ХІМІЧНЫ ФІЛЬТР

Праблема карозіі і забруджвання пахам у прамысловых умовах на многіх прадпрыемствах. гэта не выклікана адным фактарам і не можа быць вырашана адным рашэннем.

Стандарт SEMl F21-95 забяспечвае метад класіфікацыі мікраэлектронных чыстых памяшканняў у залежнасці ад узроўню малекулярнага забруджвання ў паветры (AMC). Гэта для забруджванняў газавай фазы, аналаг федэральнага стандарту 209E для забруджвання часціцамі. Стандарт SEM F21-95 класіфікуе чыстыя памяшканні на аснове катэгорыі забруджванняў газавай фазы і дапушчальнага ўзроўню канцэнтрацыі для кожнай катэгорыі.

Чатыры катэгорыі забруджванняў газавай фазы:

1. Кіслоты (катэгорыя А):

Каразійныя газы, якія хімічна рэагуюць як кіслоты (электронакцэптар)

2.Асновы (катэгорыя B):Каразійныя рэчывы, якія хімічна рэагуюць як асновы (донар электронаў)

3. Кандэнсаваныя рэчывы (катэгорыя C): забруджвальныя рэчывы, тэмпература кіпення якіх звычайна вышэй пакаёвай тэмпературы і здольныя кандэнсавацца на паверхні пласціны.

4.Дапанты (катэгорыя D):

Забруджвальнікі, якія змяняюць электрычныя ўласцівасці паўправадніковага матэрыялу.

Класіфікацыя SEMl F21-95 ідэнтыфікуецца літарай 'M', за якой ідзе абазначэнне катэгорыі, затым дапушчальная канцэнтрацыя забруджвальных рэчываў у долях на трыльён (ppt). Для прыкладу, класіфікацыя MA-10 трактуецца як максімальна дапушчальная канцэнтрацыя 10 ppt усіх кіслотных газаў у паветры памяшкання.

Класіфікацыя малекулярных забруджванняў у паветры

Матэрыяльная катэгорыя	1 пункт	10 пунктаў	100 п.п	1000 пунктаў	10 000 пунктаў
Кіслоты	МА-1	МА-10	МА-100	МА-1000	МА-10 000
Базы	МБ-1	МБ-10	МБ-100	МБ-1000	МБ-10 000
Кандэнсаты	МС-1	МС-10	МС-100	МС-1000	MC-10 000
Дабаўкі	МД-1	МД-10	МД-100	МД-1000	MD-10 000

'SEMlF21-95: Класіфікацыя ўзроўняў малекулярных забруджванняў у паветры ў чыстым асяроддзі'.

Дапушчальная канцэнтрацыя AMC (малекулярных забруджванняў у паветры) залежыць ад класа чыстага памяшкання, выкарыстоўванага працэсу і выкарыстоўванага абсталявання.

Прагназаваныя ліміты AMC для працэсу 0,25 мкм

Крок працэсу	МАКСІМАЛЬНЫ час сядзення	MA (ppt)	Мб (ppt)	MC (ppt)	MD (ppt)
Папярэдняе акісленне	4 гадзіны	13 000	13 000	1000	0.1
Саліцыдаванне	1 гадзіна	180	13 000	35 000	1000
Фарміраванне кантактаў	24 гадзіны	5	13 000	2000	100 000
Фотарытаграфія ДУВ	2 гадзіны	10 000	1000	100 000	10 000

Тыповыя забруджвальнікі і канцэнтрацыі ў чыстых памяшканнях

Катэгорыя	Забруджвальнікі	Паказчык канцэнтрацыі, ppt                   Нізкі Высокі
Кіслоты	Саляная кіслата	20 000	400 000
	Плавікавая кіслата	40 000	250 000
	Азотная кіслата	20 000	250 000
	Серная кіслата	10 000	300 000
	Фосфарная кіслата	10 000	400 000
	Воцатная кіслата	10 000	250 000
	Дыяксід азоту	30 000	300 000
	Дыяксід серы	10 000	150 000
Базы	Аміяк	10 000	200 000
	НМП	20 000	300 000
Кандэнсаты	ацэтон	20 000	500 000
	Талуол	10 000	250 000
Дабаўкі	Борная кіслата	НД	200 000
	Фосфарыстыя	НД	5000
	Арсін	НД	50 000

Чатыры асноўныя метады барацьбы з пахамі і газавымі забруджвальнікамі: маскіроўка, спальванне, вентыляцыя і выдаленне. Медыя-гранулы выкарыстоўваюцца для кантролю газавых забруджванняў шляхам адсорбцыі і акіслення. Хімічны фільтр можа выдаляць малекулярныя забруджвальнікі шляхам адсорбцыі і паглынання.

Для ачысткі паветра шляхам выдалення цвёрдых часціц, газападобных і парападобных злучэнняў сажавыя фільтры неэфектыўныя для непажаданых газаў і пароў.

Калі газападобныя або вадкія малекулы дасягаюць паверхні адсарбенту і застаюцца без якой-небудзь хімічнай рэакцыі, гэта з'ява называецца фізічнай адсорбцыяй або фізічнай адсорбцыяй.

Вуглярод можа быць прасякнуты іншымі хімічнымі рэчывамі для паляпшэння некаторых газаў з нізкай адсарбцыйнай здольнасцю неапрацаваным вугляродам. Гэтыя хімічныя рэчывы ўступаюць у рэакцыю з газамі, зніжаючы канцэнтрацыю забруджвальных рэчываў.

Іншы спосаб выдаліць пэўныя газы - гэта ўлавіць іх і ўступіць з імі ў рэакцыю. Гэты працэс называецца хемасорбцыяй.

Даступна мноства адсарбцыйных матэрыялаў; кожны з іх мае асаблівае сродства да пэўных пароў.

Плошча паверхні павялічваецца, калі памеры вугляроду становяцца меншымі. Памер часціц можа быць вельмі малым, нават калі яны проста ператвараюцца ў вугляродны пыл. Гэта таксама стварае праблемы з выхадам у паветра пары або шчыльнай упакоўкі, выкліканай высокім падзеннем ціску. Аптымальны памер неабходна вызначыць эксперыментальна.

У малекулярнай сістэме забруджванняў пачатковая эфектыўнасць выдалення забруджванняў не залежыць ад вагі, памеру часціц вугляроду і актыўнасці вугляроду. Агульная плошча паверхні і хімічны склад паверхні з'яўляюцца двума важнымі параметрамі для вызначэння пачатковай эфектыўнасці.

Калі забруджванне паветра вельмі вільготнае (напрыклад, у дажджлівы дзень), вільгаць можа адсарбавацца з мэтанакіраванымі забруджанымі газамі для атрымання вугляроднай ёмістасці, аднак калі рэакцыя ішэмісарбуецца, вільгаць можа хутка ўзмацніць рэакцыю.

Тэмпература таксама можа паўплываць на хуткасць адсорбцыі, калі тэмпература становіцца вышэй. Забруджвальныя рэчывы цяжэй прыцягнуць да вугляроду.