በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ ውስጥ ወሳኝ ተግዳሮቶችን መፍታት

የምርት ኪሳራ ፡ የአየር ወለድ ቅንጣቶች የዋፈር ምርት #1 ጠላት ናቸው። የ ISO ክፍል 1 ክፍል ማጣሪያ እናቀርባለን።
የንዝረት ስሜት ቀስቃሽ ፡ ባህላዊ አድናቂዎች ይንቀጠቀጣሉ እና ትክክለኛ የሊቶግራፊን ይጎዳሉ። የእኛ ሚዛናዊ ሞተሮች እጅግ በጣም ዝቅተኛ ንዝረትን ያረጋግጣሉ።
የESD አደጋዎች፡- የማይንቀሳቀስ ኤሌክትሪክ ቺፖችን ያጠፋል ለሁሉም መሳሪያዎች ፀረ-ስታቲክ (ኢኤስዲ) ቀለም እና ቁሳቁሶችን እናቀርባለን.

ሴሚኮንዳክተር Cleanroom Air Solutions: FFU & EFU ለ Wafer Fab | ኤፍፉፋን

ቅድመ ማጣሪያ

መካከለኛ-ውጤታማነት ማጣሪያ

የኬሚካል ማጣሪያ

HEPA ማጣሪያ

FFU የደጋፊ ማጣሪያ ክፍል

የኬሚካል ማጣሪያ

HEPA/ULPA ማጣሪያ

FFU

ንጹህ ዳስ

HEPA ሳጥን

ሊጣል የሚችል HEPA BOX

ቅድመ ማጣሪያ

መካከለኛ-ውጤታማነት ማጣሪያ

የኬሚካል ማጣሪያ

HEPA ማጣሪያ

FFU የደጋፊ ማጣሪያ ክፍል

የኬሚካል ማጣሪያ

HEPA/ULPA ማጣሪያ

FFU

ንጹህ ዳስ

HEPA ሳጥን

ሊጣል የሚችል HEPA BOX

በFFU እጅግ በጣም ዝቅተኛ ንዝረት እና ከኤኤምሲ ነፃ የማጣሪያ ስርዓቶች ጋር የዋፈር ምርትዎን ያሳድጉ። የ ISO ክፍል 1 ተኳሃኝ የንፁህ ክፍል መፍትሄዎችን እናቀርባለን በተለይ ለፎቶላይትግራፊ ፣ ኢክሽን እና ስስ-ፊልም ሂደቶች የተነደፈ።

የዜሮ-ንዝረት ደረጃዎች ለሊቶግራፊ

ሴሚኮንዳክተር ማምረት መረጋጋት ያስፈልገዋል. የኛ FFU እና EFUs የንዝረት ደረጃዎች ከ0.5ሚሜ/ሰ በታች መቆየታቸውን ለማረጋገጥ በተለዋዋጭ ሚዛኑን የጠበቁ አስመጪዎችን እና ልዩ ድንጋጤ-መምጠጫዎችን ይጠቀማሉ።
የላቀ የኤኤምሲ ማጣሪያ (ቦሮን እና ፎስፈረስ ነፃ)

ቫፈርዎን ከአየር ወለድ ሞለኪውላዊ ብክለት ይጠብቁ። የኛ ኬሚካላዊ ማጣሪያዎች VOCsን፣ አሲዶችን እና መሰረቶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያስወግዳሉ፣ ይህም በወሳኝ የሂደት ዞኖች ውስጥ ምንም አይነት ጋዝ የሚወጣ ስጋቶችን አያረጋግጥም።

ለእያንዳንዱ ዞን አጠቃላይ መሣሪያዎች

የጣሪያ ፍርግርግ እና የአየር ዝውውር ስርዓት

FFU የደጋፊ ማጣሪያ ክፍሎች

የዲሼንግክሲን ክልል ከፍተኛ ብቃት ያለው የአየር ማጣሪያዎች፣ HEPA (H13፣ H14) እና ULPA (U15፣ U16፣ U17) ንፁህ ክፍልን የማጥራት ደረጃዎችን ጨምሮ።

ULPA / HEPA ማጣሪያ

ለሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍሎች Deshengxin የኬሚካል ማጣሪያ (ኤኤምሲ ማስወገጃ). የነቃ የካርቦን እና ion ልውውጥ ሬንጅ ሚዲያ ቪኦሲዎችን፣ አሲዶችን እና መሰረቶችን ለማጥፋት የተነደፈ።

የኬሚካል ማጣሪያዎች / ኤኤምሲ ማጣሪያዎች

ለምን Deshengxin?

ስማርት መቆጣጠሪያ ፡ ግዙፍ የቡድን ቁጥጥር ችሎታ (ከ10,000+ አንጓዎች መከታተል)።
ኤሮዳይናሚክስ ፡ ደጋፊ እና ሞተር በቤት ውስጥ ለትንሽ ንዝረት (ለሊትቶግራፊ አስፈላጊ) አብረው ተስተካክለዋል።

HVAC እና ቅድመ ማጣሪያ ስርዓት

Deshengxin HVAC ቅድመ ማጣሪያ ተከታታይ፡ G3-G4 ዋና ፓነል ማጣሪያዎች እና F5-F9 መካከለኛ የውጤታማነት ቦርሳ/V-ባንክ ማጣሪያዎች። ለንጹህ ክፍል MAU ስርዓቶች የተነደፈ።

ዋና እና መካከለኛ ማጣሪያ

AMC የኬሚካል ማጣሪያ

ከፍተኛ ሙቀት ያለው HEPA ማጣሪያ (250 ° ሴ) ከቀይ የሲሊኮን ማሸጊያ እና SUS304 አይዝጌ ብረት ፍሬም ጋር። ለሴሚኮንዳክተር ማድረቂያ ምድጃዎች H13/H14 ደረጃ።

ከፍተኛ-ሙቀት ማጣሪያዎች

ለምን Deshengxin?

ሙሉ ክልል አቅርቦት፡ ሙሉውን የማጣሪያ ስፔክትረም ከG3 እስከ U17 - ተኳኋኝነትን እና የአንድ ጊዜ ማቆሚያ ግዢን በማረጋገጥ እንሰራለን።

የሰራተኞች እና የቁሳቁስ ማስጌጫ መግቢያ

SUS304 አይዝጌ ብረት የአየር ሻወር ዋሻ (25ሜ/ሰከንድ ጄት) እና አውቶማቲክ ኢንዳክሽን የእጅ ማጠቢያ/ማድረቂያ ያለው የንፁህ ክፍል መግቢያ ስርዓት።

ንቁ ጽዳት

አይዝጌ ብረት የጸዳ ክፍል አልባሳት ለጥንቸል ልብስ ማከማቻ እና አውቶማቲክ የጫማ ብቸኛ ማጽጃ ማሽን በልብስ መስጫ ክፍል። ከአቧራ-ነጻ የቤት ዕቃዎች ንድፍ.

የሚያጌጡ የቤት ዕቃዎች

ተለዋዋጭ ማለፊያ ሳጥን በ HEPA ማጣሪያ እና በ UV ማምከን አምፖል የተገጠመለት። በቁሳቁስ በሚተላለፉበት ጊዜ መበከልን ለመከላከል የኤሌክትሮኒክስ የመቆለፊያ ስርዓት.

የቁሳቁስ ማስተላለፍ

ለምን Deshengxin?

ፍጹም የአካል ብቃት ማበጀት; እያንዳንዱ የልብስ ማጠቢያ ክፍል አቀማመጥ የተለየ ነው. እንደ ምንጭ አምራች፣ ለማድረግ የአየር ሻወር እና የልብስ ማጠቢያዎች ልኬቶችን እናበጃለን የእርስዎን የጠፈር አጠቃቀምን ከፍ ፣ ይህም ለሰራተኞች እንከን የለሽ ፍሰትን እናረጋግጣለን።
ተጠቃሚን ያማከለ ንድፍ፡ ከ Smart Voice Guidance በአየር ሻወር እስከ ergonomic ካቢኔ አቀማመጦች፣ መሳሪያችን የተነደፈው የአለባበስ ሂደቱን ለማመቻቸት፣ የሰራተኞች መግቢያ ጊዜን በመቀነስ እና የስህተት መጠንን ለመቀነስ ነው።

የምርት መስመር እና የአካባቢ ኢኤስዲ ቁጥጥር

Deshengxin Ionizing FFU በሴሚኮንዳክተር ሊቶግራፊ ሂደቶች ውስጥ ንቁ ኤሌክትሮስታቲክ ገለልተኛነት የተቀናጀ ionizer አሞሌዎች የታጠቁ።

FFU (ንቁ የ ESD ቁጥጥር)

Deshengxin Laminar ፍሰት ንጹህ ቤንች (ISO ክፍል 5 / ክፍል 100). ለንጹህ ክፍል ስብሰባ እና ፍተሻ በአቀባዊ እና አግድም ፍሰት ውቅሮች ውስጥ ይገኛል።

የላሚናር ፍሰት ንጹህ አግዳሚ ወንበሮች

ራሱን የቻለ የFFU ጣሪያ ፍርግርግ በማሳየት ሊበጅ የሚችል ንጹህ ዳስ ሥራ ጣቢያ። ልዩ የማምረቻ ማሽኖችን ለመግጠም በተለያዩ የግድግዳ ቁሳቁሶች ውስጥ ይገኛል.

ሞዱል ንጹህ ዳስ

ለምን Deshengxin?

የተቀናጀ የአካባቢ ጥበቃ ፡ ለጥቃቅን አካባቢ ቁጥጥር የተሟላ መሳሪያ እናቀርባለን።
የማይንቀሳቀስ ቁጥጥር ፡ የእኛ Ionizing FFUs የኢኤስዲ ስጋቶችን ከምንጩ ላይ ለማስወገድ የተፈጠሩ ናቸው፣ከመደበኛ የደጋፊዎች ማጣሪያ ክፍሎች በተለየ።
ሁለገብ ማቀፊያዎች ቢፈልጉ ወይም ንጹህ ቤንች ለመገጣጠም ሞዱላር ቡዝ (አሲሪሊክ/ስቲል/PVC) ለትላልቅ መሳሪያዎች፣ አጠቃላይ የቤቶች እና የማጣሪያ ስርዓት እንሰራለን።
ፍጹም ብቃት፡ እያንዳንዱ ኢንች የምርት መስመርዎ የተጠበቀ መሆኑን በማረጋገጥ የአየር ፍሰት አቅጣጫውን (አቀባዊ/አግድም) እና ልኬቶችን ከእርስዎ የተለየ ሂደት ጋር እናስተካክላለን።

ለምን እውነተኛ አምራች እና ሰብሳቢ ይምረጡ?

ባህሪ	ደሼንግክሲን (ምንጭ ፋብሪካ)	ተራ ሰብሳቢዎች
ኮር ሞተር	በራስ የተመረተ (ቤት ውስጥ) ለምርጥ ኤሮዳይናሚክስ የተበጀ።	ከውጪ የወጡ አጠቃላይ ሞተሮች፣ አለመመጣጠን አደጋ።
የምርት ክልል	ሙሉ ኢንዱስትሪ ሰንሰለት FFU, የአየር ሻወር, ማጣሪያዎች, ሉህ ብረት.	የተወሰነ/ድብልቅ ግዢ ማጣሪያዎች እዚህ፣ አድናቂዎች እዚያ።
ወጪ ቁጥጥር	የፋብሪካ ቀጥተኛ ዋጋ ምንም የደላላ ምልክት የለም።	ከፍ ያለ ዋጋ ከአቅራቢዎች የተጨመሩ ህዳጎች።
የመምራት ጊዜ	ፈጣን እና መቆጣጠር የሚቻል ጥሬ እቃዎቹን እንቆጣጠራለን።	ያልሆነ ጥገኛ። በንዑስ አቅራቢዎቻቸው ላይ እርግጠኛ
ከሽያጭ በኋላ	የዕድሜ ልክ ቴክኒካል ድጋፍ በማሽን ውስጥ ያለውን እያንዳንዱን ስፒል እናውቃለን።	የዘገየ ምላሽ ኦሪጅናል ፋብሪካዎችን ማነጋገር ያስፈልጋል።

ለስሜታዊ አከባቢዎች ትክክለኛ ቁጥጥር

1. ግዙፍ ልኬት ችሎታ እና መረጋጋት
በጠንካራ የግንኙነት ፕሮቶኮሎች (Modbus/TCP/IP) ላይ የተገነባ፣ ስርዓታችን የተረጋጋ የ10,000+ ኖዶች ትስስርን ይደግፋል። ለትንሽ ላብራቶሪም ሆነ ለሜጋ ፋብ፣ ስርዓቱ ያለ የምልክት መዘግየት ያለችግር ይሰፋል።
2. የታየ የአቀማመጥ ካርታ ስራ
ለተወሳሰቡ ኮዶች ደህና ሁን ይበሉ። የእይታ ካርታ በመፍጠር የንፁህ ክፍል ጣሪያ ፍርግርግ አቀማመጥዎን ወደ ሶፍትዌሩ እናስመጣለን። የእያንዳንዱን ልዩ የ FFU ቦታ ሁኔታ (ማብራት/ጠፍቷል/ፍጥነት) በቀጥታ በማያ ገጹ ላይ መመልከት ይችላሉ።
3. ትክክለኛ የአየር ፍሰት እና የኢነርጂ አስተዳደር
የስራ ቁጠባዎችን ይክፈቱ። የዞን ቁጥጥር ስልቶችን (ለምሳሌ 'የምርት ሁነታ ' እና 'ሌሊት/ተጠባባቂ ሞድ') በስራ ሰአታት ውስጥ RPMዎችን ዝቅ ለማድረግ የኤሌክትሪክ ወጪን በእጅጉ ለመቀነስ ማዋቀር ይችላሉ።
4. ብልህ የስህተት ምርመራ
ጥገና ቀላል ተደርጎ። አንድ FFU ካልተሳካ ስርዓቱ ፈጣን ማንቂያ ያስነሳል እና ትክክለኛውን መጋጠሚያ በካርታው ላይ ይጠቁማል። ይህ በእጅ መፈተሽን ያስወግዳል እና የእረፍት ጊዜን በእጅጉ ይቀንሳል።

5. ሊበጅ የሚችል አካባቢያዊ በይነገጽ
ዓለም አቀፍ ዝግጁ። የምንጭ ኮድን በቤት ውስጥ ስላዘጋጀን የሶፍትዌር በይነገጽን ወደ እርስዎ አካባቢያዊ ቋንቋ ማበጀት እንችላለን። ይህ የጣቢያው ኦፕሬተሮችዎ ስርዓቱን በማስተዋል ማስተዳደር፣ የቋንቋ መሰናክሎችን በማስወገድ እና የአሰራር ስህተቶችን መቀነስ እንደሚችሉ ያረጋግጣል።

ስማርት ቡድን ቁጥጥር ስርዓት

ማስተዳደር 10,000+ FFUs በትልቅ ፋብ በDeshengxin ቀላል ነው። የኛ የባለቤትነት ቁጥጥር ስርዓታችን የእውነተኛ ጊዜ ክትትልን፣ የስህተት ማንቂያዎችን እና የፍጥነት ማስተካከያዎችን ከአንድ ፒሲ ወይም የሞባይል ተርሚናል ይፈቅዳል።

የጽዳት ክፍሉ 'ልብ'.

የእኛ የቤት ውስጥ EC/DC ሞተርስ ለ 40,000+ ሰአታት ተከታታይ ስራ ተፈትኗል፣ ከባህላዊ የኤሲ ሞተሮች ጋር ሲነፃፀር 30% የኢነርጂ ቁጠባ ያቀርባል - ለ 24/7 ሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች ከፍተኛ ወጪን ይቀንሳል።

ቴክኒካዊ ዝርዝሮች፡ ሴሚኮንዳክተር ግሬድ ከመደበኛ FFU ጋር

ባህሪ	መደበኛ FFU	DSX FFU ሴሚኮንዳክተር ደረጃ
ሚዲያ አጣራ	የመስታወት ፋይበር	PTFE/ULPA (U15-U17)
የውጭ ጋዝ ማስወጣት	መደበኛ ደረጃዎች	ዝቅተኛ-ቦሮን / ዜሮ-ወደ ውጭ የሚወጣ ቁሳቁስ
ንዝረት	<1.0 ሚሜ በሰከንድ	<0.5 ሚሜ በሰከንድ (ተለዋዋጭ ሚዛናዊ)
የቁጥጥር ስርዓት	በእጅ የፍጥነት መቆጣጠሪያ	Modbus/TCP ኢንተለጀንት ቡድን ቁጥጥር
መተግበሪያ	አጠቃላይ ኢንዱስትሪ	ዋፈር ፋብ፣ ማሸግ፣ ሙከራ

የእርስዎን ISO-Class Cleanroom ለመገንባት ዝግጁ ነዎት?

ለአዲስ ተክል አንድ ነጠላ የአየር ሻወር ወይም 10,000 ኤፍኤፍዩ ቢፈልጉ፣ Deshengxin የእርስዎ ታማኝ አጋር ነው።

የፋብሪካ-ቀጥታ ዋጋ ያግኙ

ለሴሚኮንዳክተር የጽዳት ክፍሎች የተለመዱ ጥያቄዎች

70ሚሜ እጅግ በጣም ቀጭን EFU፡ ለሦስተኛ-ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ማጽጃ መሳሪያዎች የጠፈር ቆጣቢ መፍትሄ

የሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ማጽጃ መሳሪያዎች (SiC, GaN) ከባድ የቦታ ገደቦች ያጋጥሟቸዋል. በ250–350ሚሜ ላይ ያሉ መደበኛ ኤፍኤፍኤዎች በቀላሉ የእነዚህን የተራቀቁ መሳሪያዎች ውሱን አቀባዊ ክሊራንስ ውስጥ ሊገቡ አይችሉም። ይህ መጣጥፍ የ DSX 70mm Ultra-Thin EFU ያስተዋውቃል-በተለይ በቦታ ለተገደቡ መሳሪያዎች ውህደት የተሰራ። በጠቅላላው የ ~ 100 ሚሜ ውፍረት ፣ የ ULPA ማጣሪያ ውጤታማነት እስከ 99.9995% (@0.12μm) እና ሙሉ የአቅርቦት ሰንሰለት ማምረት ፣ ይህ መፍትሄ የጽዳት መሳሪያዎችን አምራቾች የንፁህ ክፍል አፈፃፀምን ሳይጎዳ ውስጣዊ ቦታን ከፍ ለማድረግ ያስችላል።

ተጨማሪ ያንብቡ
ሴሚኮንዳክተር FFU አምራች - Wujiang Deshengxin የጽዳት ክፍል የደጋፊ ማጣሪያ ክፍል

ዉጂያንግ ደሼንግክሲን በቻይና ውስጥ ከፍተኛ ብቃት ያለው የአየር ማራገቢያ ማጣሪያ ክፍሎችን ለሴሚኮንዳክተር ንጹህ ክፍሎች የሚያቀርብ ባለሙያ ሴሚኮንዳክተር FFU አምራች ነው። የእኛ EC FFU ከ30-50% የኢነርጂ ቁጠባ፣ 99.995% የማጣሪያ ብቃት እና ISO 14644 ተገዢነትን ያሳያል። OEM እና ODM ይገኛሉ። አስተማማኝ የጽዳት ክፍል መፍትሄዎችን ለማግኘት እኛን ያነጋግሩን።

ተጨማሪ ያንብቡ
ሴሚኮንዳክተር FFU አምራች | Wujiang Deshengxin EC የደጋፊ ማጣሪያ ክፍሎች ለጽዳት ክፍሎች

Deshengxin EC FFU (Fan Filter Unit) የተቀናጀ የዲሲ ሞተር ቴክኖሎጂ ከ30-50% የኢነርጂ ቁጠባ፣ HEPA/ULPA የማጣራት ቅልጥፍና እስከ 99.9995%፣ ሞጁል ተደጋጋሚ ዲዛይን እና የማሰብ ችሎታ ያለው Modbus/BACnet ቁጥጥርን ያሳያል። ለ ISO ክፍል 1-5 ሴሚኮንዳክተር ማጽጃ ክፍሎች፣ የባዮፋርማ ጂኤምፒ መገልገያዎች እና የሊቲየም ባትሪ ምርት ተስማሚ። ብጁ መጠኖች፣ ኢኤስዲ-አስተማማኝ ግንባታ እና የኬሚካል ማጣሪያ ውህደት ይገኛሉ።

ተጨማሪ ያንብቡ
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች እድገት የንፅህና ክፍልን ፍላጎት እንዴት እንደሚነዳ | Deshengxin

በQ1 2026 የአለም ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች መላኪያዎች 36.55 ቢሊዮን ዶላር ሲደርሱ፣ ከዓመት 14 በመቶ በ AI ጋር በተያያዙ ኢንቨስትመንቶች ሲመሩ፣ የላቀ የንፁህ ክፍል መሠረተ ልማት ፍላጎት እየጨመረ ነው። Wujiang Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., ሙሉ ሰንሰለት የማምረቻ ሞዴል FFUs, የአየር መታጠቢያዎች, ማለፊያ ሳጥኖች, HEPA ማጣሪያዎች, ንጹህ አግዳሚ ወንበሮች እና ሞጁል ማጽጃ ክፍሎች, ለሴሚኮንዳክተር ዋፈር ፋብሪካዎች, የላቀ ማሸጊያ እና እጅግ በጣም ትክክለኛ የሆኑ የማምረቻ መስመሮችን የሚሸፍኑ ISO-compliant ብክለት መቆጣጠሪያ መፍትሄዎችን ያቀርባል.

ተጨማሪ ያንብቡ
እጅግ በጣም ቀጭን EFU አምራች | ሴሚኮንዳክተር የደጋፊ ማጣሪያ ክፍሎች | DSX

የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አንጓዎች እየቀነሱ ሲሄዱ፣ የትክክለኛነት፣ ዝቅተኛ ንዝረት እና ቦታ ቆጣቢ የንፅህና መጠበቂያ ዕቃዎች ፍላጎት ጨምሯል። ወጪዎችን እየቀነሱ እነዚህን ከፍተኛ መቻቻልን የሚያሟላ አስተማማኝ አቅራቢ ማግኘት ትልቅ ፈተና ነው። ከ20 ዓመታት በላይ ባለው እውቀት፣ Wujiang Deshengxin (DSX) ማጥራት የብጁ የጽዳት ክፍል መፍትሄዎች ዋና አምራች ሆኖ ይቆማል። 100% የቤት ውስጥ የሞተር፣ የቁጥጥር ስርዓቶች እና ማጣሪያዎችን በማቆየት፣ DSX ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው፣ ወጪ ቆጣቢ የሆኑ ውስብስብ ሴሚኮንዳክተር ጥቃቅን አካባቢዎችን እና መጠነ ሰፊ የጅምላ ትዕዛዞችን ያቀርባል።

ተጨማሪ ያንብቡ
በንፁህ ክፍሎች ውስጥ የቦታ ገደቦችን መፍታት፡ እጅግ በጣም ቀጭን 70ሚሜ FFU ለችግር ለሌላቸው መሳሪያዎች እና ለ EFEM ውህደት

ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች እና ሞዱል የንፁህ ክፍል ዲዛይኖች ከጊዜ ወደ ጊዜ እየተጣመሩ ሲሄዱ፣ ባህላዊ የደጋፊ ማጣሪያ ክፍሎች ብዙውን ጊዜ በመሣሪያዎች ውህደት (EFU መተግበሪያዎች) የከፍታ ማጣሪያ ፈተናዎችን ያቀርባሉ። ይህ መጣጥፍ የ DSX Ultra Thin FFU መድረክን ያስተዋውቃል፣ ይህም የ 70 ሚሜ አጠቃላይ ጥልቀት መገለጫ ለዝቅተኛ ፕላነም ጣራዎች ፣ አነስተኛ አከባቢዎች እና በመሳሪያ ላይ ለተሰቀለ ማጣሪያ። ውይይቱ የ DSX በአቀባዊ የተቀናጀ የሞተር እና የቁጥጥር ስርዓት እድገት የአየር ፍሰት ተመሳሳይነት ወይም የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ሳያስቀር የተቀነሰ ቅርጽን እንዴት እንደሚያስችል ይሸፍናል። የመተግበሪያ ሁኔታዎች እያንዳንዱ ሚሊሜትር አቀባዊ ቦታ ወሳኝ የሆነ የዋፈር አያያዝ EFEMsን፣ የስቶከር ማሻሻያዎችን እና የላቀ ትክክለኛ የማምረቻ ሞጁሎችን ያካትታሉ።

ተጨማሪ ያንብቡ

ጠቅላላ 4 ገጾች ወደ ገጽ ይሂዱ
ሂድ

የቴክኒክ ጽሑፎች

የጥገና መመሪያ፡ የእርስዎን የHEPA/ULPA ማጣሪያዎች መቼ እንደሚተኩ?

በንፁህ ክፍሎች ውስጥ የ HEPA ወይም ULPA ማጣሪያዎችን ለመተካት ጥሩውን ጊዜ መወሰን በቀን መቁጠሪያ መርሃ ግብሮች ላይ የተመሰረተ ሳይሆን የግፊት ልዩነትን (በፓስካልስ, ፓ የሚለካው) ሁኔታን መሰረት ያደረገ ክትትል መሆን አለበት. ማጣሪያዎችን በጣም ቀደምት ቆሻሻዎችን መተካት በጀት፣ እነሱን በጣም ዘግይተው መተካት የአየር ፍሰት ፍጥነትን እና የምርት ውጤቱን ይጎዳል። መደበኛው አሠራር አዲስ ማጣሪያዎች በተገቢው የአየር ፍሰት (ለምሳሌ 0.45 ሜትር / ሰ) ሲጫኑ 'የመጀመሪያውን የመቋቋም' (ግፊት ጠብታ) መቅዳትን ያካትታል. ማጣሪያዎች በአጠቃላይ የግፊት ልዩነት ሁለት ጊዜ (2x) የመጀመሪያ መከላከያ ሲደርስ ወይም ወዲያውኑ የደጋፊ ማጣሪያ ክፍል (ኤፍኤፍዩ) የሚፈለጉትን የአየር ፍሰት ፍጥነቶች በከፍተኛ ኃይል ማቆየት ካልቻሉ መተካት አለባቸው። Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd., እንደ ሙሉ-ኢንዱስትሪ ሰንሰለት አምራች, ወጥነት ያለው የመነሻ መከላከያ ዝርዝሮችን ያረጋግጣል, ትንበያ ጥገናን ትክክለኛ ያደርገዋል.

ተጨማሪ ያንብቡ
በዋፈር ምርት ውስጥ ኤኤምሲ (በአየር ወለድ ሞለኪውላር ብክለት) መቆጣጠር

የአየር ወለድ ሞለኪውላር ብክለት (ኤኤምሲ) በላቁ የዋፈር ማምረቻ ኖዶች (ንዑስ-10 nm) ምርት ላይ ከፍተኛ ስጋት ይፈጥራል፣ ይህም እንደ ብረታ ብረት ዝገት (ከአሲድ) እና የፎቶ ተከላካይ 'T-topping' (ከመሠረት/አሚንስ) ያሉ ጉድለቶችን ያስከትላል። ውጤታማ ቁጥጥር ልዩ ኬሚካላዊ ማጣሪያዎችን ወደ ጣሪያው የደጋፊ ማጣሪያ ክፍሎች (ኤፍኤፍዩዎች) ማቀናጀትን ይጠይቃል። ይህ መመሪያ ማጣሪያዎችን በዒላማ ብክለት ይመድባል፡ MA ተከታታይ ለአሲድ (SOx፣ HCl)፣ MB series for bases/amines (NH3፣ ወሳኝ ለሊቶግራፊ) እና MV ተከታታይ ለኦርጋኒክ/VOCs። ወሳኝ ፈተና ኬሚካላዊ ማጣሪያዎች ከፍተኛ የመቋቋም (የማይንቀሳቀስ ግፊት) ይጨምራሉ. Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ከ 20 ዓመታት በላይ የሙሉ ኢንዱስትሪ ሰንሰለት ልምድ የራሱን ከፍተኛ የኢሲ/ኤሲ ሞተሮችን በማምረት ይህንን ይፈታል። Deshengxin መሐንዲሶች ከፍተኛ-የማይንቀሳቀስ ግፊት FFUs በተለይ ጥቅጥቅ ያሉ የኬሚካል ማጣሪያ ሚዲያዎች ሲጫኑ እንኳን የሚፈለጉትን የአየር ፍሰት ፍጥነቶች ለመጠበቅ የተነደፉ ናቸው።

ተጨማሪ ያንብቡ
AC vs. EC FFU፡ ለትልቅ ጨርቆች የ5-አመት የኢነርጂ ወጪ ትንተና

ይህ ትንተና የኤሲ እና የ EC Fan Filter Units (FFUs) በትላልቅ ሴሚኮንዳክተር ፋብሪካዎች የ5-አመት የስራ ማስኬጃ ወጪዎችን ያነጻጽራል። 5,000 FFUs ያለማቋረጥ ለሚያሄድ ተወካይ ተቋም፣ ከባህላዊ የኤሲ ሞተሮች ወደ ዘመናዊ፣ ከፍተኛ ቅልጥፍና ያለው EC (በኤሌክትሮኒካዊ የተላለፈ) ቴክኖሎጂ በመቀየር ከፍተኛ ቁጠባ ያስገኛል። በአንድ ዩኒት 50 ዋት ቁጠባ እና የመብራት ዋጋ 0.10 ዶላር በሰአት ላይ ባለው ወግ አጥባቂ ግምት መሠረት፣ አንድ ተቋም በቀጥታ የኤሌክትሪክ ወጪዎችን ብቻ ከ219,000 ዶላር በላይ በየዓመቱ ይቆጥባል፣ ይህም በአምስት ዓመታት ውስጥ ከ1 ሚሊዮን ዶላር በላይ ነው። ተጨማሪ ጉልህ ቁጠባዎች የሚከናወኑት በተቀነሰ የኤች.አይ.ቪ ሞተሮች የሙቀት መጠን መቀነስ ምክንያት ነው። Deshengxin Purification Equipment Co., Ltd. ይህንን ROI በ 'የሙሉ ኢንዱስትሪ ሰንሰለት' ጥቅሙን ያሳድጋል፣ የራሱን ከፍተኛ አፈፃፀም EC ሞተሮችን በቤቱ ውስጥ በተለይም ለኤፍኤፍዩዎቹ በማምረት ከፍተኛ ደረጃ ያለው ቅልጥፍናን በተወዳዳሪ ቅድመ ወጪ ያረጋግጣል።

ተጨማሪ ያንብቡ

የድጋፍ ቡድናችንን ያግኙ

ለሴሚኮንዳክተር እና ኤሌክትሮኒክስ ባለአንድ-ማቆሚያ የጽዳት ክፍል እቃዎች አምራች

በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ማምረቻ ውስጥ ወሳኝ ተግዳሮቶችን መፍታት

ሴሚኮንዳክተር Cleanroom Air Solutions: FFU & EFU ለ Wafer Fab | ኤፍፉፋን

አግኙን።

ፈጣን ማገናኛዎች

የምርት ምድብ

ለጋዜጣችን ይመዝገቡ