রাসায়নিক ফিল্টার
অনেক কারখানায় শিল্প পরিবেশে জারা এবং গন্ধ দূষণের সমস্যা। এটি একটি একক ফ্যাক্টর দ্বারা সৃষ্ট নয় এবং একটি একক সমাধান দ্বারা সমাধান করা যাবে না।
SEMl স্ট্যান্ডার্ড F21-95 এয়ারবোর মলিকুলার কন্টামিনেশন (AMC) স্তরের সাপেক্ষে মাইক্রোইলেক্ট্রনিক ক্লিনরুমগুলিকে শ্রেণীবদ্ধ করার একটি পদ্ধতি প্রদান করে। এটি গ্যাস ফেজ কন্টামিন্যান্টের জন্য, কণা দূষণের জন্য ফেডারেল স্ট্যান্ডার্ড 209E এর সাথে সাদৃশ্যপূর্ণ। SEMstandard F21-95 গ্যাস-ফেজকন্টামিন্যান্টের বিভাগ এবং প্রতিটি বিভাগের জন্য অনুমোদিত ঘনত্বের স্তরের উপর ভিত্তি করে একটি ক্লিনরুমকে শ্রেণীবদ্ধ করে।
গ্যাস-ফেজ দূষণকারীর চারটি বিভাগ:
1. অ্যাসিড (বিভাগ A):
ক্ষয়কারী গ্যাস যা রাসায়নিকভাবে অ্যাসিড হিসাবে বিক্রিয়া করে (একটি ইলেক্ট্রোনাসেপ্টর)
2. বেস (বি বিভাগ): ক্ষয়কারী কাসেস যা রাসায়নিকভাবে বেস হিসাবে প্রতিক্রিয়া করে (একটি ইলেকট্রন দাতা)
3.কন্ডেন্সেবল (বিভাগ C): দূষক যাদের স্ফুটনাঙ্ক সাধারণত ঘরের তাপমাত্রার উপরে থাকে এবং ওয়েফার পৃষ্ঠে ঘনীভূত করতে সক্ষম।
4. ডোপ্যান্টস (বিভাগ D):
অর্ধপরিবাহী উপাদানের বৈদ্যুতিক বৈশিষ্ট্যগুলিকে পরিবর্তন করে এমন দূষক।
SEMl F21-95 শ্রেণীবিন্যাস 'M' অক্ষর দ্বারা চিহ্নিত করা হয়, তারপর বিভাগ নির্দেশক দ্বারা অনুসৃত হয়, তারপরে অনুমোদিত দূষক ঘনত্ব আংশিক প্রতি ট্রিলিয়ন(ppt)। ফোলেক্সাম্পল, MA-10 এর একটি শ্রেণীবিভাগ ব্যাখ্যা করা হয়, ঘরের বাতাসে সমস্ত অ্যাসিড গ্যাসের সর্বোচ্চ 10 পিপিটি গ্রহণযোগ্য ঘনত্ব রয়েছে।
বায়ুবাহিত আণবিক দূষণকারীর শ্রেণীবিভাগ
| উপাদান বিভাগ |
1 ppt |
10 ppt |
100 ppt |
1,000 ppt |
10,000 ppt |
| অ্যাসিড |
এমএ-১ |
এমএ-10 |
এমএ-100 |
এমএ-1000 |
MA-10,000 |
| ঘাঁটি |
MB-1 |
MB-10 |
MB-100 |
এমবি-1000 |
MB-10,000 |
| কনডেনসেবল |
এমসি-১ |
MC-10 |
MC-100 |
MC-1000 |
MC-10,000 |
| ডোপ্যান্টস |
MD-1 |
MD-10 |
MD-100 |
MD-1000 |
MD-10,000 |
'SEMlF21-95: পরিচ্ছন্ন পরিবেশে বায়ুবাহিত আণবিক দূষিত স্তরের শ্রেণিবিন্যাস'।1 ppb=1,000 ppt, এবং 1ppm=1,000,000 ppt।
অনুমোদিত AMC (বায়ুবাহিত আণবিক দূষক) ঘনত্ব ক্লিনরুমের শ্রেণী, ব্যবহৃত প্রক্রিয়া এবং নিযুক্ত সরঞ্জামের উপর নির্ভর করে।
0.25 um প্রক্রিয়ার জন্য প্রক্ষিপ্ত AMC সীমা
| প্রক্রিয়া ধাপ |
MAX বসার সময় |
এমএ(পিপিটি) |
এমবি (পিপিটি) |
এমসি (পিপিটি) |
এমডি (পিপিটি) |
| প্রাক-গেটঅক্সিডেশন |
4 ঘন্টা |
13,000 |
13,000 |
1,000 |
0.1 |
| স্যালিসিডেশন |
1 ঘন্টা |
180 |
13,000 |
35,000 |
1,000 |
| যোগাযোগ গঠন |
24 ঘন্টা |
5 |
13,000 |
2,000 |
100,000 |
| DUV ফটোরিথাগ্রাফি |
2 ঘন্টা |
10,000 |
1,000 |
100,000 |
10,000 |
ক্লিনরুমে সাধারণ দূষক এবং ঘনত্ব
| শ্রেণী |
দূষক |
ঘনত্ব রং, পিপিটি নিম্ন উচ্চ |
অ্যাসিড |
হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড |
20,000 |
400,000 |
| হাইড্রোফ্লুরিক অ্যাসিড |
40,000 |
250,000 |
| নাইট্রিক এসিড |
20,000 |
250,000 |
| সালফিউরিক এসিড |
10,000 |
300,000 |
| ফসফরিক এসিড |
10,000 |
400,000 |
| অ্যাসিটিক অ্যাসিড |
10,000 |
250,000 |
| নাইট্রোজেন ডাই অক্সাইড |
30,000 |
300,000 |
| সালফার ডাই অক্সাইড |
10,000 |
150,000 |
ঘাঁটি |
অ্যামোনিয়া |
10,000 |
200,000 |
| এনএমপি |
20,000 |
300,000 |
কনডেনসেবল |
অ্যাসিটোন |
20,000 |
500,000 |
| টলুইন |
10,000 |
250,000 |
ডোপ্যান্টস |
বোরিক এসিড |
এনডি |
200,000 |
| ফসফর ous |
এনডি |
5,000 |
| আর্সিন |
এনডি |
50,000 |
গন্ধ এবং গ্যাস দূষক নিয়ন্ত্রণের জন্য চারটি প্রধান কৌশল: মাস্কিং, দহন, বায়ুচলাচল এবং অপসারণ। মিডিয়া পেলেটগুলি শোষণ এবং অক্সিডেশন দ্বারা গ্যাস দূষক নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত হয়। রাসায়নিক ফিল্টার শোষণ এবং শোষণ নীতির দ্বারা আণবিক দূষক অপসারণ করা যেতে পারে।
কণা উপাদান নির্মূল করে বায়ু বিশুদ্ধ করতে, বায়বীয় এবং বাষ্পযুক্ত যৌগিক কণা ফিল্টারগুলি অবাঞ্ছিত গ্যাস এবং বাষ্পের উপর কার্যকরী হয় না।
যখন বায়বীয় বা তরল অণুগুলি একটি শোষণকারীর পৃষ্ঠে পৌঁছায় এবং কোনও রাসায়নিক বিক্রিয়া ছাড়াই থাকে, তখন ঘটনাটিকে শারীরিক শোষণ বা ফিজিসর্পশন বলে।
অপরিশোধিত কার্বন দ্বারা নিম্ন শোষণ ক্ষমতার কিছু গ্যাস উন্নত করার জন্য অন্যান্য রাসায়নিকের সাথে কার্বনকে গর্ভধারণ করা যেতে পারে। এই রাসায়নিকগুলি দূষিত পদার্থের ঘনত্ব কমাতে গ্যাসের সাথে বিক্রিয়া করে।
নির্দিষ্ট গ্যাস মুছে ফেলার আরেকটি উপায় হল তাদের ধরা এবং তাদের সাথে বিক্রিয়া করা। এই প্রক্রিয়াটিকে বলা হয় কেমিসোরপশন।
অনেক শোষণকারী উপাদান পাওয়া যায়; তাদের প্রত্যেকটি নির্দিষ্ট বাষ্পের সাথে বিশেষ সখ্যতার সাথে।
কার্বনের মাত্রা যখন ছোট হয়ে যাচ্ছে তখন পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল বেড়েছে৷ কণার আকার খুব ছোট হতে পারে, যদিও এটি কেবল কার্বন ধূলিকণা হয়ে যায়৷ lt বাতাসের বাষ্পে প্রবেশের সমস্যাও তৈরি করে, বা শক্তভাবে প্যাকিং উচ্চ চাপের ড্রপের কারণে৷ সর্বোত্তম আকার পরীক্ষা দ্বারা নির্ধারণ করা আবশ্যক.
আণবিক দূষণকারী সিস্টেমে, প্রাথমিক দূষক অপসারণের দক্ষতা ওজন, কার্বন কণার আকার, এবং কার্বন কার্যকলাপ, মোট পৃষ্ঠের ক্ষেত্রফল এবং পৃষ্ঠের রসায়ন প্রাথমিক দক্ষতা নির্ধারণের জন্য দুটি গুরুত্বপূর্ণ পরামিতিগুলির উপর নির্ভর করে না।
যদি বায়ু দূষণ খুব আর্দ্র হয় (বৃষ্টির দিনে), আর্দ্রতা প্রতিযোগিতামূলকভাবে কার্বন ক্ষমতার জন্য লক্ষ্যযুক্ত দূষিত গ্যাসের সাথে শোষণ করা যেতে পারে, তবে যদি প্রতিক্রিয়া ইস্কিমিসোর্বড হয় তবে আর্দ্রতা দ্রুত প্রতিক্রিয়া বাড়াতে পারে।
তাপমাত্রা যখন উচ্চতর হচ্ছে তখন তাপমাত্রা শোষণের হারকেও প্রভাবিত করতে পারে। কার্বনের প্রতি দূষকদের আকর্ষণ করা কঠিন।
