KİMYİ FİLTİR

Bir çox fabriklərdə sənaye mühitində korroziya və qoxu ilə çirklənmə problemi. tək bir amildən qaynaqlanmır və tək bir həll yolu ilə həll edilə bilməz.

SEMl standartı F21-95 mikroelektron təmiz otaqların Hava Boşluğu Molekulyar Çirklənmə (AMC) səviyyələrinə görə təsnifat metodunu təqdim edir. Bu, qaz fazalı çirkləndiricilərə aiddir, hissəciklərlə çirklənmə üçün Federal standart 209E ilə analoqdur. SEMstandard F21-95 təmiz otağı qaz fazalı çirkləndiricinin kateqoriyasına və hər bir kateqoriya üçün icazə verilən konsentrasiya səviyyəsinə əsasən təsnif edir.

Qaz fazalı çirkləndiricilərin dörd kateqoriyası:

1. Turşular (A kateqoriyası):

Kimyəvi olaraq turşular kimi reaksiya verən aşındırıcı qazlar (elektron qəbuledici)

2.Bazalar (kateqoriya B): Kimyəvi əsaslarla reaksiya verən aşındırıcı qaslar (elektron donoru)

3. Kondensasiya olunan maddələr (kateqoriya C): Qaynama nöqtəsi adətən otaq temperaturundan yuxarı olan və vafli səthində kondensasiya oluna bilən çirkləndiricilər.

4.Dopantlar (D kateqoriyası):

Yarımkeçirici materialın elektrik xassələrini dəyişdirən çirkləndiricilər.

SEMl F21-95 təsnifatı 'M' hərfi ilə, sonra kateqoriya təyin edən tərəfindən müəyyən edilir, sonra trilyona qismən icazə verilən çirkləndirici konsentrasiyası(ppt). Məsələn, MA-10 təsnifatı otaq havasındakı bütün turşu qazlarının maksimum icazə verilən konsentrasiyası 10 ppt kimi şərh olunur.

Hava ilə daşınan molekulyar çirkləndiricilərin təsnifatı

Material kateqoriyası	1 ppt	10 ppt	100 ppt	1000 ppt	10,000 ppt
Turşular	MA-1	MA-10	MA-100	MA-1000	MA-10,000
Əsaslar	MB-1	MB-10	MB-100	MB-1000	MB-10.000
Kondensativlər	MC-1	MC-10	MC-100	MC-1000	MC-10,000
Dopantlar	MD-1	MD-10	MD-100	MD-1000	MD-10,000

'SEMlF21-95: Təmiz Mühitlərdə Havada Düşən Molekulyar Çirkləndirici Səviyyələrin Təsnifatı'.1 ppb=1,000 ppt və 1ppm=1,000,000 ppt.

İcazə verilən AMC (havadakı molekulyar çirkləndiricilər) konsentrasiyası təmiz otağın sinifindən, istifadə olunan prosesdən və istifadə olunan avadanlıqdan asılıdır.

0,25 um Prosesi üçün proqnozlaşdırılan AMC limitləri

Proses addımı	MAX Oturma vaxtı	MA(ppt)	MB (ppt)	MC (ppt)	MD (ppt)
Qapıdan əvvəl oksidləşmə	4 saat	13.000	13.000	1000	0.1
Salisidləşmə	1 saat	180	13.000	35.000	1000
Əlaqələrin formalaşması	24 saat	5	13.000	2000	100.000
DUV Fotoqrafiyası	2 saat	10.000	1000	100.000	10.000

Təmiz Otaqda Tipik Çirkləndiricilər və Konsentrasiyalar

Kateqoriya	Çirkləndiricilər	Konsentrasiyarangr, ppt                   Aşağı Yüksək
Turşular	Hidroklor turşusu	20.000	400,000
	Hidrofluor turşusu	40.000	250.000
	Azot turşusu	20.000	250.000
	Kükürd turşusu	10.000	300.000
	Fosfor turşusu	10.000	400.000
	Sirkə turşusu	10.000	250.000
	Azot dioksidi	30.000	300.000
	Kükürd dioksidi	10.000	150.000
Əsaslar	Ammonyak	10.000	200.000
	NMP	20.000	300.000
Kondensativlər	Aseton	20.000	500.000
	Toluol	10.000	250.000
Dopantlar	Bor turşusu	ND	200.000
	Fosforlu	ND	5000
	Arsine	ND	50.000

Qoxu və qaz çirkləndiricilərinə nəzarət etmək üçün dörd əsas üsul: maskalanma, yanma, ventilyasiya və aradan qaldırılması. Media qranulları adsorbsiya və oksidləşmə ilə qaz çirkləndiricilərinə nəzarət etmək üçün istifadə olunur. Kimyəvi filtr adsorbsiya və udma prinsipləri ilə molekulyar çirkləndiriciləri çıxara bilər.

Hissəcikli materialı, qaz və buxar birləşmələri aradan qaldıraraq havanı təmizləmək üçün Partikül filtrləri arzuolunmaz qaz və buxarlara təsir göstərmir.

Qaz və ya maye molekullar adsorbentin səthinə çatdıqda və heç bir kimyəvi reaksiya vermədən qaldıqda, bu fenomen fiziki adsorbsiya və ya fizisorbsiya adlanır.

Təmizlənməmiş karbon tərəfindən aşağı udulma qabiliyyətinə malik müəyyən qazları yaxşılaşdırmaq üçün karbon digər kimyəvi maddələrlə hopdurula bilər. Bu kimyəvi maddələr çirkləndirici konsentrasiyanı azaltmaq üçün qazlarla reaksiya verir.

Xüsusi qazları silməyin başqa bir yolu onları tutmaq və onlarla reaksiya verməkdir. Bu proses kimyəvisorbsiya adlanır.

Çoxlu adsorbsiya materialları mövcuddur ki, onların hər biri müəyyən buxarlara xüsusi yaxınlığa malikdir.

Karbonun ölçüləri kiçildikcə səth sahəsi artır. Hissəciklərin ölçüsü sadəcə karbon tozuna çevrilsə də, çox kiçik ola bilər. Bu da hava buxarına qaçma problemi yaradır və ya sıx şəkildə qablaşdırma yüksək təzyiqin azalmasına səbəb olur. Optimal ölçü təcrübə ilə müəyyən edilməlidir.

Molekulyar çirkləndirici sistemdə ilkin çirkləndirici aradan qaldırılması effektivliyi çəkidən, karbon hissəciklərinin ölçüsündən və karbon aktivliyindən asılı deyil, ümumi səth sahəsi və səth kimyası ilkin səmərəliliyin müəyyən edilməsi üçün iki vacib parametrdir.

Əgər havanın çirklənməsi çox nəmdirsə (yağışlı bir gündə olduğu kimi), rütubət karbon tutumu üçün hədəflənmiş çirklənmiş qazlarla rəqabətli şəkildə adsorbsiya oluna bilər, lakin reaksiya iskemisorbsiya olunarsa, nəmlik reaksiyanı sürətlə artıra bilər.

Temperatur yüksələn zaman da adsorbsiya sürətinə təsir göstərə bilər. Çirkləndiriciləri karbona cəlb etmək daha çətindir.