এয়ারবর্ন মলিকুলার কন্টামিনেশন (AMC) উন্নত ওয়েফার প্রোডাকশন নোড (সাব-10nm) এর ফলনের জন্য মারাত্মক হুমকি সৃষ্টি করে, যার ফলে ধাতব ক্ষয় (অ্যাসিড থেকে) এবং ফটোরেসিস্ট 'টি-টপিং' (বেস/অ্যামাইন থেকে) এর মতো ত্রুটি সৃষ্টি হয়। কার্যকরী নিয়ন্ত্রণের জন্য সিলিং ফ্যান ফিল্টার ইউনিটে (FFUs) বিশেষ রাসায়নিক ফিল্টার একত্রিত করা প্রয়োজন। এই নির্দেশিকাটি লক্ষ্য দূষক দ্বারা ফিল্টারগুলিকে শ্রেণীবদ্ধ করে: অ্যাসিডের জন্য এমএ সিরিজ (SOx, HCl), বেস/মাইনসের জন্য MB সিরিজ (NH3, লিথোগ্রাফির জন্য গুরুত্বপূর্ণ), এবং জৈব/VOC-এর জন্য MV সিরিজ। একটি গুরুত্বপূর্ণ চ্যালেঞ্জ হল রাসায়নিক ফিল্টারগুলি উল্লেখযোগ্য প্রতিরোধ (স্ট্যাটিক চাপ) যোগ করে। Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. এর নিজস্ব উচ্চ-টর্ক EC/AC মোটর তৈরি করার জন্য 20 বছরেরও বেশি পূর্ণ-শিল্প চেইন অভিজ্ঞতা লাভ করে এর সমাধান করে। Deshengxin প্রকৌশলী উচ্চ-স্থির চাপ FFU গুলিকে বিশেষভাবে প্রয়োজনীয় বায়ুপ্রবাহের বেগ বজায় রাখার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে এমনকি ঘন রাসায়নিক পরিস্রাবণ মিডিয়ার সাথে লোড করা হলেও।
এই বিশ্লেষণটি বড় আকারের সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে AC বনাম EC ফ্যান ফিল্টার ইউনিট (FFUs) এর 5-বছরের অপারেশনাল খরচের তুলনা করে। প্রতিনিয়ত 5,000 এফএফইউ চালানোর একটি প্রতিনিধি সুবিধার জন্য, ঐতিহ্যবাহী এসি মোটর থেকে আধুনিক, উচ্চ-দক্ষতা ইসি (ইলেক্ট্রনিকলি কম্যুটেটেড) প্রযুক্তিতে স্যুইচ করার ফলে যথেষ্ট সঞ্চয় হয়। প্রতি ইউনিটে 50-ওয়াট সাশ্রয় এবং $0.10/kWh বিদ্যুতের খরচের রক্ষণশীল অনুমানের উপর ভিত্তি করে, একটি সুবিধা বার্ষিক $219,000 মার্কিন ডলারের বেশি সাশ্রয় করে সরাসরি বিদ্যুৎ খরচে, যা পাঁচ বছরে মোট $1 মিলিয়নেরও বেশি। EC মোটর কম তাপ নির্গমনের কারণে কম HVAC কুলিং লোডের মাধ্যমে অতিরিক্ত উল্লেখযোগ্য সঞ্চয় উপলব্ধি করা হয়। Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. তার 'সম্পূর্ণ শিল্প শৃঙ্খল' সুবিধার মাধ্যমে এই ROI সর্বোচ্চ করে, বিশেষ করে তার FFU গুলোর জন্য অভ্যন্তরীণ উচ্চ-কার্যক্ষমতা সম্পন্ন EC মোটর তৈরি করে, প্রতিযোগিতামূলক অগ্রিম খরচে শীর্ষ-স্তরের দক্ষতা নিশ্চিত করে।
H1: রুম-সাইড প্রতিস্থাপনযোগ্য (RSR) FFU: জিরো-ডাউনটাইম ক্লিনরুম রক্ষণাবেক্ষণের জন্য চূড়ান্ত সমাধান রুম-সাইড প্রতিস্থাপনযোগ্য (RSR) FFU সোনার মান হয়ে উঠেছে, যাতে en
এই নির্দেশিকাটি FFU শ্রেণীবিভাগ, অ্যাপ্লিকেশন, এবং নির্বাচনের মানদণ্ডের একটি বিশদ বিশ্লেষণ প্রদান করে, যা পরিষ্কার বায়ু প্রযুক্তিতে উদ্ভাবন এবং গুণমানের প্রতি DeshengXin-এর প্রতিশ্রুতির উপর জোর দেয়।
এই নির্দেশিকা এর সমালোচনামূলক ভূমিকার বিবরণ অ্যান্টি-স্ট্যাটিক FFUs , কাস্টমাইজেশন বিকল্পগুলি হাইলাইট করা, কমপ্লায়েন্স স্ট্যান্ডার্ড, এবং ক্লিনরুম নিরাপত্তা এবং দক্ষতা অপ্টিমাইজ করার জন্য ইঞ্জিনিয়ারিং সেরা অনুশীলন। উচ্চ-প্রযুক্তি শিল্পে
FFU পরিমাণ গণনা পদ্ধতি এবং Deshengxin প্রযুক্তিগত সহায়তা1. FFUFFU এর সংজ্ঞা এবং উদ্দেশ্য, ফ্যান ফিল্টার ইউনিটের জন্য দাঁড়ানো, একটি মডুলার, স্ব-চালিত, এবং অত্যন্ত দক্ষ বায়ু পরিশোধন ডিভাইস। পরিষ্কার এবং স্থিতিশীল বায়ু প্রদানের জন্য পরিষ্কারকক্ষে এটি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, ম-এর পরিচ্ছন্নতা নিশ্চিত করে