) pro čisté prostory pro polovodiče. Média s aktivním uhlím a iontoměničovou pryskyřicí určená k neutralizaci VOC, kyselin a zásad.
Vysokoteplotní HEPA filtr (250°C) s červeným silikonovým tmelem a rámem z nerezové oceli SUS304. Třída H13/H14 pro sušicí pece polovodičů.

Proč Deshengxin?

  • Kompletní nabídka: Vyrábíme celé spektrum filtrů – od G3 po U17 – zajišťujeme kompatibilitu a nákup údržby na jednom místě.
 
Personální a materiální róba
 
Vstupní systém do čistých prostor s nerezovým vzduchovým sprchovým tunelem SUS304 (trysky 25 m/s) a automatickou indukční myčkou / sušičkou rukou.
Nerezové šatní skříně pro čisté prostory pro uložení obleku zajíčka a automatický stroj na čištění podrážek bot v šatně. Bezprašný design nábytku.
Dynamic Pass Box vybavený HEPA filtrací a UV sterilizační lampou. Elektronický blokovací systém, který zabraňuje křížové kontaminaci během přenosu materiálu.

Proč Deshengxin?

  • Perfektní přizpůsobení: Uspořádání každé šatny je jiné. Jako výrobce zdrojů přizpůsobujeme rozměry vzduchových sprch a šatních skříní, abychom  maximalizovali využití vašeho prostoru a zajistili bezproblémový tok pro personál.
  • Design zaměřený na uživatele: Od  inteligentního hlasového navádění  ve vzduchových sprchách až po ergonomické rozvržení kabinetu je naše zařízení navrženo tak, aby zjednodušilo proces oblékání, zkrátilo čas vstupu personálu a minimalizovalo chybovost.
 
Výrobní linka a místní ESD kontrola
 
Deshengxin Ionizing FFU vybavený integrovanými ionizačními tyčemi pro aktivní elektrostatickou neutralizaci v procesech polovodičové litografie.
Deshengxin Laminar Flow Clean Bench (třída ISO 5 / třída 100). K dispozici v konfiguraci vertikálního a horizontálního průtoku pro montáž a kontrolu v čistých prostorách.
Přizpůsobitelná pracovní stanice čisté kabiny zobrazující nezávislou stropní mřížku FFU. K dispozici v různých materiálech stěn, aby vyhovovaly konkrétním výrobním strojům.

 Proč Deshengxin?

  •  Integrovaná místní ochrana:  Nabízíme kompletní sadu nástrojů pro kontrolu mikroprostředí.
  •  Statická kontrola:  Naše  ionizační FFU  jsou navrženy tak, aby neutralizovaly ESD rizika u zdroje, na rozdíl od standardních ventilátorových filtračních jednotek.
  • Všestranné kryty: Ať už potřebujete  čisté lavice  pro montáž nebo  modulární kabiny  (akryl/ocel/PVC) pro velká zařízení, vyrábíme celý kryt a filtrační systém.
  • Perfektní střih: Přizpůsobíme směr proudění vzduchu (vertikální/horizontální) a rozměry tak, aby vyhovovaly vašemu specifickému procesu, a zajistíme tak ochranu každého centimetru vaší výrobní linky.

 

 
Proč si vybrat skutečného výrobce vs. montážník?
 
Funkce Deshengxin (továrna na zdroje) Obyčejní montážníci
Jádrový motor Vlastní výroba (vlastní)   Přizpůsobená pro nejlepší aerodynamiku. Externě zadané   generické motory, riziko nesouladu.
Produktová řada Kompletní průmyslový řetězec  FFU, vzduchové sprchy, filtry, plechy. Limited / Mixed   Kupuje filtry sem, ventilátory tam.
Řízení nákladů Factory Direct Cena   Žádné přirážky prostředníka. Vyšší cena   Přidané marže od dodavatelů.
Dodací lhůta Rychlé a kontrolovatelné   Kontrolujeme suroviny. Nejisté   Závisí na jejich subdodavatelích.
Poprodejní služby Doživotní technická podpora   Známe každý šroub v našem stroji. Pomalá odezva   Potřeba kontaktovat původní továrny.
 
Přesné ovládání pro citlivá prostředí
 
1. masivního škálování a stabilita Schopnost
Náš systém je postaven na robustních komunikačních protokolech (Modbus/TCP/IP) a podporuje stabilní síťové propojení více než 10 000 uzlů. Ať už jde o malou laboratoř nebo velkou továrnu, systém se plynule rozšiřuje bez zpoždění signálu.
2. Vizualizované mapování rozložení
Rozlučte se se složitými kódy. Importujeme rozvržení mřížky stropu čistých prostor do softwaru a vytvoříme vizuální mapu. Přímo na obrazovce můžete zkontrolovat stav (zapnuto/vypnuto/rychlost) každého konkrétního umístění FFU.
3. Přesné řízení proudění vzduchu a energie
Odemkněte provozní úspory. Můžete nastavit strategie Zone Control (např. 'Produkční režim' vs. 'Noční/Pohotovostní režim') na nižší otáčky během mimopracovních hodin, čímž se výrazně snižují náklady na elektřinu.
4. Inteligentní diagnostika poruch
Snadná údržba. Pokud selže jeden FFU, systém spustí okamžitý poplach a určí přesné souřadnice na mapě. To eliminuje ruční kontrolu a výrazně snižuje prostoje.
5. Přizpůsobitelné lokalizované rozhraní
Globální připraveno. Protože zdrojový kód vyvíjíme interně, můžeme přizpůsobit softwarové rozhraní do vašeho místního jazyka. To zajišťuje, že vaši operátoři na místě mohou řídit systém intuitivně, eliminují jazykové bariéry a snižují provozní chyby.
Smart Group Control System
Správa 10 000+ FFU ve velké továrně je s Deshengxinem snadná. Náš proprietární řídicí systém umožňuje monitorování v reálném čase, chybové alarmy a nastavení rychlosti z jednoho PC nebo mobilního terminálu.
Vizualizované mapování rozložení FFU
'Srdce' čisté místnosti
Naše vlastní EC/DC motory jsou testovány na více než 40 000 hodin nepřetržitého provozu, což nabízí 30% úsporu energie ve srovnání s tradičními střídavými motory – masivní snížení nákladů pro 24/7 polovodičové továrny.
DSX EC/DC motory est
Technické specifikace: Polovodičová třída vs. standardní FFU
 
Funkce  Standardní FFU Polovodičová třída DSX FFU
Filtrační média Skleněné vlákno PTFE / ULPA (U15-U17)
Odplynění Standardní úrovně Materiály s nízkým obsahem boru / s nulovým odplyňováním
Vibrace < 1,0 mm/s < 0,5 mm/s (dynamicky vyvážené)
Řídicí systém Manuální ovládání rychlosti Inteligentní skupinové řízení Modbus/TCP
Aplikace Obecný průmysl Wafer Fab, balení, testování
Výroba FFU

Jste připraveni vybudovat čistou místnost třídy ISO?
Ať už potřebujete jednu vzduchovou sprchu nebo 10 000 FFU pro nový závod, Deshengxin je váš důvěryhodný partner.


Získejte cenovou nabídku přímo z výroby
 
 Běžné otázky pro čisté prostory pro polovodiče
 
  • 70mm ultratenký EFU: Prostorově úsporné řešení pro zařízení na čištění polovodičů třetí generace
    Zařízení pro čištění polovodičů třetí generace (SiC, GaN) čelí vážným prostorovým omezením. Standardní FFU na 250–350 mm se jednoduše nevejdou do omezené vertikální vůle těchto pokročilých nástrojů. Tento článek představuje 70mm ultratenký EFU DSX – navržený speciálně pro integraci zařízení s omezeným prostorem. S celkovou provozní tloušťkou ~100 mm, účinností filtrace ULPA až 99,9995 % (@0,12 μm) a výrobou v celém dodavatelském řetězci umožňuje toto řešení výrobcům čisticích zařízení maximalizovat vnitřní prostor, aniž by došlo ke snížení výkonu čistých prostor.
     
    Přečtěte si více
  • Výrobce polovodičových FFU - Filtrační jednotka ventilátoru pro čisté prostory Wujiang Deshengxin
    Wujiang Deshengxin je profesionální výrobce polovodičových FFU v Číně, který dodává vysoce účinné ventilátorové filtrační jednotky pro čisté prostory pro polovodiče. Naše EC FFU nabízí 30-50% úsporu energie, 99,995% účinnost filtrace a shodu s ISO 14644. OEM a ODM k dispozici. Kontaktujte nás pro spolehlivé řešení čistých prostor.

     
    Přečtěte si více
  • Výrobce polovodičových FFU | Wujiang Deshengxin EC ventilátorové filtrační jednotky pro čisté prostory
    Deshengxin EC FFU (Fan Filter Unit) se vyznačuje integrovanou technologií stejnosměrného motoru dosahující 30-50% úspory energie, účinností filtrace HEPA/ULPA až 99,9995 %, modulární redundantní konstrukcí a inteligentním řízením Modbus/BACnet. Vhodné pro čisté prostory pro polovodičové čisté prostory ISO třídy 1-5, biopharma GMP zařízení a výrobu lithiových baterií. K dispozici jsou vlastní velikosti, ESD bezpečná konstrukce a integrace chemického filtru.
    Přečtěte si více
  • Jak růst polovodičových zařízení pohání poptávku po čistých prostorách | deshengxin
    Vzhledem k tomu, že celosvětové dodávky polovodičových zařízení dosáhly v 1. čtvrtletí 2026 36,55 miliardy USD, meziročně o 14 % více, tažené investicemi souvisejícími s umělou inteligencí, poptávka po pokročilé infrastruktuře čistých prostor nadále roste. Společnost Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., se svým celořetězcovým výrobním modelem zahrnujícím FFU, vzduchové sprchy, průchozí boxy, HEPA filtry, čisté lavice a modulární čisté prostory, poskytuje řešení pro kontrolu kontaminace v souladu s ISO přizpůsobená pro továrny na výrobu polovodičových destiček, pokročilé balení a ultra přesné výrobní linky.

     
    Přečtěte si více
  • Ultratenký výrobce EFU | Filtrační jednotky polovodičových ventilátorů | DSX
    Vzhledem k tomu, že se uzly výroby polovodičů zmenšují, poptávka po přesných zařízeních pro čisté prostory s nízkými vibracemi a prostorově úsporným zařízením raketově vzrostla. Najít spolehlivého dodavatele schopného splnit tyto extrémní tolerance a zároveň udržet nízké náklady je velkou výzvou. S více než 20 lety zkušeností je společnost Wujiang Deshengxin (DSX) Purification předním výrobcem vlastních řešení pro čisté prostory. Zachováním 100% vlastní výroby motorů, řídicích systémů a filtrů dodává DSX vysoce výkonné a cenově výhodné zařízení šité na míru pro složitá polovodičová mikroprostředí a rozsáhlé hromadné objednávky.
     
    Přečtěte si více
  • Řešení prostorových omezení v čistých prostorách: Ultra tenký 70mm FFU pro bezproblémové vybavení a integraci EFEM
    Vzhledem k tomu, že polovodičové nástroje a modulární konstrukce čistých prostor jsou stále kompaktnější, tradiční jednotky ventilátorových filtrů často představují problémy s výškou světlé výšky během integrace zařízení (aplikace EFU). Tento článek představuje platformu DSX Ultra Thin FFU s profilem celkové hloubky 70 mm navrženým pro nízké podhledy, miniprostředí a filtraci namontovanou na nářadí. Diskuse se zabývá tím, jak vývoj vertikálně integrovaného motoru a řídicího systému DSX umožňuje redukovaný tvarový faktor bez obětování rovnoměrnosti proudění vzduchu nebo dlouhodobé spolehlivosti. Aplikační scénáře zahrnují EFEM manipulace s plátky, dodatečné vybavení skladem a pokročilé moduly přesné výroby, kde je kritický každý milimetr vertikálního prostoru.
    Přečtěte si více
  • Celkem 4 stránky Přejít na stránku
  • Jít
 
Technické články
  • Průvodce údržbou: Kdy vyměnit filtry HEPA/ULPA?
    Určení optimální doby pro výměnu HEPA nebo ULPA filtrů v čistých prostorách by nemělo být založeno na kalendářních plánech, ale spíše na monitorování založeném na stavu pomocí tlakového rozdílu (měřeno v Pascalech, Pa). Příliš brzká výměna filtrů šetří rozpočet, zatímco jejich příliš pozdní výměna snižuje rychlost proudění vzduchu a produktivitu. Standardní postup zahrnuje zaznamenávání 'počátečního odporu' (poklesu tlaku) při instalaci nových filtrů při správném průtoku vzduchu (např. 0,45 m/s). Filtry by měly být obecně vyměněny, když tlakový rozdíl dosáhne dvojnásobku (2x) počátečního odporu, nebo okamžitě, pokud jednotka ventilátoru filtru (FFU) již nemůže udržovat požadované rychlosti proudění vzduchu ani při maximálním výkonu. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., jako výrobce kompletních řetězů, zajišťuje konzistentní specifikace počátečního odporu, díky čemuž je prediktivní údržba přesná.
    Přečtěte si více
  • Řízení AMC (Airborne Molecular Contamination) při výrobě plátků
    Vzduchem přenášená molekulární kontaminace (AMC) představuje vážnou hrozbu výnosu v pokročilých výrobních uzlech plátků (pod 10nm), což způsobuje defekty, jako je kovová koroze (od kyselin) a fotorezist 'T-topping' (z bází/aminů). Efektivní ovládání vyžaduje integraci specializovaných chemických filtrů do stropních ventilátorových filtračních jednotek (FFU). Tato příručka kategorizuje filtry podle cílového znečištění: řada MA pro kyseliny (SOx, HCl), řada MB pro zásady/aminy (NH3, rozhodující pro litografii) a řada MV pro organické látky/VOC. Kritickým problémem je, že chemické filtry zvyšují odolnost (statický tlak). Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. to řeší využitím více než 20 let zkušeností z celého průmyslového řetězce k výrobě vlastních EC/AC motorů s vysokým točivým momentem. Deshengxin konstruuje vysokostatické tlakové FFU speciálně navržené tak, aby udržovaly požadované rychlosti proudění vzduchu, i když jsou naplněny hustým chemickým filtračním médiem.
    Přečtěte si více
  • AC vs. EC FFU: 5letá analýza energetických nákladů pro velké Fabs
    Tato analýza porovnává 5leté provozní náklady AC a EC ventilátorových filtračních jednotek (FFU) ve velkých továrnách na výrobu polovodičů. Pro reprezentativní zařízení, které nepřetržitě provozuje 5 000 FFU, přináší přechod z tradičních střídavých motorů na moderní, vysoce účinnou EC (elektronicky komutovanou) technologii podstatné úspory. Na základě konzervativních odhadů úspory 50 wattů na jednotku a nákladů na elektřinu ve výši 0,10 USD/kWh, zařízení ušetří více než 219 000 USD ročně pouze na přímých nákladech na elektřinu, v celkové výši přes 1 milion USD za pět let. Další významné úspory jsou realizovány snížením zatížení chlazení HVAC díky nižším tepelným emisím EC motorů. Společnost Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. maximalizuje tuto návratnost investic prostřednictvím své výhody 'plného průmyslového řetězce', vlastní výrobou vlastních vysoce výkonných EC motorů speciálně pro své FFU, což zajišťuje špičkovou účinnost za konkurenceschopné počáteční náklady.
    Přečtěte si více
Jako přední poskytovatel zařízení pro čisté prostory v Číně máme profesionální prodejní tým, rozsáhlé dodavatele, hlubokou přítomnost na trhu a vynikající komplexní služby.

KONTAKTUJTE NÁS

Telefon: +86-0512-63212787-808
E-mail: nancy@shdsx.com
WhatsApp：+86- 13646258112
Přidat：č. 18 z East Tongxin Road, TaihuNew Town, okres Wujiang, město Suzhou. Provincie Jiangsu, Čína

RYCHLÉ ODKAZY

KATEGORIE PRODUKTŮ

PŘIHLAŠTE SE K ODBĚRU NÁŠHO NEWSLETTERU

Copyright © 2024 WUJIANG DESHENGXIN PURIFICATION EQUIPMENT CO., LTD. Všechna práva vyhrazena.｜ Sitemap