У фоталітаграфіі нават нябачныя мікравібрацыі могуць выклікаць размытасць малюнка і страту ўраджаю. Гэта тэхнічнае кіраўніцтва тлумачыць, як FFUFAN дасягае ўзроўню вібрацыі ніжэй за 0,5 мм/с (RMS). Мы вывучаем наш інжынерны падыход, у тым ліку дынамічна збалансаваныя крыльчаткі, амартызуючыя мацавання рухавіка і жорсткія канструкцыі, прызначаныя для зон літаграфіі класа 1 ISO.

Малекулярнае забруджванне паветрам (AMC) — класіфікаванае як кіслаты (MA), асновы (MB), кандэнсуемыя рэчывы (MC) і легіруючыя рэчывы (MD) — уяўляе крытычную пагрозу для паўправадніковых працэсаў ніжэй за 10 нм. У гэтым тэхнічным кіраўніцтве падрабязна апісана, як змагацца з гэтымі забруджвальнікамі з дапамогай  стратэгіі двухступеньчатай фільтрацыі . Мы аналізуем пераход ад традыцыйнага шкловалакна да  носьбітаў з ПТФЭ з нізкім вылучэннем газаў  , каб прадухіліць забруджванне борам, і тлумачым ролю  іонаабменных хімічных фільтраў  у абароне адчувальных зон літаграфіі і тручэння.'

Барацьба з электрастатычным разрадам (ESD) у чыстых памяшканнях для паўправаднікоў і электронікі патрабуе шматграннага падыходу, які вырашае як назапашванне абсталявання, так і зарады на паверхні прадукту. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. рэалізуе трохузроўневую стратэгію, заснаваную на больш чым 20-гадовым вопыце вытворчасці. Па-першае, пасіўная прафілактыка дасягаецца з дапамогай вентылятарных фільтраў (FFU) з токаправоднымі корпусамі (з нержавеючай сталі або з антыстатычнай фарбай), каб спыніць назапашванне зарада на абсталяванні. Па-другое, актыўная нейтралізацыя забяспечваецца спецыялізаванымі іянізавальнымі FFU, інтэграванымі з іянізатарамі, якія асыпаюць працоўную зону збалансаванымі іёнамі для нейтралізацыі зарадаў на адчувальных прадуктах. Нарэшце, Deshengxin забяспечвае поўнае асяроддзе, бяспечнае ад электрастатычнага разраду, праз электраправодныя чыстыя лаўкі і модульныя чыстыя кабіны для забеспячэння поўнага статычнага кантролю.

Паўправадніковыя чыстыя памяшканні часта патрабуюць дадання хімічных фільтраў ад малекулярнага забруджвання паветра (AMC) (напрыклад, серыі MA/MB/MV) да блокаў вентылятарных фільтраў (FFU), што значна павялічвае ўстойлівасць да статычнага ціску. Стандартныя FFU часта не могуць падтрымліваць паток паветра пры такой нагрузцы. Кампанія Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. вырашае гэтую задачу дзякуючы больш чым 20-гадоваму вопыту работы ў поўнай галіновай ланцужку. Інжынеры Deshengxin спецыялізавалі FFU высокага статычнага ціску. Выкарыстоўваючы ўласныя рухавікі з высокім крутоўным момантам і аптымізаваную канструкцыю крыльчаткі, Deshengxin гарантуе, што іх FFU валодаюць неабходнай магутнасцю для пераадолення высокага супраціву хімічных фільтраў, адначасова падтрымліваючы стабільны паток паветра, які мае вырашальнае значэнне для вырабу пласцін.

Асноўнае адрозненне паміж фільтрамі HEPA (высокаэфектыўныя цвёрдыя часціцы) і ULPA (ультра-нізкія цвёрдыя часціцы) у вытворчасці электронікі заключаецца ў эфектыўнасці фільтрацыі і мэтавым памеры часціц. Фільтры HEPA (класа H13/H14) звычайна захопліваюць 99,99% часціц памерам 0,3 мкм, што робіць іх прыдатнымі для стандартных зон зборкі электронікі. І наадварот, фільтры ULPA (маркі U15-U17) важныя для крытычна важных працэсаў звышчыстых паўправаднікоў, такіх як выраб пласцін і літаграфія. Фільтры ULPA захопліваюць значна меншыя часціцы памерам да 0,12 мкм з рэйтынгам эфектыўнасці да 99,999995%. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., выкарыстоўваючы больш чым 20-гадовы вопыт вытворчасці з поўным ланцужком, вырабляе фільтры абодвух класаў унутры кампаніі і дае індывідуальныя справаздачы аб выпрабаваннях для праверкі прадукцыйнасці для строгіх патрабаванняў да чыстых памяшканняў.